Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями

The program for calculation of the reflectivity curves for optical sensors with nanostructured сoatings was developed. The calculations and optimization of the multilayer biosensors were carried out. Разработана программа для расчета кривых отражения оптических сенсоров с наноструктурированными покр...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Комп’ютерні засоби, мережі та системи
Date:	2014
Main Authors:	Бєднов, М.В., Лебєдєва, Т.С., Шпильовий, П.Б.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2014
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/84826
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями / М.В. Бєднов, Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2014. — № 13. — С. 23-32. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

_version_	1859791291862220800
author	Бєднов, М.В. Лебєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б.
author_facet	Бєднов, М.В. Лебєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б.
citation_txt	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями / М.В. Бєднов, Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2014. — № 13. — С. 23-32. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.
collection	DSpace DC
container_title	Комп’ютерні засоби, мережі та системи
description	The program for calculation of the reflectivity curves for optical sensors with nanostructured сoatings was developed. The calculations and optimization of the multilayer biosensors were carried out. Разработана программа для расчета кривых отражения оптических сенсоров с наноструктурированными покрытиями. Проведены расчеты и оптимизация многослойных биосенсоров. Розроблено програму для розрахунків кривих відбивання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями. Проведено розрахунки та оптимізацію багатошарових біосенсорів.
first_indexed	2025-12-02T11:51:31Z
format	Article
fulltext	Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 23 M. Bednov, T. Lebyedyeva, P. Shpylovyy MODELLING OF THE OPTICAL SENSORS WITH NANOSTRUCTERED COATINGS The program for calculation of the reflectivity curves for optical sensors with nanostructured сoatings was developed. The calculations and optimization of the multilayer bio- sensors were carried out. Key words: optical sensors, nano- structures, modelling. Разработана программа для ра- счета кривых отражения опти- ческих сенсоров с нанострукту- рированными покрытиями. Про- ведены расчеты и оптимизация многослойных биосенсоров. Ключевые слова: оптические сенсоры, наноструктуры, моде- лирование. Розроблено програму для розраху- нків кривих відбивання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями. Проведено розра- хунки та оптимізацію багатоша- рових біосенсорів. Ключові слова: оптичні сенсори, наноструктури, моделювання.  М.В. Бєднов, Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий, 2014 УДК 535.016 М.В. БЄДНОВ, Т.С. ЛЕБЄДЄВА, П.Б. ШПИЛЬОВИЙ МОДЕЛЮВАННЯ ОПТИЧНИХ СЕНСОРІВ З НАНОСТРУКТУРОВАНИМИ ПОКРИТТЯМИ Вступ. Розробка високочутливих сенсорів на сьогодні – це важливе завдання для медичної діагностики, моніторингу навколишнього середовища, вивчення біомолекулярних вза- ємодій та ін. Розробляються імпедансні, єм- нісні, акустичні, оптичні та інші сенсори, бі- осенсори. Одним із шляхів збільшення чут- ливості є застосування нанопористих матері- алів для сенсорних покриттів. Збільшення чутливості пов'язане з великою площею по- верхні нанопористої плівки, на якій закріп- люються рецепторні молекули, і, отже, з ве- ликою площею рецепторного шару. Най- поширенішими матеріалами для реалізації пористих сенсорних шарів є поруватий кремній та пористий анодний оксид алю- мінію. Серед оптичних сенсорів особливе місце займають сенсори на відбитому світлі – на поверхневого плазмонного резонансу (ППР) [1] та хвилеводні сенсори, в тому чис- лі хвилеводні сенсори на металевому підша- рі (ХСМП) [2, 3], що можуть бути реалізова- ні на зсуві мінімуму кривої відбиття по куту падіння світла або за довжиною хвилі, які залежать від зміни в шарі молекул на сенсо- рній поверхні (рис. 1). При практичній розробці сенсорних струк- тур плідним є використання металевих шарів із золота та алюмінію. Як діелектрики можна використати оксиди алюмінію та ніобію. Обидва оксиди мають хороші адгезійні якості, високу хімічну та механічну стійкість. Поруваті оксиди можна виготовляти про- стим анодним окисненням металічного алю- М.