Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов
Разработана модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов. Структура системы содержит модели – источники данных для мониторинга процесса и иерархическую модель поиска решений. The model of the purpose-oriented decision-support system f...
Saved in:
| Published in: | Управляющие системы и машины |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Міжнародний науково-навчальний центр інформаційних технологій і систем НАН та МОН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/83319 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов / В.М. Левыкин, И.В. Шевченко // Управляющие системы и машины. — 2014. — № 2. — С. 32-38. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-83319 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Левыкин, В.М. Шевченко, И.В. 2015-06-18T10:12:09Z 2015-06-18T10:12:09Z 2014 Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов / В.М. Левыкин, И.В. Шевченко // Управляющие системы и машины. — 2014. — № 2. — С. 32-38. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 0130-5395 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/83319 682.518 Разработана модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов. Структура системы содержит модели – источники данных для мониторинга процесса и иерархическую модель поиска решений. The model of the purpose-oriented decision-support system for single-crystals growth adjustment is developed. The structure of the system comprises models that are the data providers for the process monitoring and hierarchy model of solution finding. Розроблено модель спеціалізованої системи підтримки прийняття рішень для корекції процесу вирощування монокристалів. Структура системи містить моделі – джерела даних для моніторингу процесу та ієрархічну модель пошуку рішень. ru Міжнародний науково-навчальний центр інформаційних технологій і систем НАН та МОН України Управляющие системы и машины Новые методы в информатике Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов Model of the Purpose-Oriented Decision-Support System for Single-crystals Growth Adjustment Модель спеціалізованої системи підтримки прийняття рішень для корекції процесу вирощування монокристалів Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов |
| spellingShingle |
Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов Левыкин, В.М. Шевченко, И.В. Новые методы в информатике |
| title_short |
Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов |
| title_full |
Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов |
| title_fullStr |
Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов |
| title_full_unstemmed |
Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов |
| title_sort |
модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов |
| author |
Левыкин, В.М. Шевченко, И.В. |
| author_facet |
Левыкин, В.М. Шевченко, И.В. |
| topic |
Новые методы в информатике |
| topic_facet |
Новые методы в информатике |
| publishDate |
2014 |
| language |
Russian |
| container_title |
Управляющие системы и машины |
| publisher |
Міжнародний науково-навчальний центр інформаційних технологій і систем НАН та МОН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Model of the Purpose-Oriented Decision-Support System for Single-crystals Growth Adjustment Модель спеціалізованої системи підтримки прийняття рішень для корекції процесу вирощування монокристалів |
| description |
Разработана модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов. Структура системы содержит модели – источники данных для мониторинга процесса и иерархическую модель поиска решений.
The model of the purpose-oriented decision-support system for single-crystals growth adjustment is developed. The structure of the system comprises models that are the data providers for the process monitoring and hierarchy model of solution finding.
Розроблено модель спеціалізованої системи підтримки прийняття рішень для корекції процесу вирощування монокристалів. Структура системи містить моделі – джерела даних для моніторингу процесу та ієрархічну модель пошуку рішень.
|
| issn |
0130-5395 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/83319 |
| citation_txt |
Модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания монокристаллов / В.М. Левыкин, И.В. Шевченко // Управляющие системы и машины. — 2014. — № 2. — С. 32-38. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT levykinvm modelʹspecializirovannoisistemypodderžkiprinâtiârešeniidlâkorrekciiprocessavyraŝivaniâmonokristallov AT ševčenkoiv modelʹspecializirovannoisistemypodderžkiprinâtiârešeniidlâkorrekciiprocessavyraŝivaniâmonokristallov AT levykinvm modelofthepurposeorienteddecisionsupportsystemforsinglecrystalsgrowthadjustment AT ševčenkoiv modelofthepurposeorienteddecisionsupportsystemforsinglecrystalsgrowthadjustment AT levykinvm modelʹspecíalízovanoísistemipídtrimkipriinâttâríšenʹdlâkorekcííprocesuviroŝuvannâmonokristalív AT ševčenkoiv modelʹspecíalízovanoísistemipídtrimkipriinâttâríšenʹdlâkorekcííprocesuviroŝuvannâmonokristalív |
| first_indexed |
2025-11-24T18:05:16Z |
| last_indexed |
2025-11-24T18:05:16Z |
| _version_ |
1850491622889881600 |
| fulltext |
32 УСиМ, 2014, № 2
УДК 682.518
Левыкин В.М., Шевченко И.В.
