Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation

Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation

In this paper, the features of the dense plasma generation under the thermal substance evaporation by an electron beam, formed directly at the crucible surface, have been investigated. Peculiarities of the research are the following: the initial plasma is used as the electron emitter and the electro...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2014
Автори: Mysiura, I.N., Girka, I.A., Azarenkov, N.A., Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Hryhorenko, A.V., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Tseluyko, A.F.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Теми:
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81949
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation / I.N. Mysiura, I.A. Girka, N.A. Azarenkov, Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, A.V. Hryhorenko, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov, I.N. Sereda, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 149-152. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81949
record_format dspace
spelling Mysiura, I.N.
Girka, I.A.
Azarenkov, N.A.
Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Hryhorenko, A.V.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Tseluyko, A.F.
2015-05-22T18:09:40Z
2015-05-22T18:09:40Z
2014
Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation / I.N. Mysiura, I.A. Girka, N.A. Azarenkov, Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, A.V. Hryhorenko, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov, I.N. Sereda, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 149-152. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.59.Bi, 52.59.Fn
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81949
In this paper, the features of the dense plasma generation under the thermal substance evaporation by an electron beam, formed directly at the crucible surface, have been investigated. Peculiarities of the research are the following: the initial plasma is used as the electron emitter and the electron acceleration occurs in the layer between the initial and thermionic plasma. It has been shown that in the case of the thermionic plasma formation, the crucible current can be several times higher than the discharge current of the primary plasma source due to the redistribution of voltge drop (100…200 V) from the crucible to the wall.
Исследуются особенности генерации плотной плазмы при термическом испарении вещества электронным пучком, который формируется непосредственно у поверхности тигля. Особенность исследований состоит в том, что эмиттером электронов пучка служит первичная плазма, а ускорение происходит в слое объемного заряда между первичной и термоионной плазмой. Показано, что ток на тигель при образовании термоионной плазмы может в несколько раз превышать разрядный ток источника первичной плазмы, что связано с перераспределением части напряжения (100…200 В) между тиглем и стенкой.
Досліджуються особливості генерації щільної плазми при термічному випаровуванні речовини електронним пучком, який формується безпосередньо біля поверхні тигля. Особливість досліджень полягає в тому, що емітером електронів пучка є первинна плазма, а прискорення відбувається в шарі об'ємного заряду між первинною та термоіонною плазмою. Показано, що струм на тигель при утворенні термоіонної плазми може в декілька разів перевищувати розрядний струм джерела первинної плазми, що пов'язано з перерозподілом частини напруги (100…200 В) між тиглем та стінкою.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
Особенности электронно-лучевого испарения в условиях приповерхностного формирования электронного пучка
Особливості електронно-променевого випаровування за умов приповерхневого формування електронного пучка
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
spellingShingle Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
Mysiura, I.N.
Girka, I.A.
Azarenkov, N.A.
Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Hryhorenko, A.V.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Tseluyko, A.F.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
title_full Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
title_fullStr Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
title_full_unstemmed Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
title_sort features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
author Mysiura, I.N.
Girka, I.A.
Azarenkov, N.A.
Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Hryhorenko, A.V.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Tseluyko, A.F.
author_facet Mysiura, I.N.
Girka, I.A.
Azarenkov, N.A.
Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Hryhorenko, A.V.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Tseluyko, A.F.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2014
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Особенности электронно-лучевого испарения в условиях приповерхностного формирования электронного пучка
Особливості електронно-променевого випаровування за умов приповерхневого формування електронного пучка
description In this paper, the features of the dense plasma generation under the thermal substance evaporation by an electron beam, formed directly at the crucible surface, have been investigated. Peculiarities of the research are the following: the initial plasma is used as the electron emitter and the electron acceleration occurs in the layer between the initial and thermionic plasma. It has been shown that in the case of the thermionic plasma formation, the crucible current can be several times higher than the discharge current of the primary plasma source due to the redistribution of voltge drop (100…200 V) from the crucible to the wall. Исследуются особенности генерации плотной плазмы при термическом испарении вещества электронным пучком, который формируется непосредственно у поверхности тигля. Особенность исследований состоит в том, что эмиттером электронов пучка служит первичная плазма, а ускорение происходит в слое объемного заряда между первичной и термоионной плазмой. Показано, что ток на тигель при образовании термоионной плазмы может в несколько раз превышать разрядный ток источника первичной плазмы, что связано с перераспределением части напряжения (100…200 В) между тиглем и стенкой. Досліджуються особливості генерації щільної плазми при термічному випаровуванні речовини електронним пучком, який формується безпосередньо біля поверхні тигля. Особливість досліджень полягає в тому, що емітером електронів пучка є первинна плазма, а прискорення відбувається в шарі об'ємного заряду між первинною та термоіонною плазмою. Показано, що струм на тигель при утворенні термоіонної плазми може в декілька разів перевищувати розрядний струм джерела первинної плазми, що пов'язано з перерозподілом частини напруги (100…200 В) між тиглем та стінкою.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81949
citation_txt Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation / I.N. Mysiura, I.A. Girka, N.A. Azarenkov, Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, A.V. Hryhorenko, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov, I.N. Sereda, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 149-152. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT mysiurain featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT girkaia featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT azarenkovna featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT borguniev featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT hrechkoyao featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT hryhorenkoav featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT dimitrovavd featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT ryabchikovdl featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT seredain featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT tseluykoaf featuresofelectronbeamevaporationundersurfaceelectronbeamformation
AT mysiurain osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT girkaia osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT azarenkovna osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT borguniev osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT hrechkoyao osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT hryhorenkoav osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT dimitrovavd osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT ryabchikovdl osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT seredain osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT tseluykoaf osobennostiélektronnolučevogoispareniâvusloviâhpripoverhnostnogoformirovaniâélektronnogopučka
AT mysiurain osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT girkaia osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT azarenkovna osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT borguniev osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT hrechkoyao osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT hryhorenkoav osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT dimitrovavd osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT ryabchikovdl osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT seredain osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
AT tseluykoaf osoblivostíelektronnopromenevogoviparovuvannâzaumovpripoverhnevogoformuvannâelektronnogopučka
first_indexed 2025-12-07T15:14:25Z
last_indexed 2025-12-07T15:14:25Z
_version_ 1850862957593886720

Схожі ресурси