Устройства финишной очистки технологических газов на основе нераспыляемых геттеров из сплавов Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2006
• Main Authors: Ажажа, В.М., Ажажа, Р.В., Вьюгов, П.Н., Свинаренко, А.П., Шулаев, В.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Subjects: Чистые материалы и вакуумные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81315
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Устройства финишной очистки технологических газов на основе нераспыляемых геттеров из сплавов Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe / В.М. Ажажа, Р.В. Ажажа, П.Н. Вьюгов, А.П. Свинаренко, В.М. Шулаев // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 26-29. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Описаны устройства глубокой финишной очистки технологических газов Ar, He, Ne, H₂, N₂. Предложены геттерные материалы, используемые для этих целей. Приведены результаты масс-спектрометрических исследований состава газов по поглощаемым газам. Описані пристрої глибокого фінішного очищення технологічни...