Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
The results of technological tests of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode working in pulse-modes with additional pulse heavy-current high-voltage supply source are presented. It is shown that efficiency of mass transfer in the pulse mode overcoati...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82146 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating / A.G. Chunadra, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, A.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 181-183. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862698512641163264 |
|---|---|
| author | Chunadra, A.G. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Bizyukov, A.A. |
| author_facet | Chunadra, A.G. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Bizyukov, A.A. |
| citation_txt | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating / A.G. Chunadra, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, A.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 181-183. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The results of technological tests of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode working in pulse-modes with additional pulse heavy-current high-voltage supply source are presented. It is shown that efficiency of mass transfer in the pulse mode overcoating increases by three orders of magnitude as compared to stationary mode of magnetron discharge. Hereat there is no droplet phase at the copper coating that is typical for an arc evaporation of a cathode.
Представлены результаты технологических испытаний продольной планарной магнетронной распылительной системы с магнитоизолированным анодом в импульсных режимах работы с дополнительным импульсным сильноточным высоковольтным источником питания. Показано, что эффективность массопереноса при импульсном нанесении покрытий возрастает на три порядка по сравнению со стационарным режимом горения магнетронного разряда. При этом в нанесенном медном покрытии капельной фазы, характерной для дугового испарения катода, не наблюдалось.
Представлено результати технологічних випробувань поздовжньої планарної магнетронної розпилювальної системи з магнітоізольованим анодом в імпульсних режимах роботи з додатковим імпульсним сильнострумовим високовольтним джерелом живлення. Показано, що ефективність масопереносу при імпульсному нанесенні покриттів зростає на три порядки в порівнянні зі стаціонарним режимом горіння магнетронного розряду. При цьому в нанесеному мідному покритті краплинної фази, характерної для дугового випаровування катода, не спостерігалося.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:33:09Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82146 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T16:33:09Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Chunadra, A.G. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Bizyukov, A.A. 2015-05-25T15:30:24Z 2015-05-25T15:30:24Z 2015 Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating / A.G. Chunadra, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, A.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 181-183. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PPACS: 51.50.+v, 52.25.Jm https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82146 The results of technological tests of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode working in pulse-modes with additional pulse heavy-current high-voltage supply source are presented. It is shown that efficiency of mass transfer in the pulse mode overcoating increases by three orders of magnitude as compared to stationary mode of magnetron discharge. Hereat there is no droplet phase at the copper coating that is typical for an arc evaporation of a cathode. Представлены результаты технологических испытаний продольной планарной магнетронной распылительной системы с магнитоизолированным анодом в импульсных режимах работы с дополнительным импульсным сильноточным высоковольтным источником питания. Показано, что эффективность массопереноса при импульсном нанесении покрытий возрастает на три порядка по сравнению со стационарным режимом горения магнетронного разряда. При этом в нанесенном медном покрытии капельной фазы, характерной для дугового испарения катода, не наблюдалось. Представлено результати технологічних випробувань поздовжньої планарної магнетронної розпилювальної системи з магнітоізольованим анодом в імпульсних режимах роботи з додатковим імпульсним сильнострумовим високовольтним джерелом живлення. Показано, що ефективність масопереносу при імпульсному нанесенні покриттів зростає на три порядки в порівнянні зі стаціонарним режимом горіння магнетронного розряду. При цьому в нанесеному мідному покритті краплинної фази, характерної для дугового випаровування катода, не спостерігалося. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating Увеличение эффективности массопереноса при магнетронном осаждении металлических покрытий Збільшення ефективності масопереносу при магнетронному осадженні металевих покриттів Article published earlier |
| spellingShingle | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating Chunadra, A.G. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Bizyukov, A.A. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating |
| title_alt | Увеличение эффективности массопереноса при магнетронном осаждении металлических покрытий Збільшення ефективності масопереносу при магнетронному осадженні металевих покриттів |
| title_full | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating |
| title_fullStr | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating |
| title_full_unstemmed | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating |
| title_short | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating |
| title_sort | increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82146 |
| work_keys_str_mv | AT chunadraag increasingofmasstransferefficiencyatmagnetrondepositionofmetalcoating AT seredakn increasingofmasstransferefficiencyatmagnetrondepositionofmetalcoating AT tarasovik increasingofmasstransferefficiencyatmagnetrondepositionofmetalcoating AT bizyukovaa increasingofmasstransferefficiencyatmagnetrondepositionofmetalcoating AT chunadraag uveličenieéffektivnostimassoperenosaprimagnetronnomosaždeniimetalličeskihpokrytii AT seredakn uveličenieéffektivnostimassoperenosaprimagnetronnomosaždeniimetalličeskihpokrytii AT tarasovik uveličenieéffektivnostimassoperenosaprimagnetronnomosaždeniimetalličeskihpokrytii AT bizyukovaa uveličenieéffektivnostimassoperenosaprimagnetronnomosaždeniimetalličeskihpokrytii AT chunadraag zbílʹšennâefektivnostímasoperenosuprimagnetronnomuosadžennímetalevihpokrittív AT seredakn zbílʹšennâefektivnostímasoperenosuprimagnetronnomuosadžennímetalevihpokrittív AT tarasovik zbílʹšennâefektivnostímasoperenosuprimagnetronnomuosadžennímetalevihpokrittív AT bizyukovaa zbílʹšennâefektivnostímasoperenosuprimagnetronnomuosadžennímetalevihpokrittív |