Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81280 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера /В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 222-224. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |