Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
In the present paper, the results studying the technological regimes of reactive magnetron sputtering in cluster set-up with two planar magnetrons, plasma source and medium energy ion source are presented. Magnetron current-voltage characteristics as well as dependencies of the magnetron current, vo...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82244 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, M. Sergiec, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 187-189. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis
von: Yakovin, S.D., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Yakovin, S.D., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
von: Yakovin, S., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Yakovin, S., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
von: Yakovin, S., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Yakovin, S., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
von: Dudin, S., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Dudin, S., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Mechanical and tribological characteristics of zirconium based ceramic coatings for micro-bearing application
von: Warcholinski, B., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Warcholinski, B., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
von: Chunadra, A.G., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Chunadra, A.G., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
von: Nowakowska-Langier, K., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Nowakowska-Langier, K., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
von: Chunadra, А.G., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Chunadra, А.G., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
von: Glazunov, G.P., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Glazunov, G.P., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
von: Jamirzoev, A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Jamirzoev, A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
von: Jamirzoev, A., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Jamirzoev, A., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
von: Dobrovolskiy, A., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Dobrovolskiy, A., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Magnetron with a concave hemispherical cathode
von: Stetsenko, B.V., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Stetsenko, B.V., et al.
Veröffentlicht: (2009)
The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
von: Zykova, A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Zykova, A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
The corrosion properties of multilayer coatings deposited on stainless steel and Ti4Al6V substrates
von: Zykova, A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Zykova, A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor
von: Dudin, S.V., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Dudin, S.V., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
von: Bogdanov, R.V., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Bogdanov, R.V., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2010)
On the use of optically trapped dust particles as micro-probes in process plasmas
von: Schneider, V., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Schneider, V., et al.
Veröffentlicht: (2013)
The capacitive component of double layer current in plasma
von: Hrechko, Ya.O., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Hrechko, Ya.O., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics
von: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Veröffentlicht: (2012)
von: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Veröffentlicht: (2012)
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
von: Chunadra, А.G., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Chunadra, А.G., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
von: Cherenshchykov, S.A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Cherenshchykov, S.A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
About unrealization of tungsten lines up to the ground state in the nonideal plasma of pulse discharges in water
von: Fedorovich, O.A.
Veröffentlicht: (2009)
von: Fedorovich, O.A.
Veröffentlicht: (2009)
The research of double-pulse discharge in a plasma-liquid system with cylindrical geometry
von: Chernyak, V.Ya., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Chernyak, V.Ya., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
von: Dudin, S.V.
Veröffentlicht: (2013)
von: Dudin, S.V.
Veröffentlicht: (2013)
Modern methods of Ta₂O₅ coatings deposition for biomedical applications
von: Donkov, N., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Donkov, N., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
von: Necdet Aslan, et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Necdet Aslan, et al.
Veröffentlicht: (2014)
Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings
von: Safonov, V., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Safonov, V., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
von: Aslan, Aslan, et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Aslan, Aslan, et al.
Veröffentlicht: (2015)
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
von: Zavaleyev, V., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Zavaleyev, V., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
von: Kalinichenko, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Kalinichenko, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
von: Kalinichenko, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Kalinichenko, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
von: Skoblo, T.S., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Skoblo, T.S., et al.
Veröffentlicht: (2018)
In vitro biocompatibility of amorphous carbon based coatings by varying of surface chemistry and nitrogen concentrations
von: Luk’yanchenko, V., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Luk’yanchenko, V., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Influence of increased sliding speed on the structure and properties of piston rings with ion-plasma coating
von: Skoblo, T.S., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Skoblo, T.S., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Deposition of chromium nitride coatings from vacuum arc plasma in increased nitrogen pressure
von: Ovcharenko, V.D., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Ovcharenko, V.D., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
von: Dudin, S.V., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Dudin, S.V., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
von: Dakhov, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Dakhov, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Tantalum pentoxide ceramic coatings deposition on Ti4AI6V substrates for biomedical applications
von: Donkov, N., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Donkov, N., et al.
Veröffentlicht: (2011)