Зображення обкладинки

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating

The results of technological tests of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode working in pulse-modes with additional pulse heavy-current high-voltage supply source are presented. It is shown that efficiency of mass transfer in the pulse mode overcoati...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2015
Автори:	Chunadra, A.G., Sereda, K.N., Tarasov, I.K., Bizyukov, A.A.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82146
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating / A.G. Chunadra, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, A.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 181-183. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Deposition of chromium nitride coatings from vacuum arc plasma in increased nitrogen pressure
за авторством: Ovcharenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2014)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)

Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Modern methods of Ta₂O₅ coatings deposition for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2009)

Magnetron with a concave hemispherical cathode
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)

The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)

Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Influence of increased sliding speed on the structure and properties of piston rings with ion-plasma coating
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

The corrosion properties of multilayer coatings deposited on stainless steel and Ti4Al6V substrates
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)

Tantalum pentoxide ceramic coatings deposition on Ti4AI6V substrates for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2011)

Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2017)

Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

In vitro biocompatibility of amorphous carbon based coatings by varying of surface chemistry and nitrogen concentrations
за авторством: Luk’yanchenko, V., та інші
Опубліковано: (2015)

The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)

Nonequilibrium of the dense electric arc plasma cased by radiation transfer
за авторством: Zhovtyansky, V.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Simulation of nanoparticle deposition from plasmas on solid surface
за авторством: Bondar, M.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

The size effect and x-ray fluorescenc spectra of metallic nanoparticles
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2017)

Decay of liquid metallic macroparticles in plasma-beam systems due to rayleigh instability
за авторством: Bizyukov, A.A, та інші
Опубліковано: (2017)

Mechanical and tribological characteristics of zirconium based ceramic coatings for micro-bearing application
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)

Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)