Зображення обкладинки

Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials

Formula for intrinsic stress calculation in coatings deposited from ion flux in the pulse potential mode is derived. The criterion of applicability of derived formula is proposed which permits determining critical parameters of the pulse potential mode. Calculation of stress in DLC coatings at depos...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2015
Автори:	Kalinichenko, A.I., Perepelkin, S.S., Strel’nitskij, V.E.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82254
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 252-255. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)

Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)

Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Intrinsic stress formation in multi-component coatings produced by plasma ion deposition in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)

Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2017)

The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)

Structure and modes of dc glow discharge in nitrogen with hollow cathode or anode
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Measurement of the plasma density in two modes of pulsed discharge burning in the penning cell
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Anode curvature influence on characteristics of negative corona discharge under Trichel pulsed mode
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2011)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Obstructed DC glow discharge in low-pressure nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)

Anode diameter effect on ignition and burning of DC discharge
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)

Axial structure of DC glow discharge negative glow in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of DC glow discharge in CO₂ using optical emission spectroscopy
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Calculating reduced electric field in diffusion regime of DC discharge positive column
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Gas breakdown in DC electric field in a discharge tube with flat and conical cathodes
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Estimation of atomic density distribution in DC arc plasma using self-absorbed emission lines
за авторством: Boretskij, V.F., та інші
Опубліковано: (2015)

The research of double-pulse discharge in a plasma-liquid system with cylindrical geometry
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)

Radiation of multicomponent gas-metal plasma of a pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Propagation of multicomponent plasma oscillations along the magnetic field in the pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Influence of increased sliding speed on the structure and properties of piston rings with ion-plasma coating
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Several peaks of total current in Trichel pulse
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2015)

Current waveforms for pulse microdischarge inside dielectric cell
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2010)

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)

Modern methods of Ta₂O₅ coatings deposition for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2009)

Researching of acoustic waves in plasma-liquid system with pulsed discharge
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)

The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

The obtaining and properties investigation of plasma formation at pulse discharge in water aerosol
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

On features of the radiation from pulsed discharges initiated by thick wires in water
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Azimuthal instability of the pulsed positive glow corona and sinuous streamer trace
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2014)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)