Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах
C использованием методов электронной дифракции, электронной микроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов Не⁺, термодесорбционной спектроскопии проведены исследования структурных превращений в пленках никеля, облученных ионами N⁺. С ростом дозы облучения наблюдался плавный переход ГЦК-стру...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81311 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах / И.М. Неклюдов, А.Н. Морозов, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 3-14. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81311 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. 2015-05-14T17:55:02Z 2015-05-14T17:55:02Z 2006 Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах / И.М. Неклюдов, А.Н. Морозов, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 3-14. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81311 548.74:539.12.04 C использованием методов электронной дифракции, электронной микроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов Не⁺, термодесорбционной спектроскопии проведены исследования структурных превращений в пленках никеля, облученных ионами N⁺. С ростом дозы облучения наблюдался плавный переход ГЦК-структуры никеля в ГПУ-фазу α-Ni₃N с параметрами решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм. Завершение перехода после достижения концентрации имплантированного азота, соответствующей стехиометрическому соотношению Ni₃N, свидетельствует о химической природе наблюдаемого структурного изменения. В процессе нагрева прослеживалось изменение структуры, что позволило наблюдать четыре структуры нитрида никеля: 1) α-Ni₃N с неупорядоченным расположением атомов азота (ГПУ-фаза с параметром решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм); 2) β-Ni₃N с упорядоченным расположением атомов азота (две гексагональные решетки с параметрами а=0.266 нм, с=0.430 нм и а=0.466 нм, с=0.43 нм); 3) нитрид никеля Ni₄N, имеющий структуру примитивной кубической решетки с параметром а=0.377 нм; 4) нитрид никеля Ni₈N, имеющий структуру ГЦК с параметром а=0.725 нм Із використанням методів електронної дифракції, електронної мікроскопії, зворотнього резерфордовского розсіювання іонів Не⁺ та термодесорбційної спектроскопії проведені дослідження структурних перетворень у плівках нікелю, опромінених іонами N⁺. З ростом дози опромінення спостерігався плавний перехід ГЦК- структури нікелю в ГПУ-фазу α-Ni₃N з параметрами ґратки а=0.266 нм і з=0.430 нм. Завершення переходу після досягнення концентрації імплантованого азоту, що відповідає стехіометричному співвідношенню Ni₃N, свідчить про хімічну природу структурного перетворення, що спостерігається. У процесі нагрівання також спостерігалися структурні перетворення, що дало можливість спостерігати чотири cструктури нікелю: 1) α- Ni₃N з неупорядкованим розташуванням атомів азоту (ГПУ-фаза з параметрами ґратки а=0,266 нм і b=0,430 нм); 2) β-Ni₃N з упорядкованим розташуванням атомів азоту (дві гексагональних ґратки з параметрами а=0,266 нм, с=0,430 нм і а=0,466 нм, с=0,43 нм); 3) нітрид нікелю Ni₄N, що має структуру примітивної кубічної ґратки з параметром а=0,377 нм; 4) нітрид нікелю Ni₈N зі структурою ГЦК із параметром а=0,725 нм. Structural transformations in nickel films exposed to N⁺ ions were investigated through the use of electron diffraction, electron microscopy, Rutherford backscattering (RBS) of He⁺ ions, thermal desorption spectroscopy (TDS). With an increasing exposure dose, there occurred a smooth transition of the fcc structure of Ni to the hcp phase α-Ni₃N with the lattice parameters a=0.266 nm and c=0.430 nm. The completion of the transition was observed once the implanted nitrogen concentration corresponding to the stoichiometric ratio of Ni₃N was attained, this giving evidence for the chemical nature of the structural change observed. During annealing, structure variations were traced, enabling one to observe the following four nickel nitrides: 1) α-Ni₃N with a disordered arrangement of nitrogen atoms (hcp-phase with a=0.266 nm and c=0.430 nm), 2) β-Ni₃N with an ordered arrangement of nitrogen atoms (two hexagonal lattices: one with a=0.266 nm, c=0.430 nm, and the other with a=0.466 nm and c=0.43 nm), 3) Ni₄N having a primitive cubic lattice structure with a=0.377 nm, 4) Ni₈N having the fcc structure with a=0.725 nm ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Чистые материалы и вакуумные технологии Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах Структурні перетворення в нікелі при імплантації іонів N⁺ та постімплантаційних відпалюваннях Structural transformations in nickel at the irradiation ions N⁺ and post-irradiation heating Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| spellingShingle |
Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. Чистые материалы и вакуумные технологии |
| title_short |
Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_full |
Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_fullStr |
Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_full_unstemmed |
Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_sort |
структурные превращения в никеле при имплантации ионов n⁺ и постимплантационных отжигах |
| author |
Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. |
| author_facet |
Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. |
| topic |
Чистые материалы и вакуумные технологии |
| topic_facet |
Чистые материалы и вакуумные технологии |
| publishDate |
2006 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Структурні перетворення в нікелі при імплантації іонів N⁺ та постімплантаційних відпалюваннях Structural transformations in nickel at the irradiation ions N⁺ and post-irradiation heating |
| description |
C использованием методов электронной дифракции, электронной микроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов Не⁺, термодесорбционной спектроскопии проведены исследования структурных превращений в пленках никеля, облученных ионами N⁺. С ростом дозы облучения наблюдался плавный переход ГЦК-структуры никеля в ГПУ-фазу α-Ni₃N с параметрами решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм. Завершение перехода после достижения концентрации имплантированного азота, соответствующей стехиометрическому соотношению Ni₃N, свидетельствует о химической природе наблюдаемого структурного изменения. В процессе нагрева прослеживалось изменение структуры, что позволило наблюдать четыре структуры нитрида никеля: 1) α-Ni₃N с неупорядоченным расположением атомов азота (ГПУ-фаза с параметром решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм); 2) β-Ni₃N с упорядоченным расположением атомов азота (две гексагональные решетки с параметрами а=0.266 нм, с=0.430 нм и а=0.466 нм, с=0.43 нм); 3) нитрид никеля Ni₄N, имеющий структуру примитивной кубической решетки с параметром а=0.377 нм; 4) нитрид никеля Ni₈N, имеющий структуру ГЦК с параметром а=0.725 нм
Із використанням методів електронної дифракції, електронної мікроскопії, зворотнього резерфордовского розсіювання іонів Не⁺ та термодесорбційної спектроскопії проведені дослідження структурних перетворень у плівках нікелю, опромінених іонами N⁺. З ростом дози опромінення спостерігався плавний перехід ГЦК- структури нікелю в ГПУ-фазу α-Ni₃N з параметрами ґратки а=0.266 нм і з=0.430 нм. Завершення переходу після досягнення концентрації імплантованого азоту, що відповідає стехіометричному співвідношенню Ni₃N, свідчить про хімічну природу структурного перетворення, що спостерігається. У процесі нагрівання також спостерігалися структурні перетворення, що дало можливість спостерігати чотири cструктури нікелю: 1) α- Ni₃N з неупорядкованим розташуванням атомів азоту (ГПУ-фаза з параметрами ґратки а=0,266 нм і b=0,430 нм); 2) β-Ni₃N з упорядкованим розташуванням атомів азоту (дві гексагональних ґратки з параметрами а=0,266 нм, с=0,430 нм і а=0,466 нм, с=0,43 нм); 3) нітрид нікелю Ni₄N, що має структуру примітивної кубічної ґратки з параметром а=0,377 нм; 4) нітрид нікелю Ni₈N зі структурою ГЦК із параметром а=0,725 нм.
Structural transformations in nickel films exposed to N⁺ ions were investigated through the use of electron
diffraction, electron microscopy, Rutherford backscattering (RBS) of He⁺ ions, thermal desorption spectroscopy
(TDS). With an increasing exposure dose, there occurred a smooth transition of the fcc structure of Ni to the hcp
phase α-Ni₃N with the lattice parameters a=0.266 nm and c=0.430 nm. The completion of the transition was observed
once the implanted nitrogen concentration corresponding to the stoichiometric ratio of Ni₃N was attained, this
giving evidence for the chemical nature of the structural change observed. During annealing, structure variations
were traced, enabling one to observe the following four nickel nitrides: 1) α-Ni₃N with a disordered arrangement of
nitrogen atoms (hcp-phase with a=0.266 nm and c=0.430 nm), 2) β-Ni₃N with an ordered arrangement of nitrogen
atoms (two hexagonal lattices: one with a=0.266 nm, c=0.430 nm, and the other with a=0.466 nm and c=0.43 nm), 3)
Ni₄N having a primitive cubic lattice structure with a=0.377 nm, 4) Ni₈N having the fcc structure with a=0.725 nm
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81311 |
| citation_txt |
Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах / И.М. Неклюдов, А.Н. Морозов, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 3-14. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT neklûdovim strukturnyeprevraŝeniâvnikelepriimplantaciiionovnipostimplantacionnyhotžigah AT morozovan strukturnyeprevraŝeniâvnikelepriimplantaciiionovnipostimplantacionnyhotžigah AT kulišvg strukturnyeprevraŝeniâvnikelepriimplantaciiionovnipostimplantacionnyhotžigah AT neklûdovim strukturníperetvorennâvníkelípriímplantacíííonívntapostímplantacíinihvídpalûvannâh AT morozovan strukturníperetvorennâvníkelípriímplantacíííonívntapostímplantacíinihvídpalûvannâh AT kulišvg strukturníperetvorennâvníkelípriímplantacíííonívntapostímplantacíinihvídpalûvannâh AT neklûdovim structuraltransformationsinnickelattheirradiationionsnandpostirradiationheating AT morozovan structuraltransformationsinnickelattheirradiationionsnandpostirradiationheating AT kulišvg structuraltransformationsinnickelattheirradiationionsnandpostirradiationheating |
| first_indexed |
2025-12-01T11:52:53Z |
| last_indexed |
2025-12-01T11:52:53Z |
| _version_ |
1850860153585270784 |