Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2015
• Main Authors: Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
• Subjects: Диагностика и методы исследований
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его трансп...