Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий
В ННЦ ХФТИ (г. Харьков) разработан метод активации рабочего газа с помощью тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмаза из газовой фазы. Этот метод обладает рядом преимуществ по сравнению с другими существующими методами: СВЧ-методом, различными типами дуговых
 ра...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81338 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий / В.К. Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 6. — С. 167-171. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862547964439822336 |
|---|---|
| author | Пашнев, В.К. Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Столбовой, В.А. |
| author_facet | Пашнев, В.К. Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Столбовой, В.А. |
| citation_txt | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий / В.К. Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 6. — С. 167-171. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | В ННЦ ХФТИ (г. Харьков) разработан метод активации рабочего газа с помощью тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмаза из газовой фазы. Этот метод обладает рядом преимуществ по сравнению с другими существующими методами: СВЧ-методом, различными типами дуговых
разрядов и методом "горячей нити". Тлеющий разряд, стабилизированный магнитным полем, позволяет наносить покрытия на большие поверхности (до 50 см диаметром), получать достаточно высокую скорость роста алмазных покрытий и обладает низким уровнем примесей. Представлены результаты исследований, проведенных на установке с уровнем мощности, вводимой в разряд, около 5 кВт и диаметром подложкодержателя 5 см. Скорость роста алмазного покрытия достигала 3 мкм/ч.
В ННЦ ХФТІ (м. Харків) розроблений метод
активації робочого газу за допомогою тліючого
розряду, стабілізованого магнітним полем, для
синтезу алмаза з газової фази. Цей метод має низку
переваг у порівнянні з іншими існуючими
методами: СВЧ-методом, різними типами дугових
розрядів і методом "гарячої нитки". Тліючий розряд,
стабілізований магнітним полем, дозволяє наносити покриття на великі поверхні (до 50 см діаметром),
одержувати досить високу швидкість росту
алмазних покрить і має низький рівень домішок.
Представлені результати досліджень, проведених на
установці з рівнем потужності, що вводиться в
розряд, близько 5 кВт і діаметром підкладки 5 см.
Швидкість росту алмазного покриття досягала
3 мкм/год.
In NSC KIPT (Kharkov) the method of working gas
activation with the help of the glow discharge stabilized
by a magnetic field for the synthesis of diamond from a
172 gas phase is developed. This method has a number of
advantages in comparison with other existing methods:
microwave method, different types of arc discharges
and method of "hot filament". The glow discharge
stabilized by a magnetic field allows to deposit coatings
on large surfaces (up to 50 cm in diameter), to obtain
sufficiently high growth rate of diamond coatings and
has low level of impurities. In the given article the
outcomes of researches performed on the setup with a
power entered in discharge about 5 kW and
substrateholder diameter 5 cm are presented. The
growth rate of diamond coating reached 3 µm/h.
|
| first_indexed | 2025-11-25T17:44:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81338 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T17:44:46Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Пашнев, В.К. Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Столбовой, В.А. 2015-05-14T19:18:53Z 2015-05-14T19:18:53Z 2004 Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий / В.К. Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 6. — С. 167-171. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81338 537.525:539.23:679.826 В ННЦ ХФТИ (г. Харьков) разработан метод активации рабочего газа с помощью тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмаза из газовой фазы. Этот метод обладает рядом преимуществ по сравнению с другими существующими методами: СВЧ-методом, различными типами дуговых
 разрядов и методом "горячей нити". Тлеющий разряд, стабилизированный магнитным полем, позволяет наносить покрытия на большие поверхности (до 50 см диаметром), получать достаточно высокую скорость роста алмазных покрытий и обладает низким уровнем примесей. Представлены результаты исследований, проведенных на установке с уровнем мощности, вводимой в разряд, около 5 кВт и диаметром подложкодержателя 5 см. Скорость роста алмазного покрытия достигала 3 мкм/ч. В ННЦ ХФТІ (м. Харків) розроблений метод
 активації робочого газу за допомогою тліючого
 розряду, стабілізованого магнітним полем, для
 синтезу алмаза з газової фази. Цей метод має низку
 переваг у порівнянні з іншими існуючими
 методами: СВЧ-методом, різними типами дугових
 розрядів і методом "гарячої нитки". Тліючий розряд,
 стабілізований магнітним полем, дозволяє наносити покриття на великі поверхні (до 50 см діаметром),
 одержувати досить високу швидкість росту
 алмазних покрить і має низький рівень домішок.
