Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах
C использованием методов электронной дифракции, электронной микроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов Не⁺, термодесорбционной спектроскопии проведены исследования структурных превращений в пленках никеля, облученных ионами N⁺. С ростом дозы облучения наблюдался плавный переход ГЦК-стру...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81311 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах / И.М. Неклюдов, А.Н. Морозов, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 3-14. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862646959214428160 |
|---|---|
| author | Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. |
| author_facet | Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. |
| citation_txt | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах / И.М. Неклюдов, А.Н. Морозов, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 3-14. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | C использованием методов электронной дифракции, электронной микроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов Не⁺, термодесорбционной спектроскопии проведены исследования структурных превращений в пленках никеля, облученных ионами N⁺. С ростом дозы облучения наблюдался плавный переход ГЦК-структуры никеля в ГПУ-фазу α-Ni₃N с параметрами решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм. Завершение перехода после достижения концентрации имплантированного азота, соответствующей стехиометрическому соотношению Ni₃N, свидетельствует о химической природе наблюдаемого структурного изменения. В процессе нагрева прослеживалось изменение структуры, что позволило наблюдать четыре структуры нитрида никеля: 1) α-Ni₃N с неупорядоченным расположением атомов азота (ГПУ-фаза с параметром решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм); 2) β-Ni₃N с упорядоченным расположением атомов азота (две гексагональные решетки с параметрами а=0.266 нм, с=0.430 нм и а=0.466 нм, с=0.43 нм); 3) нитрид никеля Ni₄N, имеющий структуру примитивной кубической решетки с параметром а=0.377 нм; 4) нитрид никеля Ni₈N, имеющий структуру ГЦК с параметром а=0.725 нм
Із використанням методів електронної дифракції, електронної мікроскопії, зворотнього резерфордовского розсіювання іонів Не⁺ та термодесорбційної спектроскопії проведені дослідження структурних перетворень у плівках нікелю, опромінених іонами N⁺. З ростом дози опромінення спостерігався плавний перехід ГЦК- структури нікелю в ГПУ-фазу α-Ni₃N з параметрами ґратки а=0.266 нм і з=0.430 нм. Завершення переходу після досягнення концентрації імплантованого азоту, що відповідає стехіометричному співвідношенню Ni₃N, свідчить про хімічну природу структурного перетворення, що спостерігається. У процесі нагрівання також спостерігалися структурні перетворення, що дало можливість спостерігати чотири cструктури нікелю: 1) α- Ni₃N з неупорядкованим розташуванням атомів азоту (ГПУ-фаза з параметрами ґратки а=0,266 нм і b=0,430 нм); 2) β-Ni₃N з упорядкованим розташуванням атомів азоту (дві гексагональних ґратки з параметрами а=0,266 нм, с=0,430 нм і а=0,466 нм, с=0,43 нм); 3) нітрид нікелю Ni₄N, що має структуру примітивної кубічної ґратки з параметром а=0,377 нм; 4) нітрид нікелю Ni₈N зі структурою ГЦК із параметром а=0,725 нм.
Structural transformations in nickel films exposed to N⁺ ions were investigated through the use of electron
diffraction, electron microscopy, Rutherford backscattering (RBS) of He⁺ ions, thermal desorption spectroscopy
(TDS). With an increasing exposure dose, there occurred a smooth transition of the fcc structure of Ni to the hcp
phase α-Ni₃N with the lattice parameters a=0.266 nm and c=0.430 nm. The completion of the transition was observed
once the implanted nitrogen concentration corresponding to the stoichiometric ratio of Ni₃N was attained, this
giving evidence for the chemical nature of the structural change observed. During annealing, structure variations
were traced, enabling one to observe the following four nickel nitrides: 1) α-Ni₃N with a disordered arrangement of
nitrogen atoms (hcp-phase with a=0.266 nm and c=0.430 nm), 2) β-Ni₃N with an ordered arrangement of nitrogen
atoms (two hexagonal lattices: one with a=0.266 nm, c=0.430 nm, and the other with a=0.466 nm and c=0.43 nm), 3)
Ni₄N having a primitive cubic lattice structure with a=0.377 nm, 4) Ni₈N having the fcc structure with a=0.725 nm
|
| first_indexed | 2025-12-01T11:52:53Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81311 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T11:52:53Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. 2015-05-14T17:55:02Z 2015-05-14T17:55:02Z 2006 Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах / И.М. Неклюдов, А.Н. Морозов, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 3-14. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81311 548.74:539.12.04 C использованием методов электронной дифракции, электронной микроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов Не⁺, термодесорбционной спектроскопии проведены исследования структурных превращений в пленках никеля, облученных ионами N⁺. С ростом дозы облучения наблюдался плавный переход ГЦК-структуры никеля в ГПУ-фазу α-Ni₃N с параметрами решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм. Завершение перехода после достижения концентрации имплантированного азота, соответствующей стехиометрическому соотношению Ni₃N, свидетельствует о химической природе наблюдаемого структурного изменения. В процессе нагрева прослеживалось изменение структуры, что позволило наблюдать четыре структуры нитрида никеля: 1) α-Ni₃N с неупорядоченным расположением атомов азота (ГПУ-фаза с параметром решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм); 2) β-Ni₃N с упорядоченным расположением атомов азота (две гексагональные решетки с параметрами а=0.266 нм, с=0.430 нм и а=0.466 нм, с=0.43 нм); 3) нитрид никеля Ni₄N, имеющий структуру примитивной кубической решетки с параметром а=0.377 нм; 4) нитрид никеля Ni₈N, имеющий структуру ГЦК с параметром а=0.725 нм Із використанням методів електронної дифракції, електронної мікроскопії, зворотнього резерфордовского розсіювання іонів Не⁺ та термодесорбційної спектроскопії проведені дослідження структурних перетворень у плівках нікелю, опромінених іонами N⁺. З ростом дози опромінення спостерігався плавний перехід ГЦК- структури нікелю в ГПУ-фазу α-Ni₃N з параметрами ґратки а=0.266 нм і з=0.430 нм. Завершення переходу після досягнення концентрації імплантованого азоту, що відповідає стехіометричному співвідношенню Ni₃N, свідчить про хімічну природу структурного перетворення, що спостерігається. У процесі нагрівання також спостерігалися структурні перетворення, що дало можливість спостерігати чотири cструктури нікелю: 1) α- Ni₃N з неупорядкованим розташуванням атомів азоту (ГПУ-фаза з параметрами ґратки а=0,266 нм і b=0,430 нм); 2) β-Ni₃N з упорядкованим розташуванням атомів азоту (дві гексагональних ґратки з параметрами а=0,266 нм, с=0,430 нм і а=0,466 нм, с=0,43 нм); 3) нітрид нікелю Ni₄N, що має структуру примітивної кубічної ґратки з параметром а=0,377 нм; 4) нітрид нікелю Ni₈N зі структурою ГЦК із параметром а=0,725 нм. Structural transformations in nickel films exposed to N⁺ ions were investigated through the use of electron
 diffraction, electron microscopy, Rutherford backscattering (RBS) of He⁺ ions, thermal desorption spectroscopy
 (TDS). With an increasing exposure dose, there occurred a smooth transition of the fcc structure of Ni to the hcp
 phase α-Ni₃N with the lattice parameters a=0.266 nm and c=0.430 nm. The completion of the transition was observed
 once the implanted nitrogen concentration corresponding to the stoichiometric ratio of Ni₃N was attained, this
 giving evidence for the chemical nature of the structural change observed. During annealing, structure variations
 were traced, enabling one to observe the following four nickel nitrides: 1) α-Ni₃N with a disordered arrangement of
 nitrogen atoms (hcp-phase with a=0.266 nm and c=0.430 nm), 2) β-Ni₃N with an ordered arrangement of nitrogen
 atoms (two hexagonal lattices: one with a=0.266 nm, c=0.430 nm, and the other with a=0.466 nm and c=0.43 nm), 3)
 Ni₄N having a primitive cubic lattice structure with a=0.377 nm, 4) Ni₈N having the fcc structure with a=0.725 nm ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Чистые материалы и вакуумные технологии Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах Структурні перетворення в нікелі при імплантації іонів N⁺ та постімплантаційних відпалюваннях Structural transformations in nickel at the irradiation ions N⁺ and post-irradiation heating Article published earlier |
| spellingShingle | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах Неклюдов, И.М. Морозов, А.Н. Кулиш, В.Г. Чистые материалы и вакуумные технологии |
| title | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_alt | Структурні перетворення в нікелі при імплантації іонів N⁺ та постімплантаційних відпалюваннях Structural transformations in nickel at the irradiation ions N⁺ and post-irradiation heating |
| title_full | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_fullStr | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_full_unstemmed | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_short | Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах |
| title_sort | структурные превращения в никеле при имплантации ионов n⁺ и постимплантационных отжигах |
| topic | Чистые материалы и вакуумные технологии |
| topic_facet | Чистые материалы и вакуумные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81311 |
| work_keys_str_mv | AT neklûdovim strukturnyeprevraŝeniâvnikelepriimplantaciiionovnipostimplantacionnyhotžigah AT morozovan strukturnyeprevraŝeniâvnikelepriimplantaciiionovnipostimplantacionnyhotžigah AT kulišvg strukturnyeprevraŝeniâvnikelepriimplantaciiionovnipostimplantacionnyhotžigah AT neklûdovim strukturníperetvorennâvníkelípriímplantacíííonívntapostímplantacíinihvídpalûvannâh AT morozovan strukturníperetvorennâvníkelípriímplantacíííonívntapostímplantacíinihvídpalûvannâh AT kulišvg strukturníperetvorennâvníkelípriímplantacíííonívntapostímplantacíinihvídpalûvannâh AT neklûdovim structuraltransformationsinnickelattheirradiationionsnandpostirradiationheating AT morozovan structuraltransformationsinnickelattheirradiationionsnandpostirradiationheating AT kulišvg structuraltransformationsinnickelattheirradiationionsnandpostirradiationheating |