Модель специализированной системы поддержки принятия решений
для коррекции процесса выращивания монокристаллов
Разработана модель специализированной системы поддержки принятия решений для коррекции процесса выращивания моно-
кристаллов. Структура системы содержит модели – источники данных для мониторинга процесса и иерархическую модель
поиска решений.
The model of the purpose-oriented decision-support system for single-crystals growth adjustment is developed. The structure of the sys-
tem comprises models that are the data providers for the process monitoring and hierarchy model of solution finding.
Розроблено модель спеціалізованої системи підтримки прийняття рішень для корекції процесу вирощування монокристалів.
Структура системи містить моделі – джерела даних для моніторингу процесу та ієрархічну модель пошуку рішень.
Введение. Современный этап создания специа-
лизированных систем поддержки принятия ре-
шений (СППР) для диагностики и мониторинга
параметров технологических процессов основан
на методах, использующих принципы вычисли-
тельного интеллекта [1, 2]. Интеллектуальные
СППР характеризуются способностью к накоп-
лению опыта и адаптации к изменениям в осо-
бенностях решаемой задачи. Они не только по-
зволяют менее квалифицированному персоналу
проводить диагностирование с приемлемой на-
дежностью, но и помогают опытным специали-
стам детально анализировать ситуацию и повы-
шать эффективность принимаемых решений.
Все сказанное в полной мере относится к про-
блеме информационной поддержки процесса уп-
равления качеством процесса выращивания мо-
нокристаллов по методу Чохральского. Несмот-
ря на постоянное совершенствование соответст-
вующих автоматизированных систем управле-
ния технологическим процессом (АСУ ТП) до
сих пор оставались нерешенными проблемы мо-
ниторинга температурных полей расплава и
слитка из-за невозможности прямых измерений
температуры в этих зонах. После разработки и
внедрения специализированной системы мони-
торинга температурных полей в указанных зонах
стало возможным разработать специализиро-
ванную СППР «Советчик мастера» для помощи
мастеру–технологу, контролирующему процесс
выращивания. К такой СППР предъявляются
следующие требования:
• использование временных зависимостей в
базе знаний и учет временного фактора при
поиске решения;
• поиск компромисса между точностью по-
лучаемого решения и затратами вычислитель-
ных ресурсов на его получение;
• получение достоверного результата при
возможной неполноте исходных данных;
• выбор наиболее существенных событий,
имеющих место в динамике технологического
процесса;
• рациональная расстановка приоритетов
решаемых задач.
• предупреждение возникновения нештатных
ситуаций (НС) и корректный выход из критиче-
ской ситуации.
Под нештатной ситуацией понимаем такую,
которая возникает в ходе технологического про-
цесса, не решается без вмешательства оператора
и связана с необходимостью выбора конкретной
альтернативы управления в условиях дефицита
времени при наличии информации о состоянии
объекта, критериев и решающих правил.
Постановка задачи
СППР реализует комплекс задач поддержки
принятия оперативных решений в ходе процесса
выращивания для обеспечения мастера–техно-
лога советами по ведению процесса выращива-
ния на разных стадиях. В комплекс задач входят:
анализ данных и идентификация ситуаций;
формирование истории мониторинга тем-
пературных полей;
обучение системы на примерах, генерация
и верификация правил для выработки советов;
выработка советов мастеру–технологу.
УСиМ, 2014, № 2 33
В процессе реализации данного комплекса за-
дач СППР есть получателем выходного инфор-
мационного потока от подсистемы мониторинга
температурных полей, от АСУ ТП процесса вы-
ращивания и от технико-экономической подсис-
темы (ТЭП) АСУ предприятия. Входной инфор-
мационный поток комплекса задач содержит
массивы значений температуры в заданных точ-
ках расплава и слитка, массивы осевых и ради-
альных градиентов температуры в подкристаль-
ной области и в слитке, значения скоростей
вращения тигля и затравки, а также необходи-
мые для принятия решений значения технико-
экономических параметров производства. Вы-
ходной информационный поток представляет
собой комплекс рекомендаций для мастера–тех-
нолога по выходу из критических и нештатных
ситуаций.
Принципы функционирования СППР долж-
ны обеспечивать:
сопряжение СППР с АСУ ТП и АСУ пред-
приятия;
рациональный выбор языка представления
и обработки знаний о процессе выращивания с
учетом как физических, так и технико-эконо-
мических параметров и их взаимосвязей;
возможность пополнения базы знаний, обу-
чения и дообучения системы;
универсальность СППР в рамках рассмат-
риваемых технологических процессов.
Цель данной статьи – разработка структуры
СППР, ее модели, а также концепции распозна-
вания ситуаций в ходе процесса выращивания.
Задача принятия решений
Задачу принятия решений по коррекции хо-
да процесса выращивания необходимо рас-
сматривать как задачу коррекции бизнес-про-
цесса. Это связано с тем, что при выращивании
монокристалла могут возникать критические и
нештатные ситуации. При анализе и устране-
нии НС приходится учитывать технико-эконо-
мические показатели, такие, как время, про-
шедшее с начала процесса, энергетические за-
траты, средний коэффициент выхода в готовую
продукцию, средний коэффициент безвозврат-
ных потерь материала, средняя цена готовой
продукции и др. Эти параметры должны учи-
тываться при поиске решений в пространстве
состояний производственного процесса [3].
Вербально задача формулируется следующим
образом: задается некоторое подмножество на-
чальных и конечных состояний и множество
правил преобразования состояний. Требуется
найти такую последовательность правил, кото-
рая позволяет управляемому объекту перейти
из текущего состояния в желаемое или допус-
тимое. Если искомая последовательность
должна удовлетворять требованиям оптималь-
ности, то имеем задачу поиска оптимального
решения, если – требованиям допустимости, то
задачу поиска удовлетворительного решения [2].
Задача принятия решений определяется мо-
делью:
Z = <DМ, Т, S, Sд, S0 , Sк , P, Q> , (1)
где DМ – модель проблемной ситуации в
предметной области; Т – множество моментов
времени приема данных; S – множество теку-
щих состояний (ситуаций); Sд S – подмноже-
ство возможных (допустимых) состояний;
S0 S – подмножество начальных состояний;
Sк S – подмножество конечных или целевых
состояний; Р: S S – конечное множество
правил преобразований. Каждое правило Рi Р
есть функцией, реализующей отображение Рi:
Si S, где Si – область определения Рi; Q –
множество критериев качества решения.
Структура СППР
Структура специализированной СППР
(ССППР), показанной на рисунке, содержит все
необходимые функциональные узлы, включая
базу данных, базу знаний, базу моделей, базу
алгоритмов, модель поиска решений и про-
граммный монитор, реализующий информаци-
онную технологию поддержки принятия опе-
ративных решений. Отличительная черта ее
структуры – назначение и состав базы матема-
тических моделей, позволяющие воспроизво-
дить физические процессы в тепловом узле,
осуществлять мониторинг процесса выращи-
вания и, в конечном счете, реализовать ин-
формационную технологию управления каче-
ством процесса выращивания.
34 УСиМ, 2014, № 2
База
алгоритмов (AB)
Программный
монитор (SM)
Подсистема диалога с ЛПР (DS) Критерии (Q)
Модель поиска
решений (М)
Подсистема
интеграции с АСУТП (ISР)
База
моделей (МВ)
База
данных (DВ)
База
знаний (KB)
ЛПР
Подсистема
интеграции с АСУ (IS)
SАD
Задача принятия
решений (Z)
Структура СППР
Модель структуры СППР
Формально структуру системы поддержки
принятия решений SАD представим в виде мо-
дели:
SАD = < МS(DМ), KB, MB,
DB, SM, AB, ISР, IS, DS > , (2)
где МS – модель поиска решений; DМ – модель
проблемной ситуации в предметной области;
KB – база знаний; MB – база моделей; DB – ба-
за данных; SM – программный монитор; АВ –
база алгоритмов; ISР – подсистема интеграции
с АСУ ТП; IS – подсистема интеграции с под-
системой ТЭП АСУ предприятия; DS – под-
система диалога с лицом, принимающим ре-
шение (ЛПР).
Основополагающими элементами интеллек-
туальных СППР есть модели представления
проблемных ситуаций в предметной области,
модели поиска решений, а также средства ор-
ганизации диалогового взаимодействия с поль-
зователем (экспертом, ЛПР) и средства связи с
другими информационными системами. Про-
блемная ситуация может описываться посред-
ством некоторого выделенного множества
признаков или посредством некоторой струк-
туры, позволяющей отражать различные связи
(отношения) между элементами проблемной
области. В качестве таких структур можно ис-
пользовать любые известные модели знаний.
Чаще всего используются системы продукций
или фреймовые структуры.
Модель поиска решений определяет допус-
тимые преобразования ситуаций и набор стра-
тегий применения этих преобразований. Для
применения СППР в режиме советчика, моде-
ли представления проблемной ситуации и по-
иска решения должны периодически коррек-
тироваться по результатам предыдущих про-
цессов выращивания монокристаллов.
Модель поиска решений, предназначенную
для решения задачи коррекции хода процесса
выращивания, формально определим набором
МS = <DМ, Рн, STн, Рген,
SТген, FSТ, FР, FS, Fм > , (3)
где DМ – дескриптивная модель, описывающая
проблемную ситуацию на языке высказываний
нечеткой логики с учетом тенденций измене-
ния ситуации; Рн, SТн, – начальные множества
продукций и стратегий, возможно пустые в
исходном состоянии модели; Pген, STген – мно-
жества, используемые для генерации (попол-
нения) множеств Рн и SТн; FSТ – правила выбо-
ра стратегий поиска STн и SТген; FР, и FS – пра-
вила пополнения множеств Рн и STн в процессе
поиска решения, Fм – правила модификации
модели (расширения алфавита, модификации
множеств Pген и STген, правил выбора, пополне-
ния и т.д.). Множества Pген, и SТген могут быть
заданы неявно, например, посредством неко-
торой системы ограничений.
Модель базы знаний KB, кроме отношений
проблемной области, содержит метазнания, не-
обходимые для быстрого переключения (вы-
бора) необходимого фрагмента основной БЗ и
генерации совета для пользователя СППР. В
СППР используется гибридная нейро-нечеткая
модель представления знаний, структура кото-
рой имеет следующий вид:
KB = < WNM, WND, RT, SR > , (4)
где WNM – весовые коэффициенты нейронной
сети, выбирающей кластер одного из состоя-
ний процесса выращивания; WFD – матрицы
нечетких продукций, позволяющих распозна-
вать ситуацию с учетом одного из критериев
решения задачи в данном кластере простран-
ства состояний процесса; RT – таблица правил
для интерпретации выходов и определения
риска нарушения оптимальных условий выра-
щивания путем выбранных критериев; SR –
набор рекомендаций для выхода из критиче-
ских и нештатных ситуаций.
УСиМ, 2014, № 2 35
База моделей MB содержит:
набор моделей для решения функциональ-
ных задач мониторинга и анализа температур-
ных полей расплава и слитка, определения тем-
пературы фонового нагревателя и моделирова-
ния процесса кристаллизации, краткосрочного
прогноза значения диаметра слитка. Эти модели
служат для получения данных, необходимых для
принятия решения;
набор моделей взаимосвязи первичных дан-
ных (исходного набора признаков) и критериев
оценки ситуации. В качестве критерия выступа-
ет мера близости нечеткой оценки текущей си-
туации и нечеткого описания шаблонной крити-
ческой (нештатной) ситуации.
База данных DB содержит данные следую-
щих классов:
исходные данные для тепловых расчетов, в
том числе заданный диаметр слитка, масса за-
грузки, диаметр тигля, скорости вращения за-
травки и тигля, значения теплотехнических ха-
рактеристик материалов и т.д.;
первичные данные, полученные от физи-
ческих датчиков, в том числе температура ос-
новного нагревателя, мощность, потребляемая
фоновым нагревателем, температура расплава
под слоем герметизатора, текущая масса слит-
ка, скорость вертикального перемещения за-
травки и штока тигля и др.;
массивы значений температуры в задан-
ных точках расплава и слитка, массивы осевых
и радиальных градиентов температуры в под-
кристальной области и в слитке, значения ско-
ростей вращения тигля и затравки;
данные мониторинга температурных по-
лей в течение процесса;
данные в виде формулировок советов для
мастера–технолога, выданных в течение про-
цесса.
Системный монитор SM – основной про-
граммный модуль СППР, осуществляющий ди-
спетчеризацию процесса анализа ситуации и
генерации рекомендаций, запуск и остановку
всех функциональных модулей СППР.
База алгоритмов представлена набором:
АВ = < АК, АГП, АО, АУ, АД,
АГВП, АФИ, АП, АВС > , (5)
где АК – алгоритмы кластеризации пространства
первичных признаков ситуации; АГП – алго-
ритмы генерации примеров; АО – алгоритмы
обучения нейронных сетей на примерах; АУ –
алгоритмы управления коллективом нейронных
сетей, распознающих ситуацию; АД – алгоритмы
диагностики состояния процесса выращивания;
АГВП – алгоритмы генерации и верификации
правил для выработки советов; АФИ – алгоритмы
формирования истории мониторинга температур-
ных полей и истории генерации советов; АП –
алгоритмы получения краткосрочного прогноза
значения диаметра слитка; АВС – алгоритмы вы-
работки советов мастеру–технологу. Эти алго-
ритмы реализованы в программном обеспечении
СППР в виде функциональных модулей, рабо-
тающих под управлением программы–монитора.
Подсистема интеграции с АСУ ТП – ISР
описывается моделью:
ISР = < XM, XS> , (6)
где XM – множество входов подсистемы, ото-
бражающих данные мониторинга температур-
ных полей в процессе выращивания; XS – мно-
жество входов подсистемы, отображающих дан-
ные, получаемые от существующей АСУ ТП.
Множество XM определяется набором:
XM = {ТL, ТS, FF, GR, GZ} , (7)
где ТL – массив распределения температур в
расплаве; ТS – массив распределения темпера-
тур в кристалле; FF – направление прогиба
фронта кристаллизации; GR – массив темпера-
турных градиентов по радиусу слитка; GZ – мас-
сив температурных градиентов по оси слитка;
Множество XS определяется вектором:
XS = {ТОН, ТФН, VШ , mС , LM , DDC , LC }, (8)
где ТОН – температура основного нагревателя;
ТФН – температура фонового нагревателя; VШ –
скорость перемещения штока тигля; mС – те-
кущая масса слитка; LM – уровень расплава в
тигле, %; DDC – текущее отклонение диаметра
слитка; LC – текущая длина слитка, %.
Подсистема интеграции с подсистемой ТЭП
АСУ предприятия – IS описывается набором
IS = < XЕ, МR > , (9)
где XЕ – множество входов подсистемы, ото-
бражающих технико-экономические показате-
ли процесса выращивания; МR – множество
36 УСиМ, 2014, № 2
запросов СППР на получение текущих значе-
ний экономических показателей.
Подсистему диалога с ЛПР – DS можно
представить набором:
DS = <L(RD, SR(DS, DС )), МS, А, PA >, (10)
где L – язык диалога; RD – правила формиро-
вания сообщений; SR – множество стандарт-
ных сообщений; DS – множество заключений,
определяющих текущее состояние процесса
выращивания; DС – множество советов по кор-
рекции температурного режима выращивания;
МS – стандартное сообщение, имеющее вид:
МS = < ТМ, SМ, R, PM, ) >, (11)
где ТМ – время сообщения, соотнесенное с
временем процесса выращивания; SМ – ключе-
вая тема сообщения; R – ссылка на предыдущее
сообщение PM; А – ответ пользователя; PA –
процедура выдачи советов.
Принципы диагностики состояния про-
цесса выращивания
В основу структурирования оперативной тех-
нологической информации положим выделение
режимов и ситуаций. Режим, как понятие техно-
логическое, определяется вектором значений тех-
нологических параметров в данный момент вре-
мени. Ситуация с учетом управления – объек-
тивная или субъективная оценка некоторого под-
множества параметров процесса (эндогенных
факторов), некоторого подмножества параметров
внешней среды (экзогенных факторов) и связей
между ними, имеющих место в настоящее время
и являющихся результатом развития управляе-
мого процесса во времени и пространстве. Этап
выделения ситуаций наиболее ответственный.
Взаимосвязанность и непрерывность всех проте-
кающих в оборудовании процессов порождает
ряд проблем, решение которых сложно форма-
лизовать. Анализ и классификация ситуаций ос-
новывается на анализе технологических режимов.
Выделим два основных режима протекания
технологического процесса:
нормальный (штатный) режим, когда про-
цесс протекает в рамках технологических ус-
тавок и переменные состояния находятся в ин-
тервале [ 0( )iX ; кр( )iX ], где 0( )iX – номиналь-
ные значения переменных, кр( )iX – критиче-
ские значения переменных, при которых воз-
можно возникновение критического режима;
критический режим, когда требуется при-
нятие незамедлительных мер по недопущению
перехода в нештатную ситуацию, переменные
состояния находятся в интервале [ кр( )iX ; нс( )iX ],
где нс( )iX – значения переменных, при которых
возможно возникновение нештатных ситуаций.
Для распознавания режимов и определения
ситуаций в общем случае необходимы следу-
ющие действия:
формирование списка параметров, опре-
деляющих режимы и ситуации, т.е. составле-
ние словаря признаков;
определение шкалы измерения признаков
X и необходимости их нормирования;
формирование списка S полных описаний
возможных критических и нештатных ситуа-
ций относительно системы признаков X с ука-
занием вероятностей их возникновения p и
степени критичности k, т.е. составление алфа-
вита классов, подлежащих распознаванию;
выбор или разработка критериев оценки эко-
номической целесообразности принятия решения
в случае возникновения нештатной ситуации.
В процессе решения задачи распознавания
ситуации в соответствии с выбранными шка-
лами признаков определяются расстояния
{l1, l2, …, ln} между неизвестной ситуацией s*
и классами ситуаций из алфавита S = {s1, s2, …
, sn}; формируется подмножество S` S си-
туаций, до которых расстояния {li} минималь-
ны (с использованием нечеткой логики или
пороговых значений).
Множество ситуаций S`, ранжированных по
степени критичности или вероятности возник-
новения, предъявляется ЛПР вместе с соответ-
ствующими советами. ЛПР принимает оконча-
тельное решение о выборе управляющих воз-
действий.
Для разработки СППР был сформирован
перечень технологических и экономических
параметров, необходимых для диагностирова-
ния критических режимов и нештатных ситуа-
ций в технологическом процессе выращивания
монокристаллов арсенида галлия.
УСиМ, 2014, № 2 37
Технические параметры:
масса загрузки, кг;
диаметр цилиндрической части слитка, мм;
средняя длина извлекаемого слитка, мм;
среднее время плавления загрузки, час;
среднее время выдержки расплава, час;
среднее время подбора условий затравления, час;
среднее время формирования верхнего конуса, час;
среднее время, затрачиваемое на вытягивание ци-
линдрической части слитка длиной lk.(в мм) , час;
среднее время формирования нижнего конуса, час;
коэффициент, учитывающий затраты времени на
сплавление верхнего конуса (доля от затрат времени на
его формирование);
коэффициент, учитывающий затраты времени на
сплавление цилиндрической части слитка (доля от затрат
времени на ее вытягивание);
средняя потребляемая мощность основного нагре-
вателя при плавлении, квт; средняя потребляемая мощ-
ность основного нагревателя при выдержке расплава, квт;
средняя потребляемая мощность основного нагре-
вателя при подборе условий затравления, квт;
средняя потребляемая мощность основного нагре-
вателя при формировании верхнего конуса, квт;
средняя потребляемая мощность основного нагрева-
теля при вытягивании цилиндрической части слитка, квт;
средняя потребляемая мощность основного нагре-
вателя при формировании нижнего конуса, квт;
средняя потребляемая мощность основного нагре-
вателя при сплавлении верхнего конуса, квт;
средняя потребляемая мощность основного нагрева-
теля при сплавлении цилиндрической части слитка, квт;
средняя потребляемая мощность фонового нагревате-
ля при вытягивании цилиндрической части слитка, квт;
средняя скорость вытягивания цилиндрической
части при «выборке расплава», мм/мин;
среднее время формирования нижнего конуса при
«выборке расплава», час;
максимальное допустимое время, в течение которо-
го тигель может выдерживать воздействие высокой тем-
пературы без выделения вредных примесей в расплав, час;
температура основного нагревателя, С;
мощность фонового нагревателя, Вт;
скорость перемещения штока затравки, мм/мин;
текущая измеренная масса слитка, кг;
температура фонового нагревателя, оС;
текущий уровень расплава в тигле, %;
номер стадии процесса выращивания;
массив значений распределения температур в рас-
плаве, оС;
массив значений распределения температур в слит-
ке, оС;
массив значений температурных градиентов в зоне
фронта кристаллизации;
массив значений температурных градиентов в слитке.
