Зображення обкладинки

Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок

Наведено експериментальні результати по тонких Sі–C–N-плівках, одержаних плазмохімічним методом із гексаметилдісилазану. Досліджено вплив потужности високочастотного газового розряду, кількости доданого до реактивної суміші азоту, зміщення на підкладкотримачеві, температури підкладкотримача та додат...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2015
Автор:	Порада, О.К.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87978
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок / О.К. Порада // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2015. — Т. 13, № 1. — С. 59–74. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
за авторством: Козак, А.О., та інші
Опубліковано: (2015)

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок
за авторством: Порада, О.К., та інші
Опубліковано: (2019)

Теоретичне вивчення лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx
за авторством: Gavrylyuk, O. O.
Опубліковано: (2014)

Вплив відпалу на структуру поверхні плівок Ni₂MnGa
за авторством: Скирта, Ю.Б.
Опубліковано: (2016)

Вплив термічного відпалу на оптичні властивості тонких композитних плівок
за авторством: Горбов, І.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
за авторством: Куликовський, B.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Електрохемія плівок олігопероксидів на поверхні аморфних металевих стопів
за авторством: Герцик, О.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Вплив умов синтезу на властивості наночастинок заліза, отриманих методом хімічного осадження
за авторством: Нгуєн, Тієн Хіеп, та інші
Опубліковано: (2023)

Вплив дефектів дивакансія-кисень на рекомбінаційні властивості n-Si після опромінення та наступного відпалу
за авторством: Kras’ko, M. M., та інші
Опубліковано: (2018)

Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду
за авторством: Pal, A.F., та інші
Опубліковано: (2022)

Вплив високотемпературного відпалу на параметри анізотропії рухливості і анізотропії термо-ЕРС захоплення електронів фононами в n–Si
за авторством: Баранський, П.І., та інші
Опубліковано: (2014)

Електрохемічне осадження поліаніліну на металевих субстратах. Морфологія та структура плівок
за авторством: Яцишин, М., та інші
Опубліковано: (2011)

Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
за авторством: Фліс, В.С., та інші
Опубліковано: (2006)

Кількісні параметри стохастично нанонеоднорідної структури аморфних плівок системи Ge—Se
за авторством: Бобик, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2013)

Дослідження плівок SiC, отриманих на підкладинці porous-Si/Si
за авторством: Kidalov, V. V., та інші
Опубліковано: (2024)

Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості
за авторством: Силенко, П.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Вплив термічного та лазерного відпалу на магнітоімпедансний ефект у нанокрісталічному сплаві Cо₅₉Fe₅Ni₁₀Si₁₁B₁₅
за авторством: Кравець, В.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Механізм відпалу VO дефектів в n-Si при високотемпературному імпульсному електронному опроміненні
за авторством: Kraitchinskii, A.M., та інші
Опубліковано: (2022)

Порівняння векторного відгуку плівок аморфних халькогенідів та азобензенових полімерів при фотозбудженні
за авторством: Іваницький, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Кінетика диспергування під час відпалу у вакуумі тонких подвійних хромомідних плівок, нанесених на оксидні матеріали
за авторством: Габ, І.І., та інші
Опубліковано: (2019)

Вплив відпалу на фазові і структурні зміни у тонких плівках AIVBVI
за авторством: Фреїк, Д.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Вплив термооброблення на магнетом’які властивості аморфних стопів Fe₈₀Si₆B₁₄, леґованих Ni та Mo
за авторством: Захаренко, М.І., та інші
Опубліковано: (2011)

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів
за авторством: Іващенко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Вплив γ-опромінення на початкову магнітну проникність аморфних і нанокристалічних сплавів на основі системи Fe−Si−B
за авторством: Povarchuk, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Плівки CdS на поруватих підкладках Si, одержані методом хімічного поверхневого осадження
за авторством: Dyadenchuk, A. F., та інші
Опубліковано: (2