Manuilenko, O., Minaeva, K., & Golota, V. (2006). Ion energy and ion angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources: Pure argon and argon-oxygen mixtures. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Manuilenko, O.V, K.M Minaeva, und V.I Golota. Ion Energy and Ion Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources: Pure Argon and Argon-oxygen Mixtures. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2006.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Manuilenko, O.V, et al. Ion Energy and Ion Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources: Pure Argon and Argon-oxygen Mixtures. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2006.