Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню

Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації пов...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2006
1. Verfasser: Точилін, С.Д.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81320
record_format dspace
spelling Точилін, С.Д.
2015-05-14T18:29:03Z
2015-05-14T18:29:03Z
2006
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320
66.012.1; 535.361
Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів.
Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов.
The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface.
uk
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Чистые материалы и вакуумные технологии
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
Упругое рассеяние света поверхностью германия при воздействии молекулярного и атомарного водорода
Elastic scattering of light by a surface germany at influence of molecular and atomic hydrogen
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
spellingShingle Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
Точилін, С.Д.
Чистые материалы и вакуумные технологии
title_short Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_full Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_fullStr Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_full_unstemmed Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_sort пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
author Точилін, С.Д.
author_facet Точилін, С.Д.
topic Чистые материалы и вакуумные технологии
topic_facet Чистые материалы и вакуумные технологии
publishDate 2006
language Ukrainian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Упругое рассеяние света поверхностью германия при воздействии молекулярного и атомарного водорода
Elastic scattering of light by a surface germany at influence of molecular and atomic hydrogen
description Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів. Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов. The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320
citation_txt Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT točilínsd pružnerozsíûvannâsvítlapoverhneûgermaníûprivplivímolekulârnogotaatomarnogovodnû
AT točilínsd uprugoerasseâniesvetapoverhnostʹûgermaniâprivozdeistviimolekulârnogoiatomarnogovodoroda
AT točilínsd elasticscatteringoflightbyasurfacegermanyatinfluenceofmolecularandatomichydrogen
first_indexed 2025-12-02T10:14:43Z
last_indexed 2025-12-02T10:14:43Z
_version_ 1850862173325099008