Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
Results of actinometric study of oxygen dissociation in ICP source are presented. For atomic oxygen the emission lines of 844.6 nm was chosen having low impact of dissociative excitation. Actinometer gas in the experiments was argon, with emission line of 750.4 nm. Measurements of the degree of oxyg...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2014 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81932 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source / A.N. Dakhov, S.V. Dudin // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 167-170. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81932 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Dakhov, A.N. Dudin, S.V. 2015-05-22T17:14:59Z 2015-05-22T17:14:59Z 2014 Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source / A.N. Dakhov, S.V. Dudin // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 167-170. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.70.Kz https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81932 Results of actinometric study of oxygen dissociation in ICP source are presented. For atomic oxygen the emission lines of 844.6 nm was chosen having low impact of dissociative excitation. Actinometer gas in the experiments was argon, with emission line of 750.4 nm. Measurements of the degree of oxygen dissociation were conducted depending on the RF power supplied to the ICP source as well as on the oxygen gas pressure. The dissociation degree varies from few percent to 40 % depending on gas pressure. Представлены результаты актинометрического изучения диссоциации кислорода в источнике плазмы на базе индукционного разряда. Для атомарного кислорода была выбрана линия излучения 844, 6 нм, не подверженная существенному воздействию диссоциативного возбуждения. В качестве газа-актинометра в экспериментах использовался аргон с линией излучения 750,4 нм. Были проведены измерения степени диссоциации кислорода в зависимости от ВЧ-мощности, подводимой к источнику плазмы, а также от давления кислорода. Установлено, что степень диссоциации меняется от нескольких процентов до 40 % в зависимости от давления газа. Представлено результати актинометричного вивчення дисоціації кисню в джерелі плазми на базі індукційного розряду. Для атомарного кисню була обрана лінія випромінювання 844, 6 нм, не схильна до істотного впливу дисоціативного збудження. В якості газу-актинометра в експериментах використовувався аргон з лінією випромінювання 750,4 нм. Були проведені вимірювання ступеня дисоціації кисню в залежності від ВЧ-потужності, що підводиться до джерела плазми, а також від тиску кисню. Встановлено, що ступінь дисоціації змінюється від декількох відсотків до 40 % залежно від тиску газу. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source Актинометрические исследования диссоциации кислорода в индукционном разряде Актинометричні дослідження дисоціації кисню в індукційному розряді Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source |
| spellingShingle |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source Dakhov, A.N. Dudin, S.V. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source |
| title_full |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source |
| title_fullStr |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source |
| title_full_unstemmed |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source |
| title_sort |
actinometric study of oxygen dissociation in icp source |
| author |
Dakhov, A.N. Dudin, S.V. |
| author_facet |
Dakhov, A.N. Dudin, S.V. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2014 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Актинометрические исследования диссоциации кислорода в индукционном разряде Актинометричні дослідження дисоціації кисню в індукційному розряді |
| description |
Results of actinometric study of oxygen dissociation in ICP source are presented. For atomic oxygen the emission lines of 844.6 nm was chosen having low impact of dissociative excitation. Actinometer gas in the experiments was argon, with emission line of 750.4 nm. Measurements of the degree of oxygen dissociation were conducted depending on the RF power supplied to the ICP source as well as on the oxygen gas pressure. The dissociation degree varies from few percent to 40 % depending on gas pressure.
Представлены результаты актинометрического изучения диссоциации кислорода в источнике плазмы на базе индукционного разряда. Для атомарного кислорода была выбрана линия излучения 844, 6 нм, не подверженная существенному воздействию диссоциативного возбуждения. В качестве газа-актинометра в экспериментах использовался аргон с линией излучения 750,4 нм. Были проведены измерения степени диссоциации кислорода в зависимости от ВЧ-мощности, подводимой к источнику плазмы, а также от давления кислорода. Установлено, что степень диссоциации меняется от нескольких процентов до 40 % в зависимости от давления газа.
Представлено результати актинометричного вивчення дисоціації кисню в джерелі плазми на базі індукційного розряду. Для атомарного кисню була обрана лінія випромінювання 844, 6 нм, не схильна до істотного впливу дисоціативного збудження. В якості газу-актинометра в експериментах використовувався аргон з лінією випромінювання 750,4 нм. Були проведені вимірювання ступеня дисоціації кисню в залежності від ВЧ-потужності, що підводиться до джерела плазми, а також від тиску кисню. Встановлено, що ступінь дисоціації змінюється від декількох відсотків до 40 % залежно від тиску газу.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81932 |
| citation_txt |
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source / A.N. Dakhov, S.V. Dudin // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 167-170. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT dakhovan actinometricstudyofoxygendissociationinicpsource AT dudinsv actinometricstudyofoxygendissociationinicpsource AT dakhovan aktinometričeskieissledovaniâdissociaciikislorodavindukcionnomrazrâde AT dudinsv aktinometričeskieissledovaniâdissociaciikislorodavindukcionnomrazrâde AT dakhovan aktinometričnídoslídžennâdisocíacííkisnûvíndukcíinomurozrâdí AT dudinsv aktinometričnídoslídžennâdisocíacííkisnûvíndukcíinomurozrâdí |
| first_indexed |
2025-12-07T16:05:34Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:05:34Z |
| _version_ |
1850866175182897152 |