Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
In the present paper, the results studying the technological regimes of reactive magnetron sputtering in cluster set-up with two planar magnetrons, plasma source and medium energy ion source are presented. Magnetron current-voltage characteristics as well as dependencies of the magnetron current, vo...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82244 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, M. Sergiec, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 187-189. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2012)
Mechanical and tribological characteristics of zirconium based ceramic coatings for micro-bearing application
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)
Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)
The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
The corrosion properties of multilayer coatings deposited on stainless steel and Ti4Al6V substrates
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
The capacitive component of double layer current in plasma
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
On the use of optically trapped dust particles as micro-probes in process plasmas
за авторством: Schneider, V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Schneider, V., та інші
Опубліковано: (2013)
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics
за авторством: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Опубліковано: (2012)
за авторством: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Опубліковано: (2012)
The research of double-pulse discharge in a plasma-liquid system with cylindrical geometry
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)
About unrealization of tungsten lines up to the ground state in the nonideal plasma of pulse discharges in water
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)
Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
Modern methods of Ta₂O₅ coatings deposition for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2009)
Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2017)
Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
In vitro biocompatibility of amorphous carbon based coatings by varying of surface chemistry and nitrogen concentrations
за авторством: Luk’yanchenko, V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Luk’yanchenko, V., та інші
Опубліковано: (2015)
Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Tantalum pentoxide ceramic coatings deposition on Ti4AI6V substrates for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2011)
The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)
Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Plasma catalysis of carbon nanoparticles synthesis in the pyrolytic chamber
за авторством: Veremii, Iu.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Veremii, Iu.P., та інші
Опубліковано: (2012)
Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2016)
About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Formation of forest of single-walled carbon nanotubes in plasma-enhanced chemical vapor deposition
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
Neon cryovacuum system for endurance tests of electrojet propulsion systems
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)