Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources
In this paper, the technology of application of ohmic contacts using arc discharge assisted by HF field was developed for semiconductor radiation detectors production. Polycrystalline diamond material for production of detectors was synthesized by chemical vapor deposition method (CVD) in NSC KIPT....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2014 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81960 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources / R.M. Muratov, A.A. Vierovkin, V.E. Kutny, Yr.N. Nezovibat’ko, A.V. Rybka, V.S. Taran // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 233-236. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862606166407774208 |
|---|---|
| author | Muratov, R.M. Vierovkin, A.A. Kutny, V.E. Nezovibat’ko, Yr.N. Rybka, A.V. Taran, V.S. |
| author_facet | Muratov, R.M. Vierovkin, A.A. Kutny, V.E. Nezovibat’ko, Yr.N. Rybka, A.V. Taran, V.S. |
| citation_txt | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources / R.M. Muratov, A.A. Vierovkin, V.E. Kutny, Yr.N. Nezovibat’ko, A.V. Rybka, V.S. Taran // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 233-236. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In this paper, the technology of application of ohmic contacts using arc discharge assisted by HF field was developed for semiconductor radiation detectors production. Polycrystalline diamond material for production of detectors was synthesized by chemical vapor deposition method (CVD) in NSC KIPT. Bilayer contacts were deposited on polycrystalline CVD (pCVD) diamond films, where the first layer was chromium, and the second layer – copper or stainless steel respectively. Electro-physical characteristics of pCVD diamond detectors with different contact materials were studied.
Представлена технология нанесения омических контактов с помощью дугового разряда с ассистирован-ным ВЧ-полем для полупроводниковых датчиков ионизирующего излучения. Поликристаллический алмазный материал для производства детекторов был синтезирован методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) в ННЦ ХФТИ. Двухслойные контакты наносились на pCVD-алмазные пленки, первый слой состоял из хрома, а второй – из меди или нержавеющей стали соответственно. Исследованы электрофизические характеристики детекторов на основе поликристаллического алмаза с разным материалом контактов.
Представлена технологія нанесення омічних контактів за допомогою дугового розряду з асистированим ВЧ-полем для напівпровідникових датчиків іонізуючого випромінювання. Полікристалічний алмазний матеріал для виробництва детекторів був синтезований методом хімічного осадження з парової фази (CVD) в ННЦ ХФТІ. Двошарові контакти наносилися на pCVD-алмазні плівки, перший шар був з хрому, а другий – з міді або нержавіючої сталі відповідно. Досліджено електрофізичні характеристики детекторів на основі полікристалічного алмазу з різним матеріалом контакту.
|
| first_indexed | 2025-11-28T13:03:10Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81960 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-28T13:03:10Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Muratov, R.M. Vierovkin, A.A. Kutny, V.E. Nezovibat’ko, Yr.N. Rybka, A.V. Taran, V.S. 2015-05-22T18:25:23Z 2015-05-22T18:25:23Z 2014 Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources / R.M. Muratov, A.A. Vierovkin, V.E. Kutny, Yr.N. Nezovibat’ko, A.V. Rybka, V.S. Taran // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 233-236. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 52.77Dq https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81960 In this paper, the technology of application of ohmic contacts using arc discharge assisted by HF field was developed for semiconductor radiation detectors production. Polycrystalline diamond material for production of detectors was synthesized by chemical vapor deposition method (CVD) in NSC KIPT. Bilayer contacts were deposited on polycrystalline CVD (pCVD) diamond films, where the first layer was chromium, and the second layer – copper or stainless steel respectively. Electro-physical characteristics of pCVD diamond detectors with different contact materials were studied. Представлена технология нанесения омических контактов с помощью дугового разряда с ассистирован-ным ВЧ-полем для полупроводниковых датчиков ионизирующего излучения. Поликристаллический алмазный материал для производства детекторов был синтезирован методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) в ННЦ ХФТИ. Двухслойные контакты наносились