Calculations for parameters of a stationary reflex discharge
A variant of the stationary reflex discharge model based on the global (volume-averaged) model is under consideration. The calculation is carried out on the plasma electron density and temperature as a function of the adsorbed power in the reflex discharge, magnetic field value and initial gas press...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82243 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Calculations for parameters of a stationary reflex discharge / Yu.V. Kovtun, A.N. Ozerov, A.I. Skibenko, E.I. Skibenko, V.B. Yuferov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 201-204. — Бібліогр.: 22 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82243 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Kovtun, Yu.V. Ozerov, A.N. Skibenko, A.I. Skibenko, E.I. Yuferov, V.B. 2015-05-27T08:37:02Z 2015-05-27T08:37:02Z 2015 Calculations for parameters of a stationary reflex discharge / Yu.V. Kovtun, A.N. Ozerov, A.I. Skibenko, E.I. Skibenko, V.B. Yuferov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 201-204. — Бібліогр.: 22 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.-s; 52.80.Sm https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82243 A variant of the stationary reflex discharge model based on the global (volume-averaged) model is under consideration. The calculation is carried out on the plasma electron density and temperature as a function of the adsorbed power in the reflex discharge, magnetic field value and initial gas pressure. The density of neutral atoms and cathode material ions coming into the discharge by the cathode sputtering mechanism is determined. Рассмотрен вариант модели стационарного отражательного разряда на основе global (volume-averaged) модели. Проведен расчет зависимости плотности и температуры электронов плазмы от адсорбированной мощности в отражательном разряде, величины магнитного поля и начального давления газа. Определена плотность нейтральных атомов и ионов материала катода, поступающих в разряд за счет механизма катодного распыления. Розглянуто варіант моделі стаціонарного відбивного розряду на основі global (volume-averaged) моделі. Проведено розрахунок залежності густини та температури електронів плазми від адсорбованої потужності у відбивному розряді, величини магнітного поля і початкового тиску газу. Визначена густина нейтральних атомів та іонів матеріалу катода, що поступають у розряд за рахунок механізма катодного розпилення. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Calculations for parameters of a stationary reflex discharge Расчет параметров стационарного отражательного разряда Розрахунок параметрів стаціонарного відбивного розряду Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge |
| spellingShingle |
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge Kovtun, Yu.V. Ozerov, A.N. Skibenko, A.I. Skibenko, E.I. Yuferov, V.B. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge |
| title_full |
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge |
| title_fullStr |
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge |
| title_full_unstemmed |
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge |
| title_sort |
calculations for parameters of a stationary reflex discharge |
| author |
Kovtun, Yu.V. Ozerov, A.N. Skibenko, A.I. Skibenko, E.I. Yuferov, V.B. |
| author_facet |
Kovtun, Yu.V. Ozerov, A.N. Skibenko, A.I. Skibenko, E.I. Yuferov, V.B. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2015 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Расчет параметров стационарного отражательного разряда Розрахунок параметрів стаціонарного відбивного розряду |
| description |
A variant of the stationary reflex discharge model based on the global (volume-averaged) model is under consideration. The calculation is carried out on the plasma electron density and temperature as a function of the adsorbed power in the reflex discharge, magnetic field value and initial gas pressure. The density of neutral atoms and cathode material ions coming into the discharge by the cathode sputtering mechanism is determined.
Рассмотрен вариант модели стационарного отражательного разряда на основе global (volume-averaged) модели. Проведен расчет зависимости плотности и температуры электронов плазмы от адсорбированной мощности в отражательном разряде, величины магнитного поля и начального давления газа. Определена плотность нейтральных атомов и ионов материала катода, поступающих в разряд за счет механизма катодного распыления.
Розглянуто варіант моделі стаціонарного відбивного розряду на основі global (volume-averaged) моделі. Проведено розрахунок залежності густини та температури електронів плазми від адсорбованої потужності у відбивному розряді, величини магнітного поля і початкового тиску газу. Визначена густина нейтральних атомів та іонів матеріалу катода, що поступають у розряд за рахунок механізма катодного розпилення.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82243 |
| fulltext |
|
| citation_txt |
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge / Yu.V. Kovtun, A.N. Ozerov, A.I. Skibenko, E.I. Skibenko, V.B. Yuferov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 201-204. — Бібліогр.: 22 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT kovtunyuv calculationsforparametersofastationaryreflexdischarge AT ozerovan calculationsforparametersofastationaryreflexdischarge AT skibenkoai calculationsforparametersofastationaryreflexdischarge AT skibenkoei calculationsforparametersofastationaryreflexdischarge AT yuferovvb calculationsforparametersofastationaryreflexdischarge AT kovtunyuv rasčetparametrovstacionarnogootražatelʹnogorazrâda AT ozerovan rasčetparametrovstacionarnogootražatelʹnogorazrâda AT skibenkoai rasčetparametrovstacionarnogootražatelʹnogorazrâda AT skibenkoei rasčetparametrovstacionarnogootražatelʹnogorazrâda AT yuferovvb rasčetparametrovstacionarnogootražatelʹnogorazrâda AT kovtunyuv rozrahunokparametrívstacíonarnogovídbivnogorozrâdu AT ozerovan rozrahunokparametrívstacíonarnogovídbivnogorozrâdu AT skibenkoai rozrahunokparametrívstacíonarnogovídbivnogorozrâdu AT skibenkoei rozrahunokparametrívstacíonarnogovídbivnogorozrâdu AT yuferovvb rozrahunokparametrívstacíonarnogovídbivnogorozrâdu |
| first_indexed |
2025-11-26T12:48:42Z |
| last_indexed |
2025-11-26T12:48:42Z |
| _version_ |
1850621968941842432 |