Зображення обкладинки

Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source

Results of actinometric study of oxygen dissociation in ICP source are presented. For atomic oxygen the emission lines of 844.6 nm was chosen having low impact of dissociative excitation. Actinometer gas in the experiments was argon, with emission line of 750.4 nm. Measurements of the degree of oxyg...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в:	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2014
ISSN:	1562-6016
Автори:	Dakhov, A.N., Dudin, S.V.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81932
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source / A.N. Dakhov, S.V. Dudin // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 167-170. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Effective dissociation temperature for estimation of electric arc plasma composition
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2011)

Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)

Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Influence of negative ions on atomic oxygen production in a hollow cathode discharge in O₂/Ar mixture
за авторством: Lavrukevich, Yu., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of DC glow discharge in CO₂ using optical emission spectroscopy
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S.D., та інші
Опубліковано: (2011)

Formation of MoO₃ crystals in electric arc plasma source
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)

Optimization of a vacuum spark discharge as an X-ray source
за авторством: Bashutin, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2012)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source
за авторством: Voznyi, V.I., та інші
Опубліковано: (2009)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources
за авторством: Muratov, R.M., та інші
Опубліковано: (2014)

Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)

Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

The forming system simulation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
за авторством: Martynenko, P.A.
Опубліковано: (2017)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Study of the rotating gliding discharge at atmospheric pressure
за авторством: Chernolutsky, D.L., та інші
Опубліковано: (2014)

Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma
за авторством: Konovalov, V.G., та інші
Опубліковано: (2011)

Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2009)

The influence of irradiation by hydrogen plasma on the structure and phase compozition Ti-Zr-Ni alloys containing quasicrystalline phase
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Modification of Ti-Zr-Ni alloys by powerful plasma stream of different gases
за авторством: Bazdyrieva, S.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Plasma-liquid system with reverse vortex flow of “tornado” type (TORNADO-LE)
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Ethanol reforming in plasma-liquid system with postdischarge hightemperature pyrolitic chamber
за авторством: Sidoruk, S.M., та інші
Опубліковано: (2011)

Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Anodic electron sheaths in low pressure hollow cathode discharge with large size anode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Influence of temperature condition on the process of СNM generation
за авторством: Veremii, Iu.P., та інші
Опубліковано: (2009)

Obtaining silicon carbide via chemical vapor, plasma-chemical and sublimation methods
за авторством: Zhuravlov, А.Yu., та інші
Опубліковано: (2017)

The calculations of uranium and lanthanum oxides trajectories at magnetoplasma separation stage
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2017)

The conceptual design of a demo-imitation separatorthe model of a plasma mass filter for irradiated oxide uranium fuel
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2018)

Peculiarities of the oxide plasma creation using carbonate compounds
за авторством: Shariy, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Plasma reforming of ethanol in DGCLW discharge
за авторством: Yukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2011)

Decomposition of dichloroethane vapor in barrierless discharge
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2010)

Plasma-catalytic reforming of liquid hydrocarbons
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)

The magnetoplasma separation method of spent nuclear fuel
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2017)