Экспериментальная установка для получения кластерных пучков
Рассматривается экспериментальная установка для получения кластерных пучков. Описана простая конструкция источника кластерных ионов, который способен генерировать пучки нейтральных и ионизированных кластеров как газообразных, так и твёрдых веществ. Приведены первые результаты экспериментальных иссле...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81334 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, П.А. Литвинов, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 130-134. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860065738394435584 |
|---|---|
| author | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Литвинов, П.А. Пустовойтов, С.А. |
| author_facet | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Литвинов, П.А. Пустовойтов, С.А. |
| citation_txt | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, П.А. Литвинов, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 130-134. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Рассматривается экспериментальная установка для получения кластерных пучков. Описана простая конструкция источника кластерных ионов, который способен генерировать пучки нейтральных и ионизированных кластеров как газообразных, так и твёрдых веществ. Приведены первые результаты экспериментальных исследований, полученных на этой установке.
Розглядається експериментальна установка для отримання кластерних пучків. Описана проста конструкція джерела
кластерних іонів, яке здатне генерувати пучки нейтральних і іонізованих кластерів як газоподібних, так і твердих
речовин. Приведені перші результати експериментальних досліджень одержаних на цій установці.
The experimental setting for the getting of cluster beams is considered. Simple construction of source of cluster ions, which
is able to generate the beams of clusters of matters both gaseous, and hard neutral and ionized, is described. The first results of
experimental researches of got on this setting are resulted.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:07:26Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 539.198.621.646
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КЛА-
СТЕРНЫХ ПУЧКОВ
В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, П.А. Литвинов, С.А. Пустовойтов
Институт прикладной физики НАН Украины,
40030, г. Сумы, ул. Петропавловская 58, Украина; E-mail: baturin@ipflab.sumy.ua
Рассматривается экспериментальная установка для получения кластерных пучков. Описана простая
конструкция источника кластерных ионов, который способен генерировать пучки нейтральных и ионизиро-
ванных кластеров как газообразных, так и твёрдых веществ. Приведены первые результаты эксперименталь-
ных исследований, полученных на этой установке.
ВВЕДЕНИЕ
В последнее время в связи с целым рядом прило-
жений и расширением фундаментальных исследова-
ний всё больший интерес проявляется к генерации
кластеров. Это переходные объекты между изолиро-
ванными атомами или молекулами и твёрдым телом
[1,18]. Они занимают промежуточное положение
между ван-дер-ваальсовыми молекулами, содержа-
щими несколько атомов, и такими мелко диспер-
сионными частицами, как аэрозоли. Нижний предел
числа частиц в кластере составляет единицы, а верх-
ний определяется тем, что добавление ещё одной ча-
стицы к их совокупности заметно изменит свойства
системы в целом. Свойства атомных кластеров
очень сильно и даже качественно отличаются от
свойств макроскопических тел, что и обуславливает
интерес, проявляемый к ним [1]. Наиболее удобно
использовать кластеры в качестве пучков заряжен-
ных частиц. Это упрощает их транспортировку и
применение, а также выделение кластеров выбран-
ного размера масс-спектрометрическими методами
[2,3]. Использование кластерных пучков представ-
ляет интерес в процессах ионной имплантации, при
эпитаксии многомолекулярных соединений, для по-
лучения тонких плёнок [4-9] и новых материалов
[10-13].
В настоящей работе представлены эксперимен-
тальная установка, разработанная в Институте при-
кладной физики НАН Украины для получения и ис-
следования кластерных пучков, а также конструкция
источника кластерных ионов, который способен ге-
нерировать пучки нейтральных и ионизированных
кластеров как газообразных, так и твёрдых веществ.
Кратко изложены результаты первых эксперимен-
тов, полученные на этой установке.
ИСТОЧНИК КЛАСТЕРОВ
Являясь промежуточным звеном между молеку-
лярным и конденсированным состоянием вещества,
кластеры могут эффективно образовываться из газо-
вой фазы во время конденсации газов.
Элементарный процесс роста кластерного иона
можно записать следующим образом:
Х+ +Хn → Х+ ⋅ Хn.
Однако в большинстве случаев канал двухча-
стичной реакции невозможен, так как возникает
сложность с диссипацией избыточного тепла реак-
ции [3]. Рост кластерного иона происходит в серии
трехчастичных ассоциативных реакций:
Х+ ⋅ Хn +Х+У→ Х+ ⋅ Хn=1+У (n=0,1,2…).
В этом процессе ион Х+ служит остовом для следую-
щей ассоциации. Избыточное тепло этой реакции
может рассеиваться в виде энергии поступательного
движения или внутренней энергии третьей частицы
У.
Необходимо отметить различие в величине взаи-
модействий регулирующих рост кластера в реакции
ионно-молекулярной ассоциации и в реакции ассо-
циации между двумя нейтральными частицами. В
первом случае происходит сильное взаимодей-
ствие -ионно-нейтральная поляризация, а во втором
– слабое взаимодействие Ван-дер-Ваальса.
Сильное охлаждение газа можно получить в газо-
динамическом сопле при сверхзвуковом расширении
газа в вакуум. Таким образом, в самом простом слу-
чае источник кластеров должен состоять из следую-
щих конструктивных элементов (рис. 1):
1 – камеры, в которой рабочий газ находится под
высоким давлением;
2 – вакуумной камеры;
3 – сверхзвукового сопла, соединяющего эти две
камеры.
Рис. 1. Блок-схема конструктивных элементов кла-
стерного источник
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 1.
Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (15), с.130
-134.
130
mailto:baturin@ipflab.sumy.ua
Эта блок-схема лежит в основе большинства
конструкций источников кластерных пучков.
Для получения кластеров из твёрдых материалов
их подвергают испарению различными способами
[14-17]. Далее атомарный пар смешивается с буфер-
ным газом и расширяется через сопло в вакуум.
Расширяясь, эта смесь охлаждается, что вызывает
конденсацию газа с образованием кластеров. Более
детальное рассмотрение методов генерации кластер-
ных пучков проведено в [1,18].
Принцип действия представленного здесь кла-
стерного источника основан на испарении вещества
под действием лазерного излучения, когда не-
большое количество вещества мишени испаряется, а
затем смешивается с потоком инертного газа-носи-
теля, который охлаждает пар. Образованная таким
образом смесь затем расширяется в вакуум с об-
разованием кластеров. При этом нагрев ограничива-
ется небольшим участком мишени, так что отсут-
ствует необходимость в теплозащите и охлаждении.
Благодаря этим качествам источники с лазерным
испарением находят всё более широкое распростра-
нение во многих лабораториях с некоторыми моди-
фикациями отдельных конструктивных элементов
источника, в зависимости от конкретного его прило-
жения и технических возможностей лабораторий
[4,5, 14, 19, 20].
На рис.2 показано продольное сечение источника
кластерного пучка. Он работает в импульсном режи-
ме, что позволяет существенно уменьшить газовую
нагрузку на вакуумную систему по сравнению с не-
прерывным напуском и получать более высокие ин-
тенсивности пучков.
Рис. 2. Схема источника кластеров:
1 - электромагнитный клапан; 2 - камера высокого
давления; 3 - запорная игла; 4 - тефлоновая встав-
ка; 5 - вращающийся подложкодержатель; 6 - ми-
шень; 7 - вход лазера; 8 - камера подготовки;
9 - расширительный конус
В источнике используется короткоимпульсный
электромагнитный клапан 1, работающий на основе
ударно-бойкового механизма. Конструкция этого
клапана и его основные характеристики описаны в
[21]. При разработке этого клапана основным требо-
ванием выдвигалась возможность получения высо-
коинтенсивных газовых импульсов длительностью
50…100 мкс и высокой крутизной переднего
фронта, которые являются наиболее предпочтитель-
ными для работы сверхзвукового кластерного источ-
ника [20, 22].
В нормальном состоянии в камеру высокого дав-
ления клапана 2 подаётся буферный газ под давлени-
ем в несколько атмосфер. При срабатывании клапа-
на запорная игла 3 приподнимается над седловиной,
и короткий, быстронарастающий импульс буферно-
го газа, проходя через отверстие в корпусе кластер-
ного источника диаметром 1мм, поступает в камеру
подготовки 8. Здесь буферный газ перемешивается с
факелом лазерной плазмы, который получается в ре-
зультате лазерного испарения мишени 6. Далее
основной поток газа проходит через выходное от-
верстие до расширительного конуса 9 и расширяется
в вакуум.
Пучок испарительного АИГ(Nd) лазера попадает
в камеру подготовки через отверстие 7, высверлен-
ное в медном корпусе кластерного источника, и име-
ющее конусную форму для упрощения юстировки
лазера. Используются диски-мишени, диаметром
10 мм, наклеенные на вращающийся подложкодер-
жатель 5. Уплотнение подложкодержателя с блоком
сопла осуществляется при помощи фторопластовой
вставки 4, по которой он скользит во время враще-
ния. При юстировке лазера подложкодержатель с
мишенью убирается, что позволяет пучку лазера вы-
ходить со стороны мишени. Во время работы кла-
стерного источника диск-мишень перед каждым сра-
батыванием лазера перемещается на некоторое рас-
стояние, подобранное так, чтобы испарение матери-
ала мишени происходило с нового пятна.
.
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА
На рис.3 показано продольное сечение экспери-
ментальной установки для получения и исследова-
ния кластерных пучков. Сверхзвуковой источник
кластерного пучка размещается в 100-литровой ва-
куумной камере 1, откачиваемой до давления
5·10-4 Па. Откачка ведётся диффузионным насосом с
производительностью 2500 л/с, в который залит по-
лифениловый эфир С20 Н22 О4 с низким давлением
насыщенных паров. При работе кластерного источ-
ника с давлением буферного газа на входе им-
пульсного клапана в несколько атмосфер, длитель-
ностью газового импульса ~100 мкс и частотой по-
вторения до 10 Гц, вакуум в камере изменяется на
незначительную величину. Буферный газ под высо-
ким давлением подаётся в камеру высокого давле-
ния импульсного клапана по медной трубке через
штуцер 4.
Для испарения рабочего вещества используется
АИГ(Nd) лазер 2, работающий в режиме модуляции
добротности. Он крепится на верхнем фланце уста-
новки. Лазерный импульс с длиной волны 1064 нм,
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 1.
Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (15), с.130
-134.
131
средней энергией 6 мДж/имп., длительностью 20 нс
и диаметром пятна в фокусе ~100 мкм через оптиче-
скую систему 3 попадает в камеру подготовки кла-
стерного источника, где происходит испарение ми-
шени, вращаемой при помощи привода 6.
Рис. 3. Продольное сечение экспериментальной
установки для получения кластерных пучков:
1 - вакуумная камера; 2 - АИГ(Nd) лазер; 3 - опти-
ческая система фокусировки лазерного пучка;
4 - штуцер подачи газа; 5 - кластерный источник;
6 - привод вращения мишени; 7 - сепораторная
диафрагма; 8 - система ионизации кластеров и
формирования пучка; 9 - монопольный масс-спек-
трометр
После расширения в вакуум газовый поток попа-
дает на изготовленную из никеля сепараторную
диафрагму 7, расположенную на расстоянии 25 мм
от источника. Диафрагма выделяет из струи цен-
тральную часть пучка диаметром 2 мм. Далее пучок
проходит через систему ионизации и формирования
8, где нейтральные кластеры могут быть ионизиро-
ваны электронным ударом. Пучок заряженных кла-
стерных частиц регистрируется монопольным масс-
спектрометром 9, либо цилиндром Фарадея.
Для получения временной воспроизводимости
кластерного пучка необходима точная синхрониза-
ция момента испарения с моментом открывания га-
зового клапана. Специально разработанное устрой-
ство позволяет синхронизировать эти события с
точностью до микросекунд и регулировать времен-
ную задержку между ними.
РЕЗУЛЬТАТЫ
Отдельно были проведены исследования характе-
ристик газового импульса, поступающего в камеру
подготовки источника. При этом импульсный
клапан отсоединялся от камеры источника. Времен-
ные характеристики газовых импульсов на выходе
клапана регистрировались при помощи специально
изготовленного импульсного ионизационного мано-
метра, по методике описанной в [23]. На рис.4 пока-
зана типичная осциллограмма газового импульса
(гелия) при давлении на входе клапана 0,3 МПа.
Рис.4. Осциллограмма газового импульса, зареги-
стрированная ионизационным манометром
(масштаб развертки 50 мкс/дел.). Давление газа на
входе 0,3 МПа
Известно, что сверхзвуковое расширение газа в
вакуум приводит к образованию кластеров в молеку-
лярном пучке. Для регистрации массового спектра в
импульсном пучке на аналоговый выход моно-
польного масс-спектрометра был подключен уни-
версальный запоминающий осциллограф С8-14, с
которого снимались данные интенсивности пиков
выделенной массы. Спектр полученных с источника
кластеров Не, ионизированных электронным пуч-
ком, показан на рис.5. Как и в работе [23] мы наблю-
даем кластеры Не с магическими числами 7, 10.
Рис.5. Спектр нейтральных кластеров Не, ионизи-
рованных электронным пучком
В наших первых экспериментах по получению
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 1.
Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (15), с.130
-134.
132
кластерных пучков твердых веществ мы использова-
ли углеродную мишень. Характеристики кластерно-
го пучка существенно зависят от времени задержки
между лазерным и газовым импульсами. Поэтому
предварительно проводились эксперименты по опти-
мизации этой временной задержки. Для этого изме-
рялись зависимости общего тока кластерного пучка
от временной задержки. Общий ионный ток им-
пульсного кластерного пучка измерялся цилиндром
Фарадея, который был установлен за сепараторной
диафрагмой. На рис.6 показана осциллограмма сиг-
нала, снятого с цилиндра Фарадея, полученная при
импульсном распылении графита марки МПГ6 при
ускоряющем напряжении 180 В и давлении буфер-
ного газа 0,3 МПа. Максимальные токи на цилиндр
Фарадея были получены при задержке ~200 мкс
между моментами открывания газового клапана и
лазерного испарения и достигали 200 нА.
Рис. 6. Осциллограмма сигнала, снятого с цилиндра
Фарадея, полученная при импульсном распылении
графита МПГ6 (масштаб развертки 200 мкс/дел.)
На металлические подложки нами были осажде-
ны углеродные плёнки. Они имели однородную
морфологию, толщину ~ 300 нм и получались за
5400 лазерных импульсов. Фотография плёнки угле-
рода, выполненная на электронном микроскопе с
увеличением в 10000 раз, показана на рис. 7.
Рис. 7. Снимок углеродной плёнки, полученной из
пучка углеродных кластеров при давлении буферно-
го газа 0,25 МПа
Исследование влияния различных режимов напы-
ления на качество получаемых плёнок показало, что
при максимальных токах углеродного пучка на по-
верхности плёнок наблюдались макроскопические
частицы углерода. Этот эффект объясняется тем, что
в данном режиме работы источника плотность кла-
стеров получается высокой из-за того, что такие ве-
щества, как углерод, чрезвычайно легко конденсиру-
ются при высокой температуре. Это приводит к
тому, что начинают преобладать процессы рекомби-
нации ионов и агрегации, в результате чего образу-
ются макроскопические аэрозольные частицы. Об-
разование таких частиц в источнике кластеров опи-
сано в работе [20]. Снимок плёнки с увеличением в
1200 раз, полученной в этом режиме, показан на
рис.8.