 Представлені результати досліджень, проведених на
 установці з рівнем потужності, що вводиться в
 розряд, близько 5 кВт і діаметром підкладки 5 см.
 Швидкість росту алмазного покриття досягала
 3 мкм/год. In NSC KIPT (Kharkov) the method of working gas
 activation with the help of the glow discharge stabilized
 by a magnetic field for the synthesis of diamond from a
 172 gas phase is developed. This method has a number of
 advantages in comparison with other existing methods:
 microwave method, different types of arc discharges
 and method of "hot filament". The glow discharge
 stabilized by a magnetic field allows to deposit coatings
 on large surfaces (up to 50 cm in diameter), to obtain
 sufficiently high growth rate of diamond coatings and
 has low level of impurities. In the given article the
 outcomes of researches performed on the setup with a
 power entered in discharge about 5 kW and
 substrateholder diameter 5 cm are presented. The
 growth rate of diamond coating reached 3 µm/h. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий Використання тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, для синтезу алмазних покрить Using of the glow discharge stabilized by a magnetic field for the diamond coating synthesis Article published earlier |
| spellingShingle | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий Пашнев, В.К. Стрельницкий, В.Е. Опалев, О.А. Грицына, В.И. Выровец, И.И. Бизюков, Ю.А. Столбовой, В.А. Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| title | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий |
| title_alt | Використання тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, для синтезу алмазних покрить Using of the glow discharge stabilized by a magnetic field for the diamond coating synthesis |
| title_full | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий |
| title_fullStr | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий |
| title_full_unstemmed | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий |
| title_short | Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий |
| title_sort | использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий |
| topic | Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| topic_facet | Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81338 |
| work_keys_str_mv | AT pašnevvk ispolʹzovanietleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolemdlâsintezaalmaznyhpokrytii AT strelʹnickiive ispolʹzovanietleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolemdlâsintezaalmaznyhpokrytii AT opalevoa ispolʹzovanietleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolemdlâsintezaalmaznyhpokrytii AT gricynavi ispolʹzovanietleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolemdlâsintezaalmaznyhpokrytii AT vyrovecii ispolʹzovanietleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolemdlâsintezaalmaznyhpokrytii AT bizûkovûa ispolʹzovanietleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolemdlâsintezaalmaznyhpokrytii AT stolbovoiva ispolʹzovanietleûŝegorazrâdastabilizirovannogomagnitnympolemdlâsintezaalmaznyhpokrytii AT pašnevvk vikoristannâtlíûčogorozrâdustabílízovanogomagnítnimpolemdlâsintezualmaznihpokritʹ AT strelʹnickiive vikoristannâtlíûčogorozrâdustabílízovanogomagnítnimpolemdlâsintezualmaznihpokritʹ AT opalevoa vikoristannâtlíûčogorozrâdustabílízovanogomagnítnimpolemdlâsintezualmaznihpokritʹ AT gricynavi vikoristannâtlíûčogorozrâdustabílízovanogomagnítnimpolemdlâsintezualmaznihpokritʹ AT vyrovecii vikoristannâtlíûčogorozrâdustabílízovanogomagnítnimpolemdlâsintezualmaznihpokritʹ AT bizûkovûa vikoristannâtlíûčogorozrâdustabílízovanogomagnítnimpolemdlâsintezualmaznihpokritʹ AT stolbovoiva vikoristannâtlíûčogorozrâdustabílízovanogomagnítnimpolemdlâsintezualmaznihpokritʹ AT pašnevvk usingoftheglowdischargestabilizedbyamagneticfieldforthediamondcoatingsynthesis AT strelʹnickiive usingoftheglowdischargestabilizedbyamagneticfieldforthediamondcoatingsynthesis AT opalevoa usingoftheglowdischargestabilizedbyamagneticfieldforthediamondcoatingsynthesis AT gricynavi usingoftheglowdischargestabilizedbyamagneticfieldforthediamondcoatingsynthesis AT vyrovecii usingoftheglowdischargestabilizedbyamagneticfieldforthediamondcoatingsynthesis AT bizûkovûa usingoftheglowdischargestabilizedbyamagneticfieldforthediamondcoatingsynthesis AT stolbovoiva usingoftheglowdischargestabilizedbyamagneticfieldforthediamondcoatingsynthesis |