Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
The enhanced interest to synthesis of thin and extra-thin films using for surface materials modification continue to be quite actual up to now. A special attention is drawn to coatings having important for practical applications characteristics with costs-effective production. These may be the films...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| ISSN: | 1562-6016 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81948 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering / A. Dobrovolskiy, A. Goncharov, E. Kostin, E. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 145-148. — Бібліогр.: 18 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)
Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
Magnetron with a concave hemispherical cathode
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)
Obstructed DC glow discharge in low-pressure nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)
Anode diameter effect on ignition and burning of DC discharge
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)
The influence of irradiation by hydrogen plasma on the structure and phase compozition Ti-Zr-Ni alloys containing quasicrystalline phase
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Axial structure of DC glow discharge negative glow in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Gas magnetron deposition of structured TiO₂ nanofilms
за авторством: Dobrovolskiy, A.M., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Dobrovolskiy, A.M., та інші
Опубліковано: (2013)
Modification of Ti-Zr-Ni alloys by powerful plasma stream of different gases
за авторством: Bazdyrieva, S.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Bazdyrieva, S.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Calculating reduced electric field in diffusion regime of DC discharge positive column
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Estimation of atomic density distribution in DC arc plasma using self-absorbed emission lines
за авторством: Boretskij, V.F., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Boretskij, V.F., та інші
Опубліковано: (2015)
Structure and modes of dc glow discharge in nitrogen with hollow cathode or anode
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Investigation of DC glow discharge in CO₂ using optical emission spectroscopy
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)
Gas breakdown in DC electric field in a discharge tube with flat and conical cathodes
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)
Plasma catalysis of carbon nanoparticles synthesis in the pyrolytic chamber
за авторством: Veremii, Iu.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Veremii, Iu.P., та інші
Опубліковано: (2012)
Simulation of the plasma jet with a dispersed phase in an axisymmetric chamber
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
TiOx thin films AP DBD deposition on polyamide rope
за авторством: Klenko, Y., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Klenko, Y., та інші
Опубліковано: (2010)
The simultaneous synthesis of hydrogen-rich gas and oxidation of fine metal particles in water vapour plasma
за авторством: Valinčius, V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Valinčius, V., та інші
Опубліковано: (2013)
Non-self-sustained arc discharge in vapors of constructional materials of nuclear power engineering
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)
The corrosion properties of multilayer coatings deposited on stainless steel and Ti4Al6V substrates
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
Tantalum pentoxide ceramic coatings deposition on Ti4AI6V substrates for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2011)
Polyester fabric modified with atmospheric dielectric barrier discharge supplied with voltage of different frequencies
за авторством: Píchal, J., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Píchal, J., та інші
Опубліковано: (2010)
Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)
Computer modelling new generation plasma optical devices (new results)
за авторством: Litovko, I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Litovko, I., та інші
Опубліковано: (2015)
The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
Computer simulation of positive streamer dynamics in strongly non-uniform electric fields in air. Effect of applied voltage on a streamer velocity for different needle radii
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)