About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, di...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Institute for Nuclear Research of NASU
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82118 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. 2015-05-25T09:58:44Z 2015-05-25T09:58:44Z 2015 About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118 The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained. Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах. Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах. en Institute for Nuclear Research of NASU Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields Об особенностях образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах с управляемыми магнитными полями Про особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах з керованими магнітними полями Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| spellingShingle |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_full |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_fullStr |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_full_unstemmed |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| title_sort |
about peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields |
| author |
Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. |
| author_facet |
Hladkovskiy, V.V. Fedorovich, O.A. Polozov, B.P. Kruglenko, M.P. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2015 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Institute for Nuclear Research of NASU |
| format |
Article |
| title_alt |
Об особенностях образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах с управляемыми магнитными полями Про особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах з керованими магнітними полями |
| description |
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained.
Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах.
Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118 |
| citation_txt |
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT hladkovskiyvv aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT fedorovichoa aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT polozovbp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT kruglenkomp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields AT hladkovskiyvv obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT fedorovichoa obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT polozovbp obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT kruglenkomp obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi AT hladkovskiyvv proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi AT fedorovichoa proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi AT polozovbp proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi AT kruglenkomp proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi |
| first_indexed |
2025-11-30T14:35:03Z |
| last_indexed |
2025-11-30T14:35:03Z |
| _version_ |
1850857873586782208 |