Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением

Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицатель...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2015
Hauptverfasser: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А., Пинчук, Н.В., Мейлехов, А.А.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Schlagworte:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82453
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, Н.В. Пинчук, А.А. Мейлехов // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 124-129. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82453
record_format dspace
spelling Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
2015-05-29T17:48:56Z
2015-05-29T17:48:56Z
2015
Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, Н.В. Пинчук, А.А. Мейлехов // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 124-129. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
1562-6016
PACS: 81.07.Bc, 61.05.сp, 68.55.jm, 61.82.R
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82453
Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицательных потенциалах смещения (Ub) -140 и -200 В. Установлено, что при действии этих потенциалов в процессе осаждения покрытий слои мононитридов ZrN и TiN формируются с преимущественной ориентацией кристаллитов (текстурой) с осью [111], перпендикулярной плоскости роста. Увеличение числа границ при уменьшении толщины периодов приводит к увеличению твердости до 45 ГПа, что значительно превосходит твердость каждого из слоев ZrN и TiN в отдельности.
Методами рентгенівської дифрактометрії, електронної мікроскопії та мікроіндентування досліджені фазовий склад, структура, субструктура, твердість і модуль пружності вакуумно-дугових багатошарових покриттів системи TiN/ZrN, отриманих з різними товщинами двошарових періодів при постійних негативних потенціалах зміщення (Ub) -140 і -200 В . Встановлено, що при дії цих потенціалів в процесі осадження покриттів, шари мононитридів ZrN і TiN формуються з переважною орієнтацією кристалітів (текстурою) з віссю [111], перпендикулярній площині зростання. Збільшення числа границь при зменшенні товщини періодів призводить до підвищення твердості до 45 ГПа, що значно перевершує твердість кожного з шарів ZrN і TiN окремо.
Phase composition, structure, substructure, hardness and elastic modulus of vacuum-arc multilayer coatings of TiN/ZrN, obtained with different thicknesses bilayer periods at constant negative bias potential (Ub) -140 and -200, was investigated by X-ray diffraction, electron microscopy and microindentation. It is established that under the action of these potentials during the deposition of layers mononitrides ZrN and TiN formed the preferred orientation of crystallites (texture) with the [111] axis perpendicular to the plane of growth. Increasing the number of boundaries with decreasing thickness of periods leads to increased hardness of 45 GPa, which is much greater than the hardness as ZrN and TiN single-layer coatings.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
Вплив товщини біслоїв TiN/ZrN на структуру і властивості багатошарових покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням
Influence of the thickness of the bilayer TiN/ZrN ON structure and properties of multilauer coatings obtained by vacuum-arc evaporation
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
spellingShingle Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_full Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_fullStr Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_full_unstemmed Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_sort влияние толщины бислоев tin/zrn на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
author Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
author_facet Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate 2015
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Вплив товщини біслоїв TiN/ZrN на структуру і властивості багатошарових покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням
Influence of the thickness of the bilayer TiN/ZrN ON structure and properties of multilauer coatings obtained by vacuum-arc evaporation
description Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицательных потенциалах смещения (Ub) -140 и -200 В. Установлено, что при действии этих потенциалов в процессе осаждения покрытий слои мононитридов ZrN и TiN формируются с преимущественной ориентацией кристаллитов (текстурой) с осью [111], перпендикулярной плоскости роста. Увеличение числа границ при уменьшении толщины периодов приводит к увеличению твердости до 45 ГПа, что значительно превосходит твердость каждого из слоев ZrN и TiN в отдельности. Методами рентгенівської дифрактометрії, електронної мікроскопії та мікроіндентування досліджені фазовий склад, структура, субструктура, твердість і модуль пружності вакуумно-дугових багатошарових покриттів системи TiN/ZrN, отриманих з різними товщинами двошарових періодів при постійних негативних потенціалах зміщення (Ub) -140 і -200 В . Встановлено, що при дії цих потенціалів в процесі осадження покриттів, шари мононитридів ZrN і TiN формуються з переважною орієнтацією кристалітів (текстурою) з віссю [111], перпендикулярній площині зростання. Збільшення числа границь при зменшенні товщини періодів призводить до підвищення твердості до 45 ГПа, що значно перевершує твердість кожного з шарів ZrN і TiN окремо. Phase composition, structure, substructure, hardness and elastic modulus of vacuum-arc multilayer coatings of TiN/ZrN, obtained with different thicknesses bilayer periods at constant negative bias potential (Ub) -140 and -200, was investigated by X-ray diffraction, electron microscopy and microindentation. It is established that under the action of these potentials during the deposition of layers mononitrides ZrN and TiN formed the preferred orientation of crystallites (texture) with the [111] axis perpendicular to the plane of growth. Increasing the number of boundaries with decreasing thickness of periods leads to increased hardness of 45 GPa, which is much greater than the hardness as ZrN and TiN single-layer coatings.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82453
citation_txt Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, Н.В. Пинчук, А.А. Мейлехов // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 124-129. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT sobolʹov vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvoistvamnogosloinyhpokrytiipolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT andreevaa vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvoistvamnogosloinyhpokrytiipolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT gorbanʹvf vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvoistvamnogosloinyhpokrytiipolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT stolbovoiva vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvoistvamnogosloinyhpokrytiipolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT pinčuknv vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvoistvamnogosloinyhpokrytiipolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT meilehovaa vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvoistvamnogosloinyhpokrytiipolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT sobolʹov vplivtovŝinibísloívtinzrnnastrukturuívlastivostíbagatošarovihpokrittívotrimanihvakuumnodugovimviparovuvannâm
AT andreevaa vplivtovŝinibísloívtinzrnnastrukturuívlastivostíbagatošarovihpokrittívotrimanihvakuumnodugovimviparovuvannâm
AT gorbanʹvf vplivtovŝinibísloívtinzrnnastrukturuívlastivostíbagatošarovihpokrittívotrimanihvakuumnodugovimviparovuvannâm
AT stolbovoiva vplivtovŝinibísloívtinzrnnastrukturuívlastivostíbagatošarovihpokrittívotrimanihvakuumnodugovimviparovuvannâm
AT pinčuknv vplivtovŝinibísloívtinzrnnastrukturuívlastivostíbagatošarovihpokrittívotrimanihvakuumnodugovimviparovuvannâm
AT meilehovaa vplivtovŝinibísloívtinzrnnastrukturuívlastivostíbagatošarovihpokrittívotrimanihvakuumnodugovimviparovuvannâm
AT sobolʹov influenceofthethicknessofthebilayertinzrnonstructureandpropertiesofmultilauercoatingsobtainedbyvacuumarcevaporation
AT andreevaa influenceofthethicknessofthebilayertinzrnonstructureandpropertiesofmultilauercoatingsobtainedbyvacuumarcevaporation
AT gorbanʹvf influenceofthethicknessofthebilayertinzrnonstructureandpropertiesofmultilauercoatingsobtainedbyvacuumarcevaporation
AT stolbovoiva influenceofthethicknessofthebilayertinzrnonstructureandpropertiesofmultilauercoatingsobtainedbyvacuumarcevaporation
AT pinčuknv influenceofthethicknessofthebilayertinzrnonstructureandpropertiesofmultilauercoatingsobtainedbyvacuumarcevaporation
AT meilehovaa influenceofthethicknessofthebilayertinzrnonstructureandpropertiesofmultilauercoatingsobtainedbyvacuumarcevaporation
first_indexed 2025-12-07T17:34:18Z
last_indexed 2025-12-07T17:34:18Z
_version_ 1850871758186348544

Ähnliche Einträge