Зображення обкладинки

Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources

In this paper, the technology of application of ohmic contacts using arc discharge assisted by HF field was developed for semiconductor radiation detectors production. Polycrystalline diamond material for production of detectors was synthesized by chemical vapor deposition method (CVD) in NSC KIPT....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в:	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2014
ISSN:	1562-6016
Автори:	Muratov, R.M., Vierovkin, A.A., Kutny, V.E., Nezovibat’ko, Yr.N., Rybka, A.V., Taran, V.S.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81960
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources / R.M. Muratov, A.A. Vierovkin, V.E. Kutny, Yr.N. Nezovibat’ko, A.V. Rybka, V.S. Taran // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 233-236. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Application of HF discharge for nitriding of various surfaces
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)

Influence of increased sliding speed on the structure and properties of piston rings with ion-plasma coating
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Formation of MoO₃ crystals in electric arc plasma source
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Plasma of electric arc between composite electrodes on silver base
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2010)

Effective dissociation temperature for estimation of electric arc plasma composition
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma of arc discharge between melting Cu- and Ni-electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2018)

Spectroscopy of heterophase plasma of electric ARC discharge between W and Mo electrodes
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

On the influence of beryllium impurities on the transport properties of multicomponent arc plasma
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2014)

Nonequilibrium of the dense electric arc plasma cased by radiation transfer
за авторством: Zhovtyansky, V.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Non-equilibrium plasma properties of electric arc discharge in air between copper electrodes
за авторством: Boretskij, V., та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of nonequilibrium in plasma of ARC discharge between melting electrodes
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

On the peculiarities of electrical conductivity in ARC plasma containing stainless steel and tungsten
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2018)

Thermal plasma of electric arc discharge in air between composite Cu-C electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Deposition of chromium nitride coatings from vacuum arc plasma in increased nitrogen pressure
за авторством: Ovcharenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2014)

Experimental investigation of arc column expansion generated by high-energy spark ignition system
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Estimation of atomic density distribution in DC arc plasma using self-absorbed emission lines
за авторством: Boretskij, V.F., та інші
Опубліковано: (2015)

Non-self-sustained arc discharge in vapors of constructional materials of nuclear power engineering
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Investigation of electric arc discharge plasma between one-component Cu and Ni and composite Ag-Ni electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)

Enrichment of colloidal solutions by nanoparticles in underwater spark discharge
за авторством: Lopat’ko, K., та інші
Опубліковано: (2015)

Devices for pre-sterilszation treatment of endoscopes by ozone and ultrasound
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2014)

Some aspects of deposition of conductive, dielectric and protective coatings on insulators with using arc discharge dc and RF bias
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2017)

The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)

Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Nitriding, oxidation and carburization of titanium and steels in non-self maintained gaseous discharge
за авторством: Timoshenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Computer simulation of abnormal glow discharge processes in crossed electric and magnetic fields
за авторством: Isakov, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)

Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Ozone decay in chemical reactor for ozone-dynamical disintegration of used tyres
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma parameters estimation in the non-self-sustained gas discharge with hollow anode
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Modeling of gas diffusion into metals on the example of titanium nitriding in gas discharge plasmas
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2015)

Development of an automated radiation control system based on semiconductor ionizing radiation detectors
за авторством: Gubarev, S.P., та інші
Опубліковано: (2018)

Automatic programmable air ozonizer
за авторством: Gubarev, S.P., та інші
Опубліковано: (2015)

Ozonizer with superimposed discharge for inactivation of microorganisms
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Treatment of polyimide films by an atmospheric pressure plasma of capacitive RF discharge for liquid crystal alignment
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)