на pCVD-алмазные пленки, первый слой состоял из хрома, а второй – из меди или нержавеющей стали соответственно. Исследованы электрофизические характеристики детекторов на основе поликристаллического алмаза с разным материалом контактов. Представлена технологія нанесення омічних контактів за допомогою дугового розряду з асистированим ВЧ-полем для напівпровідникових датчиків іонізуючого випромінювання. Полікристалічний алмазний матеріал для виробництва детекторів був синтезований методом хімічного осадження з парової фази (CVD) в ННЦ ХФТІ. Двошарові контакти наносилися на pCVD-алмазні плівки, перший шар був з хрому, а другий – з міді або нержавіючої сталі відповідно. Досліджено електрофізичні характеристики детекторів на основі полікристалічного алмазу з різним матеріалом контакту. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources Разработка и нанесение металлических контактов на поликристаллические алмазные пленки с использованием комбинации ВЧ- и дугового плазменных источников Розробка й нанесення металевих контактів на полікристалічні алмазні плівки з використанням комбинації ВЧ- і дугового плазмових джерел Article published earlier |
| spellingShingle | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources Muratov, R.M. Vierovkin, A.A. Kutny, V.E. Nezovibat’ko, Yr.N. Rybka, A.V. Taran, V.S. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources |
| title_alt | Разработка и нанесение металлических контактов на поликристаллические алмазные пленки с использованием комбинации ВЧ- и дугового плазменных источников Розробка й нанесення металевих контактів на полікристалічні алмазні плівки з використанням комбинації ВЧ- і дугового плазмових джерел |
| title_full | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources |
| title_fullStr | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources |
| title_full_unstemmed | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources |
| title_short | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources |
| title_sort | development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of hf and arc plasma sources |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81960 |
| work_keys_str_mv | AT muratovrm developmentandapplicationofmetalcontactsonpolycrystallinediamondfilmsusingcombinationofhfandarcplasmasources AT vierovkinaa developmentandapplicationofmetalcontactsonpolycrystallinediamondfilmsusingcombinationofhfandarcplasmasources AT kutnyve developmentandapplicationofmetalcontactsonpolycrystallinediamondfilmsusingcombinationofhfandarcplasmasources AT nezovibatkoyrn developmentandapplicationofmetalcontactsonpolycrystallinediamondfilmsusingcombinationofhfandarcplasmasources AT rybkaav developmentandapplicationofmetalcontactsonpolycrystallinediamondfilmsusingcombinationofhfandarcplasmasources AT taranvs developmentandapplicationofmetalcontactsonpolycrystallinediamondfilmsusingcombinationofhfandarcplasmasources AT muratovrm razrabotkainaneseniemetalličeskihkontaktovnapolikristalličeskiealmaznyeplenkisispolʹzovaniemkombinaciivčidugovogoplazmennyhistočnikov AT vierovkinaa razrabotkainaneseniemetalličeskihkontaktovnapolikristalličeskiealmaznyeplenkisispolʹzovaniemkombinaciivčidugovogoplazmennyhistočnikov AT kutnyve razrabotkainaneseniemetalličeskihkontaktovnapolikristalličeskiealmaznyeplenkisispolʹzovaniemkombinaciivčidugovogoplazmennyhistočnikov AT nezovibatkoyrn razrabotkainaneseniemetalličeskihkontaktovnapolikristalličeskiealmaznyeplenkisispolʹzovaniemkombinaciivčidugovogoplazmennyhistočnikov AT rybkaav razrabotkainaneseniemetalličeskihkontaktovnapolikristalličeskiealmaznyeplenkisispolʹzovaniemkombinaciivčidugovogoplazmennyhistočnikov AT taranvs razrabotkainaneseniemetalličeskihkontaktovnapolikristalličeskiealmaznyeplenkisispolʹzovaniemkombinaciivčidugovogoplazmennyhistočnikov AT muratovrm rozrobkainanesennâmetalevihkontaktívnapolíkristalíčníalmazníplívkizvikoristannâmkombinacíívčídugovogoplazmovihdžerel AT vierovkinaa rozrobkainanesennâmetalevihkontaktívnapolíkristalíčníalmazníplívkizvikoristannâmkombinacíívčídugovogoplazmovihdžerel AT kutnyve rozrobkainanesennâmetalevihkontaktívnapolíkristalíčníalmazníplívkizvikoristannâmkombinacíívčídugovogoplazmovihdžerel AT nezovibatkoyrn rozrobkainanesennâmetalevihkontaktívnapolíkristalíčníalmazníplívkizvikoristannâmkombinacíívčídugovogoplazmovihdžerel AT rybkaav rozrobkainanesennâmetalevihkontaktívnapolíkristalíčníalmazníplívkizvikoristannâmkombinacíívčídugovogoplazmovihdžerel AT taranvs rozrobkainanesennâmetalevihkontaktívnapolíkristalíčníalmazníplívkizvikoristannâmkombinacíívčídugovogoplazmovihdžerel |