2D fluid model for interactive development of ICP technological tools

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Schlagworte: Low temperature plasma and plasma technologies
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82306
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: 2D fluid model for interactive development of ICP technological tools / A.V. Gapon, A.N. Dahov, S.V. Dudin, A.V. Zykov, N.A. Azarenkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 186-188. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

The software for ICP device simulation is worked out. Discharge chamber geometry, RF power, pressure and working
 gas type are the input data. The results of calculation are inductor voltage, ion current density distribution on the
 chamber surface, steady state space distributions o...