Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
Comparative studies of the structure, mechanical and tribological properties of DLC coatings deposited in DC and DC with superimposed high current pulse modes of operation vacuum-arc plasma source with the graphite cathode are presented. Imposition the pulses of high current on DC vacuum-arc dischar...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81961 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc / V. Zavaleyev, J. Walkowicz, D.S. Aksyonov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 237-240. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-81961 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Zavaleyev, V. Walkowicz, J. Aksyonov, D.S. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. 2015-05-22T19:49:25Z 2015-05-22T19:49:25Z 2014 Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc / V. Zavaleyev, J. Walkowicz, D.S. Aksyonov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 237-240. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 81.15.-z, 81.05.uj https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81961 Comparative studies of the structure, mechanical and tribological properties of DLC coatings deposited in DC and DC with superimposed high current pulse modes of operation vacuum-arc plasma source with the graphite cathode are presented. Imposition the pulses of high current on DC vacuum-arc discharge allows both increase the deposition rate of DLC coating and reduce the residual compressive stress in the coatings what promotes substantial improvement the adhesion to the substrate. Effect of vacuum arc plasma filtration with Venetian blind filter on the deposition rate and tribological characteristics of the coatings analyzed. Представлены результаты сравнительных исследований структуры, механических и трибологических свойств алмазоподобных покрытий (АПП), осажденных методами разряда постоянного тока и постоянного тока с наложением дополнительных импульсов при использовании вакуумно-дугового источника плазмы с графитовым катодом. Установлено, что метод вакуумно-дугового осаждения постоянного тока с наложенными импульсами сильноточной дуги позволяет увеличить скорость осаждения АПП, снижает уровень остаточных напряжений сжатия в покрытиях, существенно улучшает адгезию к подложке и одновременно обеспечивает хорошие характеристики трения. Анализируется влияние фильтрации вакуумно-дуговой плазмы на скорость осаждения и характеристики покрытий. Представлено результати порівняльних досліджень структури, механічних та трибологічних властивостей алмазоподібних покриттів (АПП), осаджених методами розряду постійного струму та постійного струму з накладанням додаткових імпульсів струму при використанні вакуумно-дугового джерела плазми з графітовим катодом. Встановлено, що метод вакуумно-дугового осадження постійного струму з додатковими імпульсами струму великої амплітуди дозволяє збільшити швидкість осадження АПП, знижує рівень залишкових напружень стиску в покриттях, значно поліпшує адгезію до підкладки та одночасно забезпечує добрі характеристики тертя. Аналізується вплив фільтрації вакуумно-дугової плазми на швидкість осадження та характеристики покриттів. This work was supported by IMBeing-FP7- PEOPLE-2013-IRSES-612593 Project. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc Свойства алмазоподобных покрытий (АПП), нанесенных при помощи вакуумной дуги постоянного тока и постоянного тока с наложением импульсов Властивості алмазоподібних покриттів (АПП), нанесених за допомогою вакуумної дуги постійного струму та постійного струму з накладанням імпульсів Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc |
| spellingShingle |
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc Zavaleyev, V. Walkowicz, J. Aksyonov, D.S. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc |
| title_full |
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc |
| title_fullStr |
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc |
| title_full_unstemmed |
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc |
| title_sort |
properties of dlc coatings deposited by dc and dc with superimposed pulsed vacuum arc |
| author |
Zavaleyev, V. Walkowicz, J. Aksyonov, D.S. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. |
| author_facet |
Zavaleyev, V. Walkowicz, J. Aksyonov, D.S. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2014 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Свойства алмазоподобных покрытий (АПП), нанесенных при помощи вакуумной дуги постоянного тока и постоянного тока с наложением импульсов Властивості алмазоподібних покриттів (АПП), нанесених за допомогою вакуумної дуги постійного струму та постійного струму з накладанням імпульсів |
| description |
Comparative studies of the structure, mechanical and tribological properties of DLC coatings deposited in DC and DC with superimposed high current pulse modes of operation vacuum-arc plasma source with the graphite cathode are presented. Imposition the pulses of high current on DC vacuum-arc discharge allows both increase the deposition rate of DLC coating and reduce the residual compressive stress in the coatings what promotes substantial improvement the adhesion to the substrate. Effect of vacuum arc plasma filtration with Venetian blind filter on the deposition rate and tribological characteristics of the coatings analyzed.
