Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna
A new modification of the helicon discharge capable of producing linearly uniform plasma is investigated. The discharge is excited in magnetic field by an inductive antenna consisting of two parallel linear conductors with antiphase RF currents, similar to a two-wire transmission line. The wave natu...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81951 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna / A.G. Borisenko, M.A. Beloshenko, V.F. Virko, Yu.V. Virko, V.M. Slobodyan // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 153-156. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862719594346577920 |
|---|---|
| author | Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. |
| author_facet | Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. |
| citation_txt | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna / A.G. Borisenko, M.A. Beloshenko, V.F. Virko, Yu.V. Virko, V.M. Slobodyan // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 153-156. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | A new modification of the helicon discharge capable of producing linearly uniform plasma is investigated. The discharge is excited in magnetic field by an inductive antenna consisting of two parallel linear conductors with antiphase RF currents, similar to a two-wire transmission line. The wave nature of the discharge is demonstrated. It is shown that there exist some discharge conditions in which plasma density is homogenous along a significant part of the antenna length. A convenient for realization discharge system with the linear antenna immersed into plasma is proposed. Provided further improvement this discharge may be used for uniform plasma processing of large surfaces.
Исследована новая разновидность геликонного разряда, способного генерировать линейно однородную плазму. Разряд возбуждается в магнитном поле индукционной антенной, состоящей из двух параллельных проводников с противофазными ВЧ-токами, подобно двухпроводной передающей линии. Продемонстрирована волновая природа разряда. Показано, что существуют некоторые разрядные условия, в которых плотность плазмы однородна на значительной части длины антенны. Предложена удобная в реализации разрядная система с линейной антенной, погружённой в плазму. При дальнейшем усовершенствовании такой разряд может быть использован для однородной плазменной обработки больших поверхностей.
Досліджено новий різновид геліконного розряду, здатного утворювати лінійно однорідну плазму. Розряд збуджується в магнітному полі індукційною антеною, що складається з двох паралельних провідників з протифазними ВЧ-струмами, подібно до двопровідної передавальної лінії. Продемонстровано хвильову природу розряду. Показано, що існують деякі розрядні умови, в яких густина плазми є однорідною на значній частині довжини антени. Запропонована зручна в реалізації розрядна система з лінійною антеною, зануреною в плазму. При подальшому удосконаленні такий розряд може бути використано для однорідної плазмової обробки великих поверхонь.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:20:25Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81951 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T18:20:25Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. 2015-05-22T18:15:08Z 2015-05-22T18:15:08Z 2014 Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna / A.G. Borisenko, M.A. Beloshenko, V.F. Virko, Yu.V. Virko, V.M. Slobodyan // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 153-156. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Qt, 52.75.Di https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81951 A new modification of the helicon discharge capable of producing linearly uniform plasma is investigated. The discharge is excited in magnetic field by an inductive antenna consisting of two parallel linear conductors with antiphase RF currents, similar to a two-wire transmission line. The wave nature of the discharge is demonstrated. It is shown that there exist some discharge conditions in which plasma density is homogenous along a significant part of the antenna length. A convenient for realization discharge system with the linear antenna immersed into plasma is proposed. Provided further improvement this discharge may be used for uniform plasma processing of large surfaces. Исследована новая разновидность геликонного разряда, способного генерировать линейно однородную плазму. Разряд возбуждается в магнитном поле индукционной антенной, состоящей из двух параллельных проводников с противофазными ВЧ-токами, подобно двухпроводной передающей линии. Продемонстрирована волновая природа разряда. Показано, что существуют некоторые разрядные условия, в которых плотность плазмы однородна на значительной части длины антенны. Предложена удобная в реализации разрядная система с линейной антенной, погружённой в плазму. При дальнейшем усовершенствовании такой разряд может быть использован для однородной плазменной обработки больших поверхностей. Досліджено новий різновид геліконного розряду, здатного утворювати лінійно однорідну плазму. Розряд збуджується в магнітному полі індукційною антеною, що складається з двох паралельних провідників з протифазними ВЧ-струмами, подібно до двопровідної передавальної лінії. Продемонстровано хвильову природу розряду. Показано, що існують деякі розрядні умови, в яких густина плазми є однорідною на значній частині довжини антени. Запропонована зручна в реалізації розрядна система з лінійною антеною, зануреною в плазму. При подальшому удосконаленні такий розряд може бути використано для однорідної плазмової обробки великих поверхонь. This work was supported by the Presidium of NAS of
 Ukraine and the Scientific Council of program:
 “Prospective researches on Plasma physics, Controlled
 fusion and Plasma technology” under the project
 № ПЛ 30/14. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna Модифицированный геликонный разряд, возбуждаемый линейной индукционной антенной Модифікований геліконний розряд, збуджуваний лінійною індукційною антеною Article published earlier |
| spellingShingle | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna Borisenko, A.G. Beloshenko, M.A. Virko, V.F. Virko, Yu.V. Slobodyan, V.M. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_alt | Модифицированный геликонный разряд, возбуждаемый линейной индукционной антенной Модифікований геліконний розряд, збуджуваний лінійною індукційною антеною |
| title_full | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_fullStr | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_full_unstemmed | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_short | Modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| title_sort | modified helicon discharge excited by a linear inductive antenna |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81951 |
| work_keys_str_mv | AT borisenkoag modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT beloshenkoma modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT virkovf modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT virkoyuv modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT slobodyanvm modifiedhelicondischargeexcitedbyalinearinductiveantenna AT borisenkoag modificirovannyigelikonnyirazrâdvozbuždaemyilineinoiindukcionnoiantennoi AT beloshenkoma modificirovannyigelikonnyirazrâdvozbuždaemyilineinoiindukcionnoiantennoi AT virkovf modificirovannyigelikonnyirazrâdvozbuždaemyilineinoiindukcionnoiantennoi AT virkoyuv modificirovannyigelikonnyirazrâdvozbuždaemyilineinoiindukcionnoiantennoi AT slobodyanvm modificirovannyigelikonnyirazrâdvozbuždaemyilineinoiindukcionnoiantennoi AT borisenkoag modifíkovaniigelíkonniirozrâdzbudžuvaniilíníinoûíndukcíinoûantenoû AT beloshenkoma modifíkovaniigelíkonniirozrâdzbudžuvaniilíníinoûíndukcíinoûantenoû AT virkovf modifíkovaniigelíkonniirozrâdzbudžuvaniilíníinoûíndukcíinoûantenoû AT virkoyuv modifíkovaniigelíkonniirozrâdzbudžuvaniilíníinoûíndukcíinoûantenoû AT slobodyanvm modifíkovaniigelíkonniirozrâdzbudžuvaniilíníinoûíndukcíinoûantenoû |