Технико-экономические параметры:
средний коэффициент выхода в готовую продукцию;
средний коэффициент безвозвратных потерь мате-
риала;
средняя цена готовой продукции (ГП), грн/кг;
средняя цена материала, идущего на повторную
переплавку, грн/кг;
цена электроэнергии, грн/кВт час;
средняя стоимость ресурсов (ССР) (кроме электро-
энергии, потребляемой нагревателем), расходуемых в
единицу времени на этапе плавления, грн/час, вклю-
чающая в себя следующие операции:
– выдержка расплава, грн/час;
– подбор условий затравления, грн/час;
– формирование верхнего конуса, грн/час;
– вытягивание цилиндрической части, грн/час;
– формирование нижнего конуса, грн/час;
Приведенный перечень параметров нагляд-
но иллюстрирует сложность и взаимосвязан-
ность процессов, происходящих при выращи-
вании монокристаллов. Это не позволяет иметь
единое, полное и формализованное описание
технологического процесса в целом. Целесо-
образно провести декомпозицию пространства
параметров и пространства состояний с тем,
чтобы минимизировать неопределенность при
распознавании, упростить и унифицировать
структуру моделей, отображающих различные
аспекты процесса выращивания. Для разработ-
ки комплекса унифицированных моделей наи-
более пригодной представляется нейросетевая
парадигма.
Согласно экспертным оценкам, алфавит
классов, подлежащих распознаванию, содер-
жит шесть классов ситуаций:
1. Растет риск увеличения плотности дис-
локаций (критическая ситуация).
2. Растет риск ухода диаметра за пределы
допуска (критическая ситуация).
3. Уход диаметра за пределы допуска (срыв
процесса, нештатная ситуация).
4. Вероятность недопустимого увеличения
плотности дислокаций превысила заданный
порог (срыв процесса, нештатная ситуация).
5. Риск повышения нестабильности значе-
ния радиуса слитка, риск двойникования, риск
разложения кристалла (критическая ситуация).
6. Неисправность в измерительной системе
АСУТП (срыв процесса, нештатная ситуация).
38 УСиМ, 2014, № 2
Можно выделить основные проблемы, при-
сущие задаче диагностирования состояния про-
цесса выращивания:
практическое отсутствие статистической
устойчивости для имеющихся эксперименталь-
ных данных, что ставит под сомнение степень
доверия к моделям, построенным методами
теории вероятностей и классической матема-
тической статистики;
недостаточная достоверность представле-
ния результатов прогнозирования хода про-
цесса выращивания в виде детерминированных
числовых данных или графиков, поскольку
влияние некоторых факторов можно оценить
только на вербальном уровне с определенной
степенью истинности.
Учитывая данные обстоятельства, можно
сделать вывод, что для формализации соответ-
ствующей модели распознавания и прогнози-
рования имеет смысл воспользоваться модуль-
ными иерархическими нечеткими или гибрид-
ными нейро-нечеткими моделями. Для адек-
ватного отображения знаний необходимо оп-
ределить области компетенции отдельных мо-
делей, внутри которых дисперсия ошибки
сравнительно стабильна.
