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Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials

Formula for intrinsic stress calculation in coatings deposited from ion flux in the pulse potential mode is derived. The criterion of applicability of derived formula is proposed which permits determining critical parameters of the pulse potential mode. Calculation of stress in DLC coatings at depos...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2015
Hauptverfasser:	Kalinichenko, A.I., Perepelkin, S.S., Strel’nitskij, V.E.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Schlagworte:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82254
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 252-255. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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