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Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering

The enhanced interest to synthesis of thin and extra-thin films using for surface materials modification continue to be quite actual up to now. A special attention is drawn to coatings having important for practical applications characteristics with costs-effective production. These may be the films...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Dobrovolskiy, A., Goncharov, A., Kostin, E., Frolova, E.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Schlagworte:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81948
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering / A. Dobrovolskiy, A. Goncharov, E. Kostin, E. Frolova // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 145-148. — Бібліогр.: 18 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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