Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в
 молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання
 світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та&...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862659893345910784 |
|---|---|
| author | Точилін, С.Д. |
| author_facet | Точилін, С.Д. |
| citation_txt | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в
молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання
світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та
модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів.
Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в
молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с
теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации
поверхности полупроводниковых материалов.
The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and
atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory.
The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials
surface.
|
| first_indexed | 2025-12-02T10:14:43Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81320 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-02T10:14:43Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Точилін, С.Д. 2015-05-14T18:29:03Z 2015-05-14T18:29:03Z 2006 Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320 66.012.1; 535.361 Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в
 молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання
 світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та
 модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів. Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в
 молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с
 теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации
 поверхности полупроводниковых материалов. The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and
 atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory.
 The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials
 surface. uk Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Чистые материалы и вакуумные технологии Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню Упругое рассеяние света поверхностью германия при воздействии молекулярного и атомарного водорода Elastic scattering of light by a surface germany at influence of molecular and atomic hydrogen Article published earlier |
| spellingShingle | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню Точилін, С.Д. Чистые материалы и вакуумные технологии |
| title | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_alt | Упругое рассеяние света поверхностью германия при воздействии молекулярного и атомарного водорода Elastic scattering of light by a surface germany at influence of molecular and atomic hydrogen |
| title_full | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_fullStr | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_full_unstemmed | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_short | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_sort | пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| topic | Чистые материалы и вакуумные технологии |
| topic_facet | Чистые материалы и вакуумные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81320 |
| work_keys_str_mv | AT točilínsd pružnerozsíûvannâsvítlapoverhneûgermaníûprivplivímolekulârnogotaatomarnogovodnû AT točilínsd uprugoerasseâniesvetapoverhnostʹûgermaniâprivozdeistviimolekulârnogoiatomarnogovodoroda AT točilínsd elasticscatteringoflightbyasurfacegermanyatinfluenceofmolecularandatomichydrogen |