Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow

In this paper we report about results of computer simulation by PIC/MCC method of the discharging of dust particles in the plasma afterglow and time dependence of plasma parameters in discharge gap after switching off the voltage. It is shown that discharging of dust particles in the afterglow plasm...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2015
Hauptverfasser: Kravchenko, O.Yu., Maruschak, I.S., Yushchyshena, Yu.V.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82257
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow / O.Yu. Kravchenko, I.S. Maruschak, Yu.V. Yushchyshena // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 220-223. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82257
record_format dspace
spelling Kravchenko, O.Yu.
Maruschak, I.S.
Yushchyshena, Yu.V.
2015-05-27T10:35:59Z
2015-05-27T10:35:59Z
2015
Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow / O.Yu. Kravchenko, I.S. Maruschak, Yu.V. Yushchyshena // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 220-223. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.27.Lw.
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82257
In this paper we report about results of computer simulation by PIC/MCC method of the discharging of dust particles in the plasma afterglow and time dependence of plasma parameters in discharge gap after switching off the voltage. It is shown that discharging of dust particles in the afterglow plasma after switching off voltage of radiofrequency discharge occurs faster in the central part of the electrode gap due to the ion cloud forming and intense recombination of electrons in collisions with dust particles in this area. Moreover, the discharging rate is increasing with increasing of the dust particles density. In the initial stage after the switching off the voltage plasma has a positive potential relative to the electrodes. Eventually, when the electron and ion densities are significantly reduced, the charge of the plasma is determined by the amount of negative dust particles. In this case, the plasma potential is negative relative to the electrodes, which contributes to the effective diffusion of dust particles on the walls of the discharge chamber.
Представлены результаты компьютерного моделирования методом PIC/MCC разрядки пылевых частиц в послесвечении плазмы радиочастотного разряда и временные зависимости параметров плазмы в разрядном промежутке после выключения напряжения. Показано, что разрядка пылевых частиц в послесвечении плазмы после выключения напряжения радиочастотного разряда происходит быстрее в центральной части межэлектродного промежутка, что обусловлено образованием ионного сгустка и интенсивной рекомбинацией электронов при столкновении с пылинками в этой области. Кроме того, скорость разрядки увеличивается с увеличением плотности частиц пыли. В начальной стадии после выключения напряжения плазма имеет положительный потенциал относительно электродов. В конце концов, когда концентрации электронов и ионов значительно снижаются, заряд плазмы определяется количеством отрицательных частиц пыли. В этом случае потенциал плазмы является отрицательным по отношению к электродам.
Представлено результати комп'ютерного моделювання методом PIC/MCC розрядки пилових частинок у післясвітінні плазми радіочастотного розряду та часові розподіли параметрів плазми в розрядному проміжку після вимкнення напруги. Показано, що розрядка пилових частинок у післясвітінні плазми після вимкнення напруги радіочастотного розряду відбувається швидше в центральній частині міжелектродного проміжку, що пов’язано з утворенням іонного згустка та інтенсивною рекомбінацією електронів при зіткненні з пилинками в цій області. Крім того, швидкість розрядки збільшується зі збільшенням концентрації частинок пилу в розряді. На початковій стадії після вимкнення напруги плазма має позитивний потенціал щодо електродів. Зрештою, коли концентрації електронів та іонів значно знижуються, заряд плазми визначається кількістю негативних частинок пилу. У цьому випадку потенціал плазми є негативним по відношенню до електродів.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
Влияние пылевых частиц на послесвечение радиочастотного разряда
Вплив пилових частинок на післясвітіння радіочастотного розряду
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
spellingShingle Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
Kravchenko, O.Yu.
Maruschak, I.S.
Yushchyshena, Yu.V.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
title_full Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
title_fullStr Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
title_full_unstemmed Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
title_sort influence of dust particles on rf-discharge plasma afterglow
author Kravchenko, O.Yu.
Maruschak, I.S.
Yushchyshena, Yu.V.
author_facet Kravchenko, O.Yu.