Для оценивания информативности техноло-
гических параметров при распознавании ука-
занных классов проводится экспертное оцени-
вание, позволяющее сократить подпространст-
ва признаков для решения каждой задачи рас-
познавания. Далее проводится кластеризация в
полученных подпространствах и определение
поверхностей отклика, отвечающих условиям
распознавания указанных классов. Однако на
полученных поверхностях отклика необходима
более тонкая классификация для определения
вероятности наличия критического режима и
степени риска перехода в нештатную ситуа-
цию. Для решения этой задачи используются
вероятностные нейронные сети. Их выходы
преобразуются нечеткими интерпретаторами в
степень риска выхода из зоны нормального
протекания процесса. Содержательно это фор-
мулируется как степень удаленности текущего
состояния процесса, от некоторого центра не-
четкого кластера штатной ситуации и вычис-
ляется через степень включения текущей не-
четкой ситуации в нечеткую ситуацию нор-
мального протекания процесса выращивания.
Заключение. Разработана модель специа-
лизированной СППР для коррекции процесса
выращивания монокристаллов. Модель преду-
сматривает интеграцию с АСУ ТП установки
для выращивания монокристаллов и с подсис-
темой ТЭП АСУ предприятия. Это позволяет
принимать решения по ходу процесса выращи-
вания с учетом как физических, так и эконо-
мических показателей.
Предложена структура СППР, учитываю-
щая специфику процесса принятия оператив-
ных решений в реальном времени технологи-
ческого процесса и содержащая модели–источ-
ники данных, воспроизводящие физические
процессы в тепловом узле, что позволяет осу-
ществлять мониторинг процесса выращивания
и, в конечном счете, реализовать информаци-
онную технологию управления качеством про-
цесса выращивания.
Разработана модель поиска решений (гене-
рации рекомендаций) для мастера-технолога,
основанная на распознавании ситуации и не-
четком представлении проблемной ситуации и
шаблонных критических и нештатных ситуа-
ций с учетом тенденций их изменения.
1. Методи обчислювального інтелекту в системах ке-
рування технологічними процесами феросплавного
виробництва / Є.В. Бодянський, Є.І. Кучеренко,
О.І. Михальов та ін. – Дніпропетровськ: Нац. мета-
лургійна акад. України, 2011. – 420 с.
2. Борисов В.А. Обработка нечеткой информации в
системах принятия решений. – М.: Радио и связь,
1989. – 304 с.
3. Тамм Б.Г., Пуусепп М.Э., Таваст Р.Р. Анализ и
моделирование производственных систем. – М.:
Финансы и статистика, 1987. – 191 с.
Поступила 12.12.2013
Тел. для справок: +38 057 702-1451, 066 396-0785
(Харькoв, Кременчуг)
E-mail: athome050@yandex.ru, levykinvictor@gmail.com
© Левыкин В.М., Шевченко И.В, 2014
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <FEFF004b0069007600e1006c00f30020006d0069006e0151007300e9006701710020006e0079006f006d00640061006900200065006c0151006b00e90073007a00ed007401510020006e0079006f006d00740061007400e100730068006f007a0020006c006500670069006e006b00e1006200620020006d0065006700660065006c0065006c0151002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b0061007400200065007a0065006b006b0065006c0020006100200062006500e1006c006c00ed007400e10073006f006b006b0061006c0020006b00e90073007a00ed0074006800650074002e0020002000410020006c00e90074007200650068006f007a006f00740074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b00200061007a0020004100630072006f006200610074002000e9007300200061007a002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020007600610067007900200061007a002000610074007400f3006c0020006b00e9007301510062006200690020007600650072007a006900f3006b006b0061006c0020006e00790069007400680061007400f3006b0020006d00650067002e>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <FEFF005500740069006c0069007a00610163006900200061006300650073007400650020007300650074010300720069002000700065006e007400720075002000610020006300720065006100200064006f00630075006d0065006e00740065002000410064006f006200650020005000440046002000610064006500630076006100740065002000700065006e0074007200750020007400690070010300720069007200650061002000700072006500700072006500730073002000640065002000630061006c006900740061007400650020007300750070006500720069006f006100720103002e002000200044006f00630075006d0065006e00740065006c00650020005000440046002000630072006500610074006500200070006f00740020006600690020006400650073006300680069007300650020006300750020004100630072006f006200610074002c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020015f00690020007600650072007300690075006e0069006c006500200075006c0074006500720069006f006100720065002e>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|