Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2014
• Main Authors: Dobrovolskiy, A., Goncharov, A., Kostin, E., Frolova, E.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
• Subjects: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81948
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering / A. Dobrovolskiy, A. Goncharov, E. Kostin, E. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 145-148. — Бібліогр.: 18 назв. — англ.

The enhanced interest to synthesis of thin and extra-thin films using for surface materials modification continue to be quite actual up to now. A special attention is drawn to coatings having important for practical applications characteristics with costs-effective production. These may be the films...