Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
Formula for intrinsic stress calculation in coatings deposited from ion flux in the pulse potential mode is derived. The criterion of applicability of derived formula is proposed which permits determining critical parameters of the pulse potential mode. Calculation of stress in DLC coatings at depos...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82254 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 252-255. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862743867483226112 |
|---|---|
| author | Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Strel’nitskij, V.E. |
| author_facet | Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Strel’nitskij, V.E. |
| citation_txt | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 252-255. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Formula for intrinsic stress calculation in coatings deposited from ion flux in the pulse potential mode is derived. The criterion of applicability of derived formula is proposed which permits determining critical parameters of the pulse potential mode. Calculation of stress in DLC coatings at deposition of low-energy ions C+ from filtered vacuum arc plasma is presented. The qualitative agreement of calculated stresses with experimental data is stated. The important role of deposition temperature for intrinsic stress control in deposited coating is noted.
Дан вывод формулы для расчета внутренних напряжений в покрытиях, осаждаемых из потока ионов в режиме импульсного потенциала. Предложен критерий применимости полученной формулы, позволяющий определить критические параметры режима импульсного потенциала. Приведены расчеты напряжений в алмазоподобных покрытиях при осаждении низкоэнергетических ионов C+ из фильтрованной плазмы вакуумной дуги. Констатируется качественное согласие расчетных напряжений с экспериментальными данными. Отмечается важная роль температуры осаждения при контроле внутренних напряжений в осаждаемом покрытии.
Наведено виведення формули для розрахунку внутрішньої напруги в покриттях, що осаджуються з потоку іонів у режимі імпульсного потенціалу. Запропоновано критерій застосовності отриманої формули, що дозволяє визначити критичні параметри режиму імпульсного потенціалу. Приведено розрахунки напруги в алмазоподібних покриттях при осадженні низькоенергетичних іонів C+ з фільтрованої плазми вакуумної дуги. Констатується якісна згода розрахункової напруги з експериментальними даними. Відзначається важлива роль температури осадження при контролі внутрішньої напруги в осаджуваному покритті.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:32:37Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82254 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T20:32:37Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Strel’nitskij, V.E. 2015-05-27T10:26:44Z 2015-05-27T10:26:44Z 2015 Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 252-255. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Dq, 81.15.Jj https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82254 Formula for intrinsic stress calculation in coatings deposited from ion flux in the pulse potential mode is derived. The criterion of applicability of derived formula is proposed which permits determining critical parameters of the pulse potential mode. Calculation of stress in DLC coatings at deposition of low-energy ions C+ from filtered vacuum arc plasma is presented. The qualitative agreement of calculated stresses with experimental data is stated. The important role of deposition temperature for intrinsic stress control in deposited coating is noted. Дан вывод формулы для расчета внутренних напряжений в покрытиях, осаждаемых из потока ионов в режиме импульсного потенциала. Предложен критерий применимости полученной формулы, позволяющий определить критические параметры режима импульсного потенциала. Приведены расчеты напряжений в алмазоподобных покрытиях при осаждении низкоэнергетических ионов C+ из фильтрованной плазмы вакуумной дуги. Констатируется качественное согласие расчетных напряжений с экспериментальными данными. Отмечается важная роль температуры осаждения при контроле внутренних напряжений в осаждаемом покрытии. Наведено виведення формули для розрахунку внутрішньої напруги в покриттях, що осаджуються з потоку іонів у режимі імпульсного потенціалу. Запропоновано критерій застосовності отриманої формули, що дозволяє визначити критичні параметри режиму імпульсного потенціалу. Приведено розрахунки напруги в алмазоподібних покриттях при осадженні низькоенергетичних іонів C+ з фільтрованої плазми вакуумної дуги. Констатується якісна згода розрахункової напруги з експериментальними даними. Відзначається важлива роль температури осадження при контролі внутрішньої напруги в осаджуваному покритті. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials Внутренние напряжения в алмазоподобных покрытиях, осаждаемых в режимах постоянного и импульсного потенциалов смещения Внутрішні напруження в алмазоподібних покриттях, осаджуваних у режимах постійного та імпульсного потенціалів зміщення Article published earlier |
| spellingShingle | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials Kalinichenko, A.I. Perepelkin, S.S. Strel’nitskij, V.E. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_alt | Внутренние напряжения в алмазоподобных покрытиях, осаждаемых в режимах постоянного и импульсного потенциалов смещения Внутрішні напруження в алмазоподібних покриттях, осаджуваних у режимах постійного та імпульсного потенціалів зміщення |
| title_full | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_fullStr | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_full_unstemmed | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_short | Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials |
| title_sort | intrinsic stresses in dlc coatings deposited in modes of dc and pulse bias potentials |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82254 |
| work_keys_str_mv | AT kalinichenkoai intrinsicstressesindlccoatingsdepositedinmodesofdcandpulsebiaspotentials AT perepelkinss intrinsicstressesindlccoatingsdepositedinmodesofdcandpulsebiaspotentials AT strelnitskijve intrinsicstressesindlccoatingsdepositedinmodesofdcandpulsebiaspotentials AT kalinichenkoai vnutrennienaprâženiâvalmazopodobnyhpokrytiâhosaždaemyhvrežimahpostoânnogoiimpulʹsnogopotencialovsmeŝeniâ AT perepelkinss vnutrennienaprâženiâvalmazopodobnyhpokrytiâhosaždaemyhvrežimahpostoânnogoiimpulʹsnogopotencialovsmeŝeniâ AT strelnitskijve vnutrennienaprâženiâvalmazopodobnyhpokrytiâhosaždaemyhvrežimahpostoânnogoiimpulʹsnogopotencialovsmeŝeniâ AT kalinichenkoai vnutríšnínapružennâvalmazopodíbnihpokrittâhosadžuvanihurežimahpostíinogotaímpulʹsnogopotencíalívzmíŝennâ AT perepelkinss vnutríšnínapružennâvalmazopodíbnihpokrittâhosadžuvanihurežimahpostíinogotaímpulʹsnogopotencíalívzmíŝennâ AT strelnitskijve vnutríšnínapružennâvalmazopodíbnihpokrittâhosadžuvanihurežimahpostíinogotaímpulʹsnogopotencíalívzmíŝennâ |