Cover Image

Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния

Построена стохастическая теория кинетики аксиального каналирования ионов низких энергий, учитывающая потери полной энергии при движении иона в канале. Получено аналитическое выражение для функции деканалирования ионов. Проведено сравнение результатов расчета функции деканалирования и профиля внедрен...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Вопросы атомной науки и техники
Date:	2006
Main Authors:	Братченко, М.И., Дюльдя, С.В., Бакай, А.С.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Subjects:	Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81440
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Теория и моделирование имплантации ионов бора в монокристаллы кремния / М.И. Братченко, С.В. Дюльдя, А.С. Бакай // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 179-183. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Использование синхротронного излучения накопителя Н-100 М для исследований в физике твердого тела
by: Иващенко, В.Е., et al.
Published: (2004)

Информационно-экспертная система для экологической оценки влияния АЭС на окружающую среду
by: Власенко, Н.И., et al.
Published: (2006)

Применение метода направленной кристаллизации для получения новых материалов
by: Гранкин, С.С.
Published: (2007)

Щелочные металлы – получение, свойства, применение
by: Ажажа, В.М., et al.
Published: (2006)

Разработка пэлов дисперсионного типа с выгорающим поглотитетелем
Published: (2006)

Определение концентрации и размера частиц второй фазы в трубах из циркониевых сплавов
by: Гордая, А.П.
Published: (2003)

Способы подготовки образцов циркониевых сплавов для металлографического исследования
by: Ищенко, Н.И., et al.
Published: (2004)

Получение стеклокерамических и керамических материалов для изоляции радиоактивных отходов
by: Габелков, С.В., et al.
Published: (2003)

Методика измерения электромагнитного излучения полупроводниковыми детекторами
by: Кутний, Д.В., et al.
Published: (2006)

Малоактивируемые сплавы на основе хрома
by: Пилипенко, Н.Н.
Published: (2007)

Современное состояние водородной энергетики
by: Виноградов, Д.В.
Published: (2006)

Ядерное трансмутационное легирование фотокаталитических пленочных покрытий TiO₂ переходными 3d- металами
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2004)

Исследование газовыделения при нагреве в вакууме гидрированного сплава Nd-Fe-B
by: Ажажа, В.М., et al.
Published: (2006)

Металлографические исследования сплава Zr1Nb
by: Бутенко, И.Н., et al.
Published: (2006)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
by: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Published: (2003)

Некоторые характеристики экспериментального уран-гадолиниевого оксидного топлива
by: Сиренко, С. A ., et al.
Published: (2004)

Металлические стёкла
by: Вьюгов, П.Н., et al.
Published: (2004)

Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий
by: Пашнев, В.К., et al.
Published: (2004)

Применение зонной перекристаллизации для получения высокочистых тугоплавких металлов
by: Солопихин, Д.А.
Published: (2007)

Разработка дозиметрических и спектрометрических блоков регистрации γ-излучения на основе полупроводниковых соединений CdTe (CdZnTe) для АЭС Украины
by: Кутний, В.Е., et al.
Published: (2003)

Низкотемпературный синтез магний-алюминиевой шпинели
by: Ледовская, E.Г., et al.
Published: (2006)

Исследование сварных соединений концевых деталей твэлов с трубами из сплава Zr1Nb, выполненных различными видами сварки
by: Сиренко, С.А.
Published: (2003)

Применение метода электронно-лучевой плавки для рафинирования никеля
by: Дмитренко, А.Е., et al.
Published: (2003)

Характер работы графитовых катодов с повышенной стабильностью дугового разряда
by: Омаров, А. О., et al.
Published: (2004)

Фазовые переходы и стеклование
by: Бакай, А.С.
Published: (1996)

Нелинейная теория взаимодействия трубчатого пучка заряженных частиц с поверхностными волнами в плазменном цилиндре
by: Аверков, Ю.О., et al.
Published: (2018)

Жанр биографического романа в творчестве Вашингтона Игрвинга
by: Герасимюк, М.И., et al.
Published: (2014)

Скин-эффект в поликристаллах
by: Каганова, И.М., et al.
Published: (1996)

Профилированные монокристаллы кремния для солнечной энергетики
by: Шаповалов, В.А., et al.
Published: (2014)

Діалект міста Берн в системі швейцарських мовних варіантів
by: Мельничук-Лебедєва, К.О.
Published: (2014)

Значення запозичень з французької мови в процесі збагачення лексичної системи сучасної англійської мови
by: Шушаева, С.Л., et al.
Published: (2014)

Социолингвистическая проблема «язык и нация» в условиях языковой ситуации в Швейцарии
by: Арбузова, Н.В.
Published: (2011)

Языковые особенности социолекта рок-музыкантов в современном английском языке
by: Андреенкова, А.С.
Published: (2014)

Тематика рекламных текстов в современном английском и французском языках
by: Мельник, Ю.А., et al.
Published: (2014)

Роль засобів масової інформації у політиці
by: Акінчиць, Н.Г.
Published: (2008)

Дополнительные функции родительного падежа в греческом языке
by: Анастасиади, Е.В.
Published: (2012)

Особенности перевода имен собственных в произведениях жанра фэнтези
by: Кравченко, А.А., et al.
Published: (2014)

Теракт 11 сентября в художественной рецепции (на материале романов Дона Делилло «Падающий» и «Мао II»)
by: Ломакина, И.Н.
Published: (2011)

Аллюзии на елизаветенский театр в трагедии У. Шекспира «Гамлет»
by: Арутюнян, А.Г., et al.
Published: (2014)

Мотивация в изучении иностранного языка у студентов младших курсов неязыковых специальностей
by: Терещенко, О.Б.
Published: (2013)