Coating in the arc discharges with plasma flow filtration
Experimental results of coating deposition with application of an “open architecture” filter to reduce the dropwise
 component in the discharge [1,2] are presented in this paper. The filter is located in a separate chamber conjugate with
 the presented system. A curvilinear (with an...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82292 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration / V. V. Gasilin, V.A. Zavaleyev, Yu. N. Nezovibat’ko, O.M. Shvets, V.S. Taran, E.V. Skorina
 // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 210-212. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862548913654857728 |
|---|---|
| author | Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. |
| author_facet | Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. |
| citation_txt | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration / V. V. Gasilin, V.A. Zavaleyev, Yu. N. Nezovibat’ko, O.M. Shvets, V.S. Taran, E.V. Skorina
 // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 210-212. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Experimental results of coating deposition with application of an “open architecture” filter to reduce the dropwise
component in the discharge [1,2] are presented in this paper. The filter is located in a separate chamber conjugate with
the presented system. A curvilinear (with an angle 90°) solenoid creating a transporting magnetic field [3] is used as the
“open architecture” filter. Performing probe measurements of the ion saturation current dependences on the current of
focussing coil, pressure of inert gas (argon) and reactionary gas (nitrogen). The measurement results of substrate
temperature, deposition rate of coating.
Представлены экспериментальные результаты нанесения покрытий PVD методом с применением фильтра «открытой архитектуры» для уменьшения капельной составляющей в разряде [1,2]. Представлен фильтр «открытой архитектуры», помещённый в отдельную камеру, сопряжённую с установкой. В качестве фильтра применяется соленоид, создающий криволинейное (с углом 90°) транспортирующее магнитное поле [3]. С помощью зондовых измерений получены зависимости ионного тока коллектора от изменения: тока фокусирующей катушки, давления инертного газа (аргона) и реакционного газа (азота). Представлены результаты измерения температуры подложки, скорость осаждения покрытия.
Представлено експериментальні результати нанесення покрить PVD методом із застосуванням фільтру «відкритої архітектури» для зменшення краплинної складової в розряді [1,2]. Представлено фільтр «відкритої архітектури», який знаходиться в окремій камері, що сполучена з установкою. Як фільтр застосовується соленоїд, що створює криволінійне (з кутом 90°) транспортуюче магнітне поле [3]. За допомогою зондових вимірів отримані залежності іонного струму колектора від змін: струму фокусуючої котушки, тиску інертного газу (аргону) і реакційного газу (азоту). Представлено результати вимірів температури підкладки, швидкість осадження покриття.
|
| first_indexed | 2025-11-25T20:34:27Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82292 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-25T20:34:27Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. 2015-05-27T14:47:28Z 2015-05-27T14:47:28Z 2006 Coating in the arc discharges with plasma flow filtration / V. V. Gasilin, V.A. Zavaleyev, Yu. N. Nezovibat’ko, O.M. Shvets, V.S. Taran, E.V. Skorina
 // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 210-212. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82292 Experimental results of coating deposition with application of an “open architecture” filter to reduce the dropwise
 component in the discharge [1,2] are presented in this paper. The filter is located in a separate chamber conjugate with
 the presented system. A curvilinear (with an angle 90°) solenoid creating a transporting magnetic field [3] is used as the
 “open architecture” filter. Performing probe measurements of the ion saturation current dependences on the current of
 focussing coil, pressure of inert gas (argon) and reactionary gas (nitrogen). The measurement results of substrate
 temperature, deposition rate of coating. Представлены экспериментальные результаты нанесения покрытий PVD методом с применением фильтра «открытой архитектуры» для уменьшения капельной составляющей в разряде [1,2]. Представлен фильтр «открытой архитектуры», помещённый в отдельную камеру, сопряжённую с установкой. В качестве фильтра применяется соленоид, создающий криволинейное (с углом 90°) транспортирующее магнитное поле [3]. С помощью зондовых измерений получены зависимости ионного тока коллектора от изменения: тока фокусирующей катушки, давления инертного газа (аргона) и реакционного газа (азота). Представлены результаты измерения температуры подложки, скорость осаждения покрытия. Представлено експериментальні результати нанесення покрить PVD методом із застосуванням фільтру «відкритої архітектури» для зменшення краплинної складової в розряді [1,2]. Представлено фільтр «відкритої архітектури», який знаходиться в окремій камері, що сполучена з установкою. Як фільтр застосовується соленоїд, що створює криволінійне (з кутом 90°) транспортуюче магнітне поле [3]. За допомогою зондових вимірів отримані залежності іонного струму колектора від змін: струму фокусуючої котушки, тиску інертного газу (аргону) і реакційного газу (азоту). Представлено результати вимірів температури підкладки, швидкість осадження покриття. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Coating in the arc discharges with plasma flow filtration Покрытия в дуговом разряде с фильтрацией плазменного потока Покриття в дуговому розряді з фільтрацією плазмового потоку Article published earlier |
| spellingShingle | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_alt | Покрытия в дуговом разряде с фильтрацией плазменного потока Покриття в дуговому розряді з фільтрацією плазмового потоку |
| title_full | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_fullStr | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_full_unstemmed | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_short | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_sort | coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82292 |
| work_keys_str_mv | AT gasilinvv coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT zavaleyevva coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT nezovibatkoyun coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT shvetsom coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT taranvs coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT skorinaev coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT gasilinvv pokrytiâvdugovomrazrâdesfilʹtracieiplazmennogopotoka AT zavaleyevva pokrytiâvdugovomrazrâdesfilʹtracieiplazmennogopotoka AT nezovibatkoyun pokrytiâvdugovomrazrâdesfilʹtracieiplazmennogopotoka AT shvetsom pokrytiâvdugovomrazrâdesfilʹtracieiplazmennogopotoka AT taranvs pokrytiâvdugovomrazrâdesfilʹtracieiplazmennogopotoka AT skorinaev pokrytiâvdugovomrazrâdesfilʹtracieiplazmennogopotoka AT gasilinvv pokrittâvdugovomurozrâdízfílʹtracíêûplazmovogopotoku AT zavaleyevva pokrittâvdugovomurozrâdízfílʹtracíêûplazmovogopotoku AT nezovibatkoyun pokrittâvdugovomurozrâdízfílʹtracíêûplazmovogopotoku AT shvetsom pokrittâvdugovomurozrâdízfílʹtracíêûplazmovogopotoku AT taranvs pokrittâvdugovomurozrâdízfílʹtracíêûplazmovogopotoku AT skorinaev pokrittâvdugovomurozrâdízfílʹtracíêûplazmovogopotoku |