About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields

The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, di...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2015
Hauptverfasser: Hladkovskiy, V.V., Fedorovich, O.A., Polozov, B.P., Kruglenko, M.P.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Institute for Nuclear Research of NASU 2015
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862633215165988864
author Hladkovskiy, V.V.
Fedorovich, O.A.
Polozov, B.P.
Kruglenko, M.P.
author_facet Hladkovskiy, V.V.
Fedorovich, O.A.
Polozov, B.P.
Kruglenko, M.P.
citation_txt About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained. Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах. Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах.
first_indexed 2025-11-30T14:35:03Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82118
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-11-30T14:35:03Z
publishDate 2015
publisher Institute for Nuclear Research of NASU
record_format dspace
spelling Hladkovskiy, V.V.
Fedorovich, O.A.
Polozov, B.P.
Kruglenko, M.P.
2015-05-25T09:58:44Z
2015-05-25T09:58:44Z
2015
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields / V.V. Hladkovskiy, О.A. Fedorovich, B.P. Polozov, M.P. Kruglenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 156-160. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, on the pressures, gas flows, discharge currents, discharge RF voltage drops are obtained.
Экспериментально исследованы особенности образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах (ПХР) с управляемыми магнитными полями. Получены зависимости напряжений автосмещения от величин и конфигураций магнитных полей в ПХР, а также от давлений, расходов газов, токов в разрядах, падений ВЧ-напряжений на разрядах.
Експериментально досліджені особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах (ПХР) з керованими магнітними полями. Отримано залежності напруги автозміщення від величин і конфігурацій магнітних полів в ПХР, а також від тисків, витрат газів, струмів у розрядах, падінь ВЧ-напруг на розрядах.
en
Institute for Nuclear Research of NASU
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
Об особенностях образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах с управляемыми магнитными полями
Про особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах з керованими магнітними полями
Article
published earlier
spellingShingle About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
Hladkovskiy, V.V.
Fedorovich, O.A.
Polozov, B.P.
Kruglenko, M.P.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
title_alt Об особенностях образования напряжения автосмещения в плазмохимических реакторах с управляемыми магнитными полями
Про особливості утворення напруги автозміщення в плазмохімічних реакторах з керованими магнітними полями
title_full About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
title_fullStr About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
title_full_unstemmed About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
title_short About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
title_sort about peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82118
work_keys_str_mv AT hladkovskiyvv aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields
AT fedorovichoa aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields
AT polozovbp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields
AT kruglenkomp aboutpeculiaritiesofselfbiasvoltageformationinplasmachemicalreactorswithcontrolledmagneticfields
AT hladkovskiyvv obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi
AT fedorovichoa obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi
AT polozovbp obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi
AT kruglenkomp obosobennostâhobrazovaniânaprâženiâavtosmeŝeniâvplazmohimičeskihreaktorahsupravlâemymimagnitnymipolâmi
AT hladkovskiyvv proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi
AT fedorovichoa proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi
AT polozovbp proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi
AT kruglenkomp proosoblivostíutvorennânaprugiavtozmíŝennâvplazmohímíčnihreaktorahzkerovanimimagnítnimipolâmi