В. БЄДНОВ, Т.С. ЛЕБЄДЄВА, П.Б. ШПИЛЬОВИЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 24 РИС. 1. ХСПМ з нанопористим сенсорним покриттям в якості хвилеводного шару та схематичне представлення сенсорного пристрою мінію і ніобію у пороутворюючих електролітах. Товщиною оксиду, радіусом пор і ступенем поруватості можна керувати підбираючи відповідний електроліт, на- пругу та струм анодування а також умови подальшого хімічного розтравлюван- ня поруватого шару. Теоретичні моделі та опис розробленої програми. Для проведення аналізу вищеописаних структур був розроблений пакет програм у середовищі Matlab, які дозволяють розраховувати кутову залежність коефіцієнта відбивання р-поляризованого світла багатошаровими структурами, в тому числі з неоднорі- дними (поруватими) шарами. Розрахунок кривих відбивання здійснювався мат- ричним методом. Для проведення розрахунків досліджувана система розбива- лась на шари в межах яких оптичні сталі не змінюються та задавались товщини і комплексний показник заломлення для кожного з цих шарів. Потім будувалась унімодулярна матриця кожного шару розміром 2×2. Характеристична матриця Мi однорідної діелектричної плівки має наступний вигляд: , )cos()sin( )sin()cos(           δδη− δ η δ s s i i (1) де )cos(,)cos( 0 Θ⋅=δ µ Θ⋅ =η nzk c n s . θ – кут заломлення світла, k0 – хвильовий вектор у вакуумі, n – показник за- ломлення плівки, μ – магнітна сприйнятливість, с – швидкість світла у вакуумі, z – товщина плівки. Характеристична матриця підкладки Мs задається у вигляді вектор- стовпчика МОДЕЛЮВАННЯ ОПТИЧНИХ СЕНСОРІВ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 25       ηs 1 , (2) де ηs визначається за такою ж формулою, як і для матриці плівки. Матриця системи визначається як добуток матриць окремих шарів і матриці підкладинки.       η ⋅     Π=      s i q i M C B 1 . (3) Коефіцієнт відбивання всієї системи розраховується наступним чином: ,)( 0 0 B C B C R +η −η =ϕ (4) де η0 розраховується для середовища, з якого світло падає на багатошарову систему. Для забезпечення можливості розрахунку кривих відбивання структур на базі поруватих оксидів розроблена підпрограма розрахунку ефективного показ- ника заломлення поруватого шару, поверхня пор якого вкрита шаром досліджу- ваної речовини, а інша частина об’єму заповнена буферною рідиною. Розраху- нок проводився за моделлю ефективного середовища Максвела – Гарнета. Це модельне наближення дозволяє розрахувати ефективний показник заломлення системи матриця-домішки за відомими показниками заломлення компонент, їх об’ємний частинами у матриці а також формою та орієнтацією включень, якщо їх розмір значно менше довжини хвилі світла. В модельних розрахунках викори- стовувалась формула для ізотропних включень сферичної форми ∑ = ε+ε ε−ε = ε+ε ε−ε N n mni mni n meff meff f 1 , , 22 , (5) де έeff – ефективна діелектрична проникність суміші, έm та έi,n – діелектричні проникності матриці та включень відповідно, fn – об’ємні частки включень. Останні визначались через ступінь поруватості плівки, радіус пор і товщину ша- ру яким вкрита поверхня пори. На базі приведеної моделі розроблені програми для розрахунків сенсорів з багатошаровими, у тому числі – з поруватими покриттями. Приклади розрахунків. А. Проведення 3D та 2D візуалізації кривих відбиття. Візуалізація кривих відбиття та поведінки кута положення мінімуму при зміні одного з параметрів багатошарової сенсорної структури проводилась для моделі, показаної на рис. 1. Проведення 3D та 2D візуалізації дозволяє простежити зміну форми кривої відбиття та положення її мінімуму при варіюванні певного параметра структури, швидко оцінити область робочих кутів та вибрати тактику проведення техноло- М.В. БЄДНОВ, Т.С. ЛЕБЄДЄВА, П.Б. ШПИЛЬОВИЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 26 гічних процесів для створення структур з необхідними характеристиками. Гра- фічні результати моделювання кривих відбиття при зміні товщини пористого шару сенсорної структури Al (15 нм) / бар’єрний шар Al2O3 (40 нм) / пористий шар Al2O3 (поруватість 0,1) показані на рис. 2. а б РИС. 2. 3D та 2D візуалізації поведінки кривих відбиття при зміні товщини пористого шару сенсорної структури Al (15 нм) / бар’єрний шар Al2O3 (40 нм) / пористий шар Al2O3 (поруватість 0,1) Результати візуалізації дають можливість швидко проаналізувати вигляд кривих відбиття та робочі кути ХСМП на структурі, для якої проводиться моде- лювання. З приведеного прикладу видно, що для даної структури діапазон робо- чих кутів становить 56 ÷ 64 градуси. Б. Розрахунки показника заломлення поруватого оксидного шару. Для двохкомпонентної системи – матриця з оксиду алюмінію (n = 1,62) і по- ри, заповнені рідиною з показником заломлення n = 1,33 використовувалась мо- дель ефективного середовища Максвела–Гарнета. Модель та результати розра- хунків показані на рис. 3, а та 4, а. Слід відзначити, що ступінь пористості залежить від двох геометричних ха- рактеристик структури – від діаметра пори та від діаметра елементарної комір- ки, так що поруватість ПАОА при виготовленні залежить як від напруги форму- вання (відповідає за розмір елементарної комірки та початковий діаметр пор), так і від режиму та часу травлення (відповідає за кінцевий діаметр пор). В. Розрахунки показника заломлення поруватого сенсорного шару з покрит- тям його внутрішньої поверхні молекулами білків. Для розрахунків використовувалась модель Максвела – Гарнета з трьома компонентами – оксид алюмінію (показник заломлення n = 1,62, поруватість p = = 0,2), «біошар» товщиною 10 нм з матрицею з молекул білків і рідиною між ними зі змінною поруватістю від 0 (адсобції білків немає, n = 1,33) до 1 (100 % заповнення білками з показником заломлення n = 1,44) та вільні місця пор у мат- риці оксиду алюмінію, заповнені рідиною з показником заломлення n = 1,33. Схе- ма моделі для розрахунків показана на рис. 3, б, розрахована залежність показника заломлення від ступеня поруватості для двох радіусів пор – на рис. 4, б. МОДЕЛЮВАННЯ ОПТИЧНИХ СЕНСОРІВ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 27 а б в РИС. 3. Моделі для розрахунків показників заломлення а б РИС. 4. Результати розрахунків показника заломлення поруватих сенсорних шарів: а – зале- жність ефективного показника заломлення поруватих шарів Al2O3 (n = 1,62) та Nb2O5 (n = 2,1) у воді (n = 1,33) при зміні ступеня поруватості оксидної плівки; б – залеж- ність ефективного показника заломлення системи поруватий Al2O3 – біошар – вода від ступеня заповнення біошару для двох значень радіусу пор оксиду Бачимо, що при однакових ступенях поруватості ефективний показник за- ломлення середовища з порами меншого діаметру змінюється сильніше. А отже і ХМСП сенсор з таким поруватим шаром повинен мати вищу чутливість. Г. Розрахунок змін кривої відбиття ХСМП біосенсора з поруватим покрит- тям при імобілізації біомолекул. Структура алюміній/бар’єрний оксид алюмінію/поруватий оксид алюмінію, є базовою сенсорною структурою для проведення імунохімічних досліджень. Модель для розрахунків ХСМП Al – бар’єрний Al2O3 – пористий Al2O3 показана на рис. 3, в. В табл. 1 наведено задані та розраховані параметри структури. Будемо вважати, що після проведення імунохімічної реакції отримали 2 мо- ношари білків – (гену та антигену або рецептора та аналіту) з лінійними розмі- рами молекул по 5 нм кожний, з заповненням площі реакції 100%, та приймемо М.В. БЄДНОВ, Т.С. ЛЕБЄДЄВА, П.Б. ШПИЛЬОВИЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 28 показник заломлення шару білків п = 1,4 при повному заповненні «біошару» загальною товщиною 10 нм біомолекулами. ТАБЛИЦЯ 1 Задані параметри Розраховані параметри Номер шару Склад шару Показник заломлення Товщина шару, нм Пору- ватість Показник заломлення Кут мініму- му кривої відбиття 1 Скло п = 1,61 k = 0 Нескін- ченна 2 Алюміній п = 1,4 k = 6,8 15 3 Бар’єрний шар Al2O3 п =1,61 k = 0 30 4 Пористий шар Al2O3 п =1,61 k = 0 400 0,2 п = 1,565 5 Оточуюча рідина п = 1,33 k = 0 Нескін- ченна k = 0 Значення кута мінімуму відбиття 58,168 град Розрахунки показують (табл. 2), що у випадку повного покриття біомолеку- лами внутрішньої поверхні пор та поверхні структури алюміній/бар’єрний оксид алюмінію/ПАОА, параметри шарів сенсора змінюються. ТАБЛИЦЯ 2 Задані параметри Розраховані параметри Номер шару Склад шару Показник заломлення Товщина шару, нм Пору- ватість Показник заломлення Кут мінімуму кривої від- биття 1 Скло п = 1,61 k = 0 Нескін- ченна 2 Алюміній п = 1,4 k = 6,8 15 3 Бар’єрний шар Al2O3 п = 1,61 k = 0 30 4 ПАОА Al2O3 з «біошаром» 400 0,2 п = 1,569 k = 0 5 «Біошар» п =1,4 k =0 10 6 Оточуюча рідина п = 1,33 k =0 Нескін- ченна Значення кута мінімуму відбиття 58,454 град. З табл. 1 та 2 випливає, що для даної структури максимальний зсув кута міні- муму при покритті внутрішньої поверхні пор «біошаром» складає 0,15 градуси. МОДЕЛЮВАННЯ ОПТИЧНИХ СЕНСОРІВ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 29 Зсув кута мінімуму, обумовлений висіданням «біошару» для даної структу- ри складає близько 0,3. Приведена структура не є оптимальною, при збільшенні товщини поруватого шару зсув кута за рахунок внутрішньої поверхні пор значно збільшується (див. розділ Е). Д. Результати моделювання рефрактометричних досліджень. Рефрактометричні дослідження за допомогою багатошарових сенсорів з ме- талевим підшаром проводяться наступним чином: сенсорна структура закріплю- ється на призму а зверху на неї встановлюється проточна камера, яка спочатку заповнюється рідиною з відомим показником заломлення, а потім – рідиною, показник заломлення якої треба визначити. Показник заломлення визначається за зсувом мінімуму на кривій відбивання. При моделюванні рефрактометричних досліджень вважалось, що змінюється показник заломлення середовища з яким граничить багатошарова структура, а якщо вона має поруватий шар, то зміню- ється і показник заломлення поруватого шару, оскільки пори заповнені речови- ною з середовища. Інші параметри залишаються незмінними. Ефективний пока- зник заломлення поруватого шару розрахувався за моделлю Максвела – Гарнета. Розглянемо спочатку систему Al(15 нм)/Al2O3(50 нм)/поруватий Al2O3 зі ступенем поруватості 0,2 та діаметром пори 40 нм. В ній, залежно від товщини діелектричного шару, можуть виникати хвилеводні моди різних порядків а та- кож ППР мода на межі алюміній/оксид алюмінію. Як бачимо з рис. 5, чутливість мод ТМ1 та ТМ2 не монотонно залежить від товщини поруватого оксидного шару: спадає при збільшенні товщини від критичного значення, при якому ви- никає мода у хвилеводі, до значення товщини 750 нм для моди ТМ1 та 1650 нм для моди ТМ2. Після цього чутливість дещо підвищується при збільшенні тов- щини. Максимальна величина чутливості для обох мод майже однакова та скла- дає 44,5 та 43,5 град./од. показника заломлення для мод ТМ1 та ТМ2 відповідно. Досягаються ці значення чутливості при мінімальній товщині хвилеводного ша- ру, близькій до критичної (400 нм для ТМ1 та 780 нм для ТМ2). Мінімуми від- бивання мод при даних значення товщини та довжини хвилі світла знаходяться в області кутів 58,5 – 59,5 град. Параметри шарів досліджуваної структури при моделюванні рефрактометричних вимірювань наведені в табл. 3. РИС. 5. Порівняння чутливості різних хвилеводних мод у шарі поруватого алюмінію М.В. БЄДНОВ, Т.С. ЛЕБЄДЄВА, П.Б. ШПИЛЬОВИЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 30 ТАБЛИЦЯ 3 Но- мер ша- ру Склад шару Показник заломлення Показ- ник погли- нання Товщина, нм 1 Скляна підкладинка 1,61 0 Нескінченна 2 Алюміній 1,4 6,8 15 3 Барєрний оксид алюмінію 1,63 0 50 4 Поруватий оксид алюмі- нію з рідиною середовища у порах Розраховувався про- грамою відповідно до моделі Максвела – Гарнета 0 Підбиралась окремо в ме- жах 400 – 4000 нм 5 Середовище Змінювався від 1,33 до 1,6 для моделю- вання 0 Нескінченна Поляритонна мода ТМ0 завжди має чутливість 33 град./од. показника зало- млення незалежно від товщини діелектрика. Розрахунки також показали, що за- міна металічного підшару з алюмінію на 50 нм золота не призводить до змін у чутливості хвилеводного сенсора. Е. Моделювання чутливості при біосенсорних дослідженнях. Біосенсорні дослідження за допомогою багатошарових структур з метале- вим підшаром проводяться за наступою схемою: сенсорна плівка встановлюєть- ся в проточну камеру, на її поверхню наноситься шар молекул рецептора, на якому можуть закріплюватись лише певні молекули аналіту, концентрацію яких ми і хочемо виміряти. Після закріплення молекул камера промивається буфер- ним розчином, щоб вимити незакріплені молекули. Будемо вважати, що показ- ник заломлення буферної рідини, у якій проводяться дослідження, має значення 1,33, а поверхня плівки або поверхня плівки і пори (у випадку поруватого шару) вкриваються шаром рецептор-аналіт товщиною 10 нм, показник заломлення якого змінюється від показника заломлення буфера 1,33 (до іммобілізації) до показника заломлення білку – 1,43 (при 100 % іммобілізації по всій поверхні плівки). Розглянемо результати моделювання чутливості для системи Al(15 нм)/Al2O3(50 нм)/поруватий Al2O3 (рис. 6). Починаючи з товщини поруватого шару 370 нм у такій системі може існувати хвилеводна мода електромагнітного поля ТМ1, при збільшенні товщини до 780 нм система вже може підтримувати одночасно моди ТМ1 та ТМ2. На рис. 6 показано розраховані залежності чутли- вості мод ТМ1 та ТМ2 до осадження на усю поверхню поруватого шару 10 нм шару біологічної речовини. Бачимо, що залежність має монотонний характер: при збільшенні товщини поруватого шару до 4000 нм чутливість збільшується від 5 до 14,37 та 13,26 град./од. показника заломлення для мод ТМ1 та ТМ2 від- повідно, а для моди ТМ1 максимальне значення чутливості фактично досягаєть- ся при товщині поруватого шару 3000 нм, після чого подальші зміни товщини не приводять до її значного росту. При цьому мода ТМ1 завжди має вищу чутли- МОДЕЛЮВАННЯ ОПТИЧНИХ СЕНСОРІВ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 31 вість, ніж мода ТМ2. Виготовлення сенсорів з товщиною поруватого шару понад 4 мкм ускладнюється технологічно, а очікуваний ріст чутливості при цьому практично відсутній, тому плівки з товщиною поруватого шару більше 4 мкм у розрахунках не розглядались. РИС. 6. Ріст чутливості хвилеводних мод системи Al(15 нм)/Al2O3(50 нм)/поруватий Al2O3 до проведення біосенсорних вимірювань при збільшенні товщини поруватого шару Є. Оптимізація біосенсорних структур. На базі проведених розрахунків для тонкоплівкових систем, що включають металеві шари алюмінію та золота, а також діелектричні шари анодних оксидних плівок оксиду алюмінію та оксиду ніобію, була складена діаграма – рис. 7. РИС. 7. Максимальні значення чутливості до біохімічних вимірювань для різних тонкоплів- кових сенсорних структур М.В. БЄДНОВ, Т.С. ЛЕБЄДЄВА, П.Б. ШПИЛЬОВИЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2014, № 13 32 З діаграми видно, що стандартному ППР сенсору на плівці золота може скласти конкуренцію проста та дешева у виготовленні система ХСМП Al/поруватий Al2O3, а при використанні оксиду ніобію замість оксиду алюмінію максимально досяжна чутливість на модах ТМ1 та ТМ2 при оптимальній тов- щині поруватого хвилеводного шару в 2,66 та 2,95 разів відповідно перевищує чутливість золотого ППР-сенсора. Таким чином, проведене моделювання кутової чутливості при зміні показ- ника заломлення прилеглого до поверхні «біошару», що відповідає ступеню за- повнення його біомолекулами, показує безумовну перспективність біосенсорних застосуваннь ХСМП сенсорів з пористими наноструктурованими покриттями. Розроблено діалогову програму, призначену для розрахунку коефіцієнта від- бивання багатошарових структур в середовищі Мatlab матричним методом для будь-яких значень кута падіння та довжини хвилі, а також побудови тривимірних залежностей кривої відбивання при зміні одного з параметрів досліджуваної стру- ктури чи довжини хвилі для p-поляризованого світла, а також для розрахунків чу- тливості сенсорів. Для розрахунків оптичних характеристик пористих шарів використовувується модель Максвела – Гарнета з трьома компонентами. За допо- могою розробленої програми можна проводити розрахунки поведінки кривих відбиття в процесі біосенсорних досліджень, а також при виготовленні сенсорних поруватих пок- рить – у процесі анодного окислення та при травленні для розширення пор. Програма дає можливість розрахувати зміни параметрів наноструктурованих покрить при різних ре- жимах технологічних процесів та проводити їх оптимізацію. Проведено розрахунки тонкоплівкових сенсорних структур на базі металевих шарів із золота та алюмі- нію, а діелектричних – із щільних та пористих оксидів алюмінію та ніобію. 1. Войтович И.Д., Корсунский В.М. Сенсоры на основе поверхностного плазмонного резо- нанса: принципы, технологи, применение. – Киев: «Сталь», 2011. – 538 с. 2. Войтович И.Д., Лебедева Т.С., Шпилевой П.Б. и др. Оптические биосенсоры на много- слойных тонкопленочных структурах // Электроника и связь. – 2010. – № 2. – C. 174 – 179. 3. Lebyedyeva T.S., Shpylovyy P.B. et al. Modelling and Data Processing for Thin-Film Optical Sensors // Proc. of 6-th IEEE Intern. Conf. on Intelligent Data Acquisition and Advance Com- puting System: Technology and Application. – Praga. – 2011.– Vol. 1. – P. 119 – 124. Одержано 19.07.2014 удк 535.016
id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-84826
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn	1817-9908
language	Ukrainian
last_indexed	2025-12-02T11:51:31Z
publishDate	2014
publisher	Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
record_format	dspace
spelling	Бєднов, М.В. Лебєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б. 2015-07-16T05:47:05Z 2015-07-16T05:47:05Z 2014 Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями / М.В. Бєднов, Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2014. — № 13. — С. 23-32. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. 1817-9908 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/84826 535.016 The program for calculation of the reflectivity curves for optical sensors with nanostructured сoatings was developed. The calculations and optimization of the multilayer biosensors were carried out. Разработана программа для расчета кривых отражения оптических сенсоров с наноструктурированными покрытиями. Проведены расчеты и оптимизация многослойных биосенсоров. Розроблено програму для розрахунків кривих відбивання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями. Проведено розрахунки та оптимізацію багатошарових біосенсорів. uk Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України Комп’ютерні засоби, мережі та системи Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями Modelling of the optical sensors with nanostructered coatings Article published earlier
spellingShingle	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями Бєднов, М.В. Лебєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б.
title	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями
title_alt	Modelling of the optical sensors with nanostructered coatings
title_full	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями
title_fullStr	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями
title_full_unstemmed	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями
title_short	Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями
title_sort	моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/84826
work_keys_str_mv	AT bêdnovmv modelûvannâoptičnihsensorívznanostrukturovanimipokrittâmi AT lebêdêvats modelûvannâoptičnihsensorívznanostrukturovanimipokrittâmi AT špilʹoviipb modelûvannâoptičnihsensorívznanostrukturovanimipokrittâmi AT bêdnovmv modellingoftheopticalsensorswithnanostructeredcoatings AT lebêdêvats modellingoftheopticalsensorswithnanostructeredcoatings AT špilʹoviipb modellingoftheopticalsensorswithnanostructeredcoatings

Моделювання оптичних сенсорів з наноструктурованими покриттями

Institution

Similar Items