Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2015
• Main Authors: Aslan, Aslan, Şen, Tuba, Çoruhlu, Turgay, Şentürk, Kenan, Keskin, Sinan, Şeker, Sedat, Dobrovolskiy, Andrey
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
• Subjects: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82406
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass / Necdet Aslan1, Tuba Şen, Turgay Çoruhlu, Kenan Şentürk, Sinan Keskin, Sedat Şeker, Andrey Dobrovolskiy // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 256-258. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

The aim of this work was to study the optical and electrical properties of thick ITO-Ag-ITO multilayer coating onto glass. ITO-Ag-ITO coatings with thickness of ITO layers 110 nm, 185 nm and intermediate Ag layer thickness 40 nm were prepared by magnetron sputtering. The optical, electrical and atomic properties of the coating were examined by scanning electron microscope, atomic force microscope, X-ray diffraction analysis and ultraviolet-visible spectroscopy. Целью работы было изучение оптических и электрических характеристик толстых ITO-Ag-ITO многослойных покрытий на стекле. ITO-Ag-ITO-покрытия с толщиной ITO-слоев 110, 185 нм и промежуточным слоем Ag толщиной 40 нм были изготовлены с помощью магнетронного напыления. Оптические, электрические и атомные характеристики были исследованы с помощью сканирующего электронного микроскопа, атомного силового микроскопа, рентгеновского дифракционного анализа и оптической спектроскопии. Метою роботи було вивчення оптичних та електричних характеристик товстих ITO-Ag-ITO багатошарових покриттів на склі. ITO-Ag-ITO-покриття з товщиною ITO-шарів 110 і 185 нм та проміжним шаром Ag товщиною 40 нм було виготовлено за допомогою магнетронного напилення. Оптичні, електричні та атомні характеристики такого покриття були досліджені із застосуванням скануючого електронного мікроскопа, атомного силового мікроскопа, рентгенівського дифракційного аналізу та оптичної спектроскопії.