Представлены результаты сравнительных исследований структуры, механических и трибологических свойств алмазоподобных покрытий (АПП), осажденных методами разряда постоянного тока и постоянного тока с наложением дополнительных импульсов при использовании вакуумно-дугового источника плазмы с графитовым катодом. Установлено, что метод вакуумно-дугового осаждения постоянного тока с наложенными импульсами сильноточной дуги позволяет увеличить скорость осаждения АПП, снижает уровень остаточных напряжений сжатия в покрытиях, существенно улучшает адгезию к подложке и одновременно обеспечивает хорошие характеристики трения. Анализируется влияние фильтрации вакуумно-дуговой плазмы на скорость осаждения и характеристики покрытий.
Представлено результати порівняльних досліджень структури, механічних та трибологічних властивостей алмазоподібних покриттів (АПП), осаджених методами розряду постійного струму та постійного струму з накладанням додаткових імпульсів струму при використанні вакуумно-дугового джерела плазми з графітовим катодом. Встановлено, що метод вакуумно-дугового осадження постійного струму з додатковими імпульсами струму великої амплітуди дозволяє збільшити швидкість осадження АПП, знижує рівень залишкових напружень стиску в покриттях, значно поліпшує адгезію до підкладки та одночасно забезпечує добрі характеристики тертя. Аналізується вплив фільтрації вакуумно-дугової плазми на швидкість осадження та характеристики покриттів.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81961 |
| citation_txt |
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc / V. Zavaleyev, J. Walkowicz, D.S. Aksyonov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 237-240. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT zavaleyevv propertiesofdlccoatingsdepositedbydcanddcwithsuperimposedpulsedvacuumarc AT walkowiczj propertiesofdlccoatingsdepositedbydcanddcwithsuperimposedpulsedvacuumarc AT aksyonovds propertiesofdlccoatingsdepositedbydcanddcwithsuperimposedpulsedvacuumarc AT luchaninovaa propertiesofdlccoatingsdepositedbydcanddcwithsuperimposedpulsedvacuumarc AT reshetnyaken propertiesofdlccoatingsdepositedbydcanddcwithsuperimposedpulsedvacuumarc AT strelnitskijve propertiesofdlccoatingsdepositedbydcanddcwithsuperimposedpulsedvacuumarc AT zavaleyevv svoistvaalmazopodobnyhpokrytiiappnanesennyhpripomoŝivakuumnoidugipostoânnogotokaipostoânnogotokasnaloženiemimpulʹsov AT walkowiczj svoistvaalmazopodobnyhpokrytiiappnanesennyhpripomoŝivakuumnoidugipostoânnogotokaipostoânnogotokasnaloženiemimpulʹsov AT aksyonovds svoistvaalmazopodobnyhpokrytiiappnanesennyhpripomoŝivakuumnoidugipostoânnogotokaipostoânnogotokasnaloženiemimpulʹsov AT luchaninovaa svoistvaalmazopodobnyhpokrytiiappnanesennyhpripomoŝivakuumnoidugipostoânnogotokaipostoânnogotokasnaloženiemimpulʹsov AT reshetnyaken svoistvaalmazopodobnyhpokrytiiappnanesennyhpripomoŝivakuumnoidugipostoânnogotokaipostoânnogotokasnaloženiemimpulʹsov AT strelnitskijve svoistvaalmazopodobnyhpokrytiiappnanesennyhpripomoŝivakuumnoidugipostoânnogotokaipostoânnogotokasnaloženiemimpulʹsov AT zavaleyevv vlastivostíalmazopodíbnihpokrittívappnanesenihzadopomogoûvakuumnoídugipostíinogostrumutapostíinogostrumuznakladannâmímpulʹsív AT walkowiczj vlastivostíalmazopodíbnihpokrittívappnanesenihzadopomogoûvakuumnoídugipostíinogostrumutapostíinogostrumuznakladannâmímpulʹsív AT aksyonovds vlastivostíalmazopodíbnihpokrittívappnanesenihzadopomogoûvakuumnoídugipostíinogostrumutapostíinogostrumuznakladannâmímpulʹsív AT luchaninovaa vlastivostíalmazopodíbnihpokrittívappnanesenihzadopomogoûvakuumnoídugipostíinogostrumutapostíinogostrumuznakladannâmímpulʹsív AT reshetnyaken vlastivostíalmazopodíbnihpokrittívappnanesenihzadopomogoûvakuumnoídugipostíinogostrumutapostíinogostrumuznakladannâmímpulʹsív AT strelnitskijve vlastivostíalmazopodíbnihpokrittívappnanesenihzadopomogoûvakuumnoídugipostíinogostrumutapostíinogostrumuznakladannâmímpulʹsív |
| first_indexed |
2025-12-07T16:35:38Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:35:38Z |
| _version_ |
1850868066991210496 |