Buchumschlag

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

The results of systematic experimental researches of plasma-chemical etching reactor in the inductive mode are presented in this paper. Measurements of the integral discharge parameters (inductor voltage, gas pressure, input power) have been carried out as well as probe measureme...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82289
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching / S.V. Dudin, A.V.Zykov, A.N.Dahov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 189-191. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools
von: Gapon, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Simulation of gas dynamics in plasma reactor for carbon dioxide conversion
von: Platonov, P.P., et al.
Veröffentlicht: (2021)

The Langmuir probe modeling in ion-beam plasma
von: Antonova, T.N., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Potential part of electric field of ICP coil
von: Azarenkov, N.A., et al.
Veröffentlicht: (2021)

“String” type of barrierless plasma chemical reactor for generation ozone from air
von: Kudin, D.V., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Application of dielectric barrier discharge and plasma-chemical reactor for water purification from NH₄OH
von: Taran, V.S., et al.
Veröffentlicht: (2020)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride
von: Dudin, S., et al.
Veröffentlicht: (2021)

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
von: Zykov, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide
von: Yakovin, S., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Bone-like coatings deposition by using of modern pulsed ion-plasma technology
von: Zykova, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings
von: Walkowicz, J., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings
von: Walkowicz, J., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Study of the effect of plasma chemical oxidation of ethylene impurity on the efficiency of banana storage
von: Egorov, M.O., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Plasma-chemical method of grain fungal contamination control
von: Taran, G.V., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters
von: Fedorovich, O.A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering
von: Yakovin, S., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system
von: Zykov, A., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Kinetic simulaton of CO₂ conversion in low-pressure electrodeless plasma
von: Dudin, S., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Low-temperature ozone sterilizer based on reactor with electrolityc cell
von: Lozina, A.S., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Application of bipolar plasma discharge over the liquid surface for water purification from chemical and bacterial pollution
von: Liesnoi, V.O., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Influence of multipolar magnetic field geometry of ECR planar plasma source on plasma parameters
von: Fedorchenko, V.D., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Plasma sterilizer with ultrasonic cavitation
von: Krasnyj, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Deposition of refractory metal films with planar plasma ECR source
von: Fedorchenko, V.D., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Characteristics of the plasma created by ECR plasma source for thin films deposition
von: Fedorchenko, V.D., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies
von: Khomich, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Some aspects of electrolytic-plasma processing technology
von: Tarasov, I.K., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Influence of the plasma stream irradiation on the surface modification, structure and properties of materials
von: Lapshin, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Break-down of the magnetically insulated diode
von: Zagrebelnyy, I.A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Nanotube formation on catalytic surface in plasma discharge
von: Maslov, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Transport processes in the low pressure gas discharge plasma
von: Azarenkov, N.A., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge
von: Deryzemlia, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Sterilization by plasma produced at REB outlet into atmosphere
von: Babich, E.M., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Features of plasma formation for SNF magnetoplasma reprocessing at ionization stage
von: Katrechko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Investigation of jumping pulsed electrical discharge for plasma chemistry application
von: Berezina, G.P., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Influence of voltage pulse duration on ignition of glow discharge in air
von: Lisovskiy, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Emission characteristics and potential of macroparticle in beam-plasma discharge
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Vacuum-arc plasma source with steered cathode spot
von: Aksyonov, D.S., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Spectroscopy of electric arc discharge plasma with admixtures of W, Mo, Cr
von: Lebid, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Plasma characteristics of two-step vacuum-arc discharge and its application for a coatings deposition
von: Timoshenko, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2007)