Рис. 8. Снимок углеродной пленки, полученной в ре-
жиме с образованием аэрозольных частиц
Снятый на монопольном масс-спектрометре
спектр положительно заряженных кластеров углеро-
да приведён на рис. 9.
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 1.
Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (15), с.130
-134.
133
Рис. 9. Спектр малых кластеров углерода, получен-
ный на монопольном масс-спектрометре
ВЫВОДЫ
Была разработана и изготовлена эксперименталь-
ная установка для получения кластерных пучков.
Основой установки является источник, работающий
на принципе лазерного испарения вращающейся ми-
шени, которая установлена на импульсном сверхзву-
ковом клапане. Особенности работы используемого
монопольного масс-спектрометра дают возможность
измерять лишь спектры малых кластеров в диапазо-
не масс до 350 а.е.м. В дальнейшем мы планируем
снять это ограничение, используя времяпролетный
масс-спектрометр. Имеется возможность получения
тонких плёнок путём осаждения на подложку частиц
из кластерного пучка. Использование в качестве
газа-носителя не инертных газов даёт возможность
применять реактивное лазерное распыление для по-
лучения плёнок бинарных веществ [5].
ЛИТЕРАТУРА
1. А.В. Елецкий, Б.М. Смирнов // УФН. 1989,
т.159, в.1, №9, с.45-81.
2. С.W.S. Conover, Y.J. Twu, Y.A. Yang, L.A.
Bloomfield // Rev. Sci. Instrum. 1989, v.60, р.1065-
1070.
3. Y.K. Bae, P.C. Cosby, M. Nicholson, W. Olson //
Rev. Sci. Instrum. 1991, v.62, №5, р.1157-1162.
4. R. Alayan et al. // Rev. Sci. Instrum. 2004, v.75,
№7, р.2461-2470.
5. Eric F. Rexer et al. // Rev. Sci. Instrum. 1998, v.69,
№8, р.3028-3033.
6. I. Yamada, T. Takagi// J. Vac. Sci. Technol. 1989,
v. A.4, p.52.
7. G.H. Takaoka, I. Yamada, T.Takagi // J. Vac. Sci.
Technol. 1985, v. A3, p. 2665.
8. T.Takagi // Vacuum. 1986, v.36, p.27.
9. I. Yamada, Husui, T.Takagi // J. Phys. Chem.
1987, v.91, p.2463.
10. B. Plapant et al. // Phys. Rev. 1998, v.B57, p.1963.
11. M.B.Knickelbein // Phys. Rev. Lett. 2001, v.86,
p.5255.
12. A.J.Cox et al. // Phys. Rev. 1994, v.B.49, p.12295.
13. В.В. Бражник, А.Г. Ляпин // УФН. 1996, том
166, №8, с.893-897.
14. R.E. Smalley // Laser. Chem. 1983, v.2, p.167.
15. H. Haberland et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1992,
v.A30, p.3266.
16. W. Begemann. et al. // Z. Phys. 1989, v.D12,p. 229.
17. Г.Л. Месяц // УФН. 1995, том 166, с.601.
18. Б.М. Смирнов // УФН. 2003, том 173, №6, с.609-
648.
19. P. Milani, W.A. deHeer // Rev. Sci. Instrum. 1990,
v.61, №7, p.1835-1838.
20. S. Maruyama, L.R. Anderson, R.E. Smalley // Rev.
Sci. Instrum. 1990, v.61, №12, p.3681-3693.
21. B.A. Батурин, А.Ю. Карпенко, П.А. Литвинов и
др. // ПТЭ. 2004, №3, с.156-160.
22. O. Cheshnovsky, K.L. Taylor, J. Conceicao, R.E.
Smalley // Phys. Rev. Lett. 1990, v.64, p.1785.
23. P.M. Stephens, J.G. King //Phys. Rev. Lett. 1983,
v.51, p.1538.
24. B.A. Батурин, А.Ю. Карпенко, С.В. Колинько //
Вiсник СумДУ. 2004, №8(67)? с.138-143.
ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНА УСТАНОВКА ДЛЯ ОТРИМАННЯ КЛАСТЕРНИХ
ПУЧКІВ
В.А. Батурін, А.Ю. Карпенко, П.А. Литвинів, С.А. Пустовойтов
Розглядається експериментальна установка для отримання кластерних пучків. Описана проста конструкція джерела
кластерних іонів, яке здатне генерувати пучки нейтральних і іонізованих кластерів як газоподібних, так і твердих
речовин. Приведені перші результати експериментальних досліджень одержаних на цій установці.
EXPERIMENTAL SETTING FOR THE GETTING OF CLUSTER BEAMS
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 1.
Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (15), с.130
-134.
134
В.А. Baturin, A.Yu. Karpenko, P.A. Litvinov, S.A. Pustovoytov
The experimental setting for the getting of cluster beams is considered. Simple construction of source of cluster ions, which
is able to generate the beams of clusters of matters both gaseous, and hard neutral and ionized, is described. The first results of
experimental researches of got on this setting are resulted.
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2006. № 1.
Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (15), с.130
-134.
135
УДК 539.198.621.646
Введение
Источник кластеров
Экспериментальная установка
Результаты
Выводы
Литература
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81334 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:07:26Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Литвинов, П.А. Пустовойтов, С.А. 2015-05-14T19:01:39Z 2015-05-14T19:01:39Z 2006 Экспериментальная установка для получения кластерных пучков / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, П.А. Литвинов, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 130-134. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81334 539.198.621.646 Рассматривается экспериментальная установка для получения кластерных пучков. Описана простая конструкция источника кластерных ионов, который способен генерировать пучки нейтральных и ионизированных кластеров как газообразных, так и твёрдых веществ. Приведены первые результаты экспериментальных исследований, полученных на этой установке. Розглядається експериментальна установка для отримання кластерних пучків. Описана проста конструкція джерела
 кластерних іонів, яке здатне генерувати пучки нейтральних і іонізованих кластерів як газоподібних, так і твердих
 речовин. Приведені перші результати експериментальних досліджень одержаних на цій установці. The experimental setting for the getting of cluster beams is considered. Simple construction of source of cluster ions, which
 is able to generate the beams of clusters of matters both gaseous, and hard neutral and ionized, is described. The first results of
 experimental researches of got on this setting are resulted. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Экспериментальная установка для получения кластерных пучков Експериментальна установка для отримання кластерних пучків Experimental setting for the getting of cluster beams Article published earlier |
| spellingShingle | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Литвинов, П.А. Пустовойтов, С.А. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков |
| title_alt | Експериментальна установка для отримання кластерних пучків Experimental setting for the getting of cluster beams |
| title_full | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков |
| title_fullStr | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков |
| title_full_unstemmed | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков |
| title_short | Экспериментальная установка для получения кластерных пучков |
| title_sort | экспериментальная установка для получения кластерных пучков |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81334 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva éksperimentalʹnaâustanovkadlâpolučeniâklasternyhpučkov AT karpenkoaû éksperimentalʹnaâustanovkadlâpolučeniâklasternyhpučkov AT litvinovpa éksperimentalʹnaâustanovkadlâpolučeniâklasternyhpučkov AT pustovoitovsa éksperimentalʹnaâustanovkadlâpolučeniâklasternyhpučkov AT baturinva eksperimentalʹnaustanovkadlâotrimannâklasternihpučkív AT karpenkoaû eksperimentalʹnaustanovkadlâotrimannâklasternihpučkív AT litvinovpa eksperimentalʹnaustanovkadlâotrimannâklasternihpučkív AT pustovoitovsa eksperimentalʹnaustanovkadlâotrimannâklasternihpučkív AT baturinva experimentalsettingforthegettingofclusterbeams AT karpenkoaû experimentalsettingforthegettingofclusterbeams AT litvinovpa experimentalsettingforthegettingofclusterbeams AT pustovoitovsa experimentalsettingforthegettingofclusterbeams |