Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2004
• Main Authors: Пашнев, В.К., Стрельницкий, В.Е., Опалев, О.А., Грицына, В.И., Выровец, И.И., Бизюков, Ю.А., Столбовой, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2004
• Subjects: Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81338
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий / В.К. Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 6. — С. 167-171. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

В ННЦ ХФТИ (г. Харьков) разработан метод активации рабочего газа с помощью тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмаза из газовой фазы. Этот метод обладает рядом преимуществ по сравнению с другими существующими методами: СВЧ-методом, различными типами дуговых разрядов и...