Maruschak, I.S.
Yushchyshena, Yu.V.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2015
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Влияние пылевых частиц на послесвечение радиочастотного разряда
Вплив пилових частинок на післясвітіння радіочастотного розряду
description In this paper we report about results of computer simulation by PIC/MCC method of the discharging of dust particles in the plasma afterglow and time dependence of plasma parameters in discharge gap after switching off the voltage. It is shown that discharging of dust particles in the afterglow plasma after switching off voltage of radiofrequency discharge occurs faster in the central part of the electrode gap due to the ion cloud forming and intense recombination of electrons in collisions with dust particles in this area. Moreover, the discharging rate is increasing with increasing of the dust particles density. In the initial stage after the switching off the voltage plasma has a positive potential relative to the electrodes. Eventually, when the electron and ion densities are significantly reduced, the charge of the plasma is determined by the amount of negative dust particles. In this case, the plasma potential is negative relative to the electrodes, which contributes to the effective diffusion of dust particles on the walls of the discharge chamber. Представлены результаты компьютерного моделирования методом PIC/MCC разрядки пылевых частиц в послесвечении плазмы радиочастотного разряда и временные зависимости параметров плазмы в разрядном промежутке после выключения напряжения. Показано, что разрядка пылевых частиц в послесвечении плазмы после выключения напряжения радиочастотного разряда происходит быстрее в центральной части межэлектродного промежутка, что обусловлено образованием ионного сгустка и интенсивной рекомбинацией электронов при столкновении с пылинками в этой области. Кроме того, скорость разрядки увеличивается с увеличением плотности частиц пыли. В начальной стадии после выключения напряжения плазма имеет положительный потенциал относительно электродов. В конце концов, когда концентрации электронов и ионов значительно снижаются, заряд плазмы определяется количеством отрицательных частиц пыли. В этом случае потенциал плазмы является отрицательным по отношению к электродам. Представлено результати комп'ютерного моделювання методом PIC/MCC розрядки пилових частинок у післясвітінні плазми радіочастотного розряду та часові розподіли параметрів плазми в розрядному проміжку після вимкнення напруги. Показано, що розрядка пилових частинок у післясвітінні плазми після вимкнення напруги радіочастотного розряду відбувається швидше в центральній частині міжелектродного проміжку, що пов’язано з утворенням іонного згустка та інтенсивною рекомбінацією електронів при зіткненні з пилинками в цій області. Крім того, швидкість розрядки збільшується зі збільшенням концентрації частинок пилу в розряді. На початковій стадії після вимкнення напруги плазма має позитивний потенціал щодо електродів. Зрештою, коли концентрації електронів та іонів значно знижуються, заряд плазми визначається кількістю негативних частинок пилу. У цьому випадку потенціал плазми є негативним по відношенню до електродів.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82257
citation_txt Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow / O.Yu. Kravchenko, I.S. Maruschak, Yu.V. Yushchyshena // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 220-223. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT kravchenkooyu influenceofdustparticlesonrfdischargeplasmaafterglow
AT maruschakis influenceofdustparticlesonrfdischargeplasmaafterglow
AT yushchyshenayuv influenceofdustparticlesonrfdischargeplasmaafterglow
AT kravchenkooyu vliâniepylevyhčasticnaposlesvečenieradiočastotnogorazrâda
AT maruschakis vliâniepylevyhčasticnaposlesvečenieradiočastotnogorazrâda
AT yushchyshenayuv vliâniepylevyhčasticnaposlesvečenieradiočastotnogorazrâda
AT kravchenkooyu vplivpilovihčastinoknapíslâsvítínnâradíočastotnogorozrâdu
AT maruschakis vplivpilovihčastinoknapíslâsvítínnâradíočastotnogorozrâdu
AT yushchyshenayuv vplivpilovihčastinoknapíslâsvítínnâradíočastotnogorozrâdu
first_indexed 2025-11-28T00:53:36Z
last_indexed 2025-11-28T00:53:36Z
_version_ 1850853099033329664