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Coating in the arc discharges with plasma flow filtration

Experimental results of coating deposition with application of an “open architecture” filter to reduce the dropwise component in the discharge [1,2] are presented in this paper. The filter is located in a separate chamber conjugate with the presented system. A curvilinear (with an angle 90°) solen...

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Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Gasilin, V. V., Zavaleyev, V.A., Nezovibat’ko, Yu. N., Shvets, O.M., Taran, V.S., Skorina, E.V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82292
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Coating in the arc discharges with plasma flow filtration / V. V. Gasilin, V.A. Zavaleyev, Yu. N. Nezovibat’ko, O.M. Shvets, V.S. Taran, E.V. Skorina // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 210-212. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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