About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, di...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Institute for Nuclear Research of NASU
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862633215165988864 |
|---|---|
| author | Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. |
| author_facet | Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. |
| citation_txt | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained.
Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах.
Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах.
|
| first_indexed | 2025-11-30T14:35:03Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82118 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-30T14:35:03Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Institute for Nuclear Research of NASU |
| record_format | dspace |
| spelling | Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. 2015-05-25T09:58:44Z 2015-05-25T09:58:44Z 2015 About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118 The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained. Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах. Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах. en Institute for Nuclear Research of NASU Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields Об особенностях образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах с управляемыми магнитными полями Про особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах з керованими магнітними полями Article published earlier |
| spellingShingle | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_alt | Об особенностях образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах с управляемыми магнитными полями Про особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах з керованими магнітними полями |
| title_full | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_fullStr | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_full_unstemmed | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_short | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_sort | about peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118 |
| work_keys_str_mv | AT hladkovskiyvv aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT fedorovichoa aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT polozovbp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT kruglenkomp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT hladkovskiyvv obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT fedorovichoa obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT polozovbp obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT kruglenkomp obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT hladkovskiyvv proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi AT fedorovichoa proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi AT polozovbp proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi AT kruglenkomp proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi |