Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure

Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in atmospheric pressure argon in low-current α and high-current γ modes are determined experimentally and calculated by the hybrid hydro-dynamic model. Comparative analysis of obtained experimental data and simulat...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2014
Hauptverfasser: Bazhenov, V.Yu., Tsiolko, V.V., Piun, V.M., Chaplinskiy, R.Yu., Kuzmichev, A.I.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81945
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 137-140. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862590722097545216
author Bazhenov, V.Yu.
Tsiolko, V.V.
Piun, V.M.
Chaplinskiy, R.Yu.
Kuzmichev, A.I.
author_facet Bazhenov, V.Yu.
Tsiolko, V.V.
Piun, V.M.
Chaplinskiy, R.Yu.
Kuzmichev, A.I.
citation_txt Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 137-140. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in atmospheric pressure argon in low-current α and high-current γ modes are determined experimentally and calculated by the hybrid hydro-dynamic model. Comparative analysis of obtained experimental data and simulated spatio-temporal distributions of concentrations of discharge plasma electrons and heavy species, mean energy of electrons in the RF barrier discharge enabled interpretation of the discharge structure peculiarities in low-current α, α-γ transition and high-current γ modes. Характеристики емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления в слаботочном α- и сильноточном γ-режимах установлены експериментально и рассчитаны с помощью гибридной гидродинамической модели. Сравнительный анализ полученных экспериментальных данных и смоделированных пространственно-временных распределений концентраций электронов и тяжелых частиц, средней энергии электронов в ВЧ-барьерном разряде дал возможность интерпретировать особенности структуры разряда в слаботочном α, переходном α-γ и сильноточном γ-режимах разряда. Характеристики ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах встановлено експериментально та розраховано за допомогою гібридної гідродинамічної моделі. Порівняльний аналіз одержаних експериментальних даних та змодельованих просторово-часових розподілів густин електронів та важких часток, середньої енергії електронів у ВЧ-бар’єрному розряді дав можливість інтерпретувати особливості структури розряду в слабкострумовому α, перехідному α-γ та сильнострумовому γ-режимах розряду.
first_indexed 2025-11-27T05:34:11Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81945
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-11-27T05:34:11Z
publishDate 2014
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Bazhenov, V.Yu.
Tsiolko, V.V.
Piun, V.M.
Chaplinskiy, R.Yu.
Kuzmichev, A.I.
2015-05-22T17:45:26Z
2015-05-22T17:45:26Z
2014
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 137-140. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.Pi, 61.30.Hn, 81.65.-b
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81945
Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in atmospheric pressure argon in low-current α and high-current γ modes are determined experimentally and calculated by the hybrid hydro-dynamic model. Comparative analysis of obtained experimental data and simulated spatio-temporal distributions of concentrations of discharge plasma electrons and heavy species, mean energy of electrons in the RF barrier discharge enabled interpretation of the discharge structure peculiarities in low-current α, α-γ transition and high-current γ modes.
Характеристики емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления в слаботочном α- и сильноточном γ-режимах установлены експериментально и рассчитаны с помощью гибридной гидродинамической модели. Сравнительный анализ полученных экспериментальных данных и смоделированных пространственно-временных распределений концентраций электронов и тяжелых частиц, средней энергии электронов в ВЧ-барьерном разряде дал возможность интерпретировать особенности структуры разряда в слаботочном α, переходном α-γ и сильноточном γ-режимах разряда.
Характеристики ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах встановлено експериментально та розраховано за допомогою гібридної гідродинамічної моделі. Порівняльний аналіз одержаних експериментальних даних та змодельованих просторово-часових розподілів густин електронів та важких часток, середньої енергії електронів у ВЧ-бар’єрному розряді дав можливість інтерпретувати особливості структури розряду в слабкострумовому α, перехідному α-γ та сильнострумовому γ-режимах розряду.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
Теоретическое и экспериментальное исследования плазменного источника с ВЧ-барьерным разрядом в аргоне при атмосферном давлении
Теоретичне та експериментальне дослідження плазмового джерела з ВЧ-бар’єрним розрядом в аргоні при атмосферному тиску
Article
published earlier
spellingShingle Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
Bazhenov, V.Yu.
Tsiolko, V.V.
Piun, V.M.
Chaplinskiy, R.Yu.
Kuzmichev, A.I.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
title_alt Теоретическое и экспериментальное исследования плазменного источника с ВЧ-барьерным разрядом в аргоне при атмосферном давлении
Теоретичне та експериментальне дослідження плазмового джерела з ВЧ-бар’єрним розрядом в аргоні при атмосферному тиску
title_full Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
title_fullStr Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
title_full_unstemmed Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
title_short Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
title_sort theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon rf barrier discharge at atmospheric pressure
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81945
work_keys_str_mv AT bazhenovvyu theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure
AT tsiolkovv theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure
AT piunvm theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure
AT chaplinskiyryu theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure
AT kuzmichevai theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure
AT bazhenovvyu teoretičeskoeiéksperimentalʹnoeissledovaniâplazmennogoistočnikasvčbarʹernymrazrâdomvargonepriatmosfernomdavlenii
AT tsiolkovv teoretičeskoeiéksperimentalʹnoeissledovaniâplazmennogoistočnikasvčbarʹernymrazrâdomvargonepriatmosfernomdavlenii
AT piunvm teoretičeskoeiéksperimentalʹnoeissledovaniâplazmennogoistočnikasvčbarʹernymrazrâdomvargonepriatmosfernomdavlenii
AT chaplinskiyryu teoretičeskoeiéksperimentalʹnoeissledovaniâplazmennogoistočnikasvčbarʹernymrazrâdomvargonepriatmosfernomdavlenii
AT kuzmichevai teoretičeskoeiéksperimentalʹnoeissledovaniâplazmennogoistočnikasvčbarʹernymrazrâdomvargonepriatmosfernomdavlenii
AT bazhenovvyu teoretičnetaeksperimentalʹnedoslídžennâplazmovogodžerelazvčbarêrnimrozrâdomvargonípriatmosfernomutisku
AT tsiolkovv teoretičnetaeksperimentalʹnedoslídžennâplazmovogodžerelazvčbarêrnimrozrâdomvargonípriatmosfernomutisku
AT piunvm teoretičnetaeksperimentalʹnedoslídžennâplazmovogodžerelazvčbarêrnimrozrâdomvargonípriatmosfernomutisku
AT chaplinskiyryu teoretičnetaeksperimentalʹnedoslídžennâplazmovogodžerelazvčbarêrnimrozrâdomvargonípriatmosfernomutisku
AT kuzmichevai teoretičnetaeksperimentalʹnedoslídžennâplazmovogodžerelazvčbarêrnimrozrâdomvargonípriatmosfernomutisku