Growth of forest of single-walled carbon nanotubes at inhomogenious fluxes from plasma
The growth of forest of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is studied using a deposition model. The inhomogeneity in deposition of neutrals from plasma on the SWCNTs, which is typical for growth of the nanostructures in PECVD, is accounted fo...
Gespeichert in:
| Datum: | 2015 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82147 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Growth of forest of single-walled carbon nanotubes at inhomogenious fluxes from plasma / G.P. Burmaka, I.B. Denysenko, N.A. Azarenkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 184-186. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |