Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації пов...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81320 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Точилін, С.Д. 2015-05-14T18:29:03Z 2015-05-14T18:29:03Z 2006 Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320 66.012.1; 535.361 Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів. Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов. The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface. uk Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Чистые материалы и вакуумные технологии Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню Упругое рассеяние света поверхностью германия при воздействии молекулярного и атомарного водорода Elastic scattering of light by a surface germany at influence of molecular and atomic hydrogen Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| spellingShingle |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню Точилін, С.Д. Чистые материалы и вакуумные технологии |
| title_short |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_full |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_fullStr |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_full_unstemmed |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_sort |
пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| author |
Точилін, С.Д. |
| author_facet |
Точилін, С.Д. |
| topic |
Чистые материалы и вакуумные технологии |
| topic_facet |
Чистые материалы и вакуумные технологии |
| publishDate |
2006 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Упругое рассеяние света поверхностью германия при воздействии молекулярного и атомарного водорода Elastic scattering of light by a surface germany at influence of molecular and atomic hydrogen |
| description |
Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в
молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання
світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та
модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів.
Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в
молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с
теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации
поверхности полупроводниковых материалов.
The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and
atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory.
The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials
surface.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320 |
| citation_txt |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT točilínsd pružnerozsíûvannâsvítlapoverhneûgermaníûprivplivímolekulârnogotaatomarnogovodnû AT točilínsd uprugoerasseâniesvetapoverhnostʹûgermaniâprivozdeistviimolekulârnogoiatomarnogovodoroda AT točilínsd elasticscatteringoflightbyasurfacegermanyatinfluenceofmolecularandatomichydrogen |
| first_indexed |
2025-12-02T10:14:43Z |
| last_indexed |
2025-12-02T10:14:43Z |
| _version_ |
1850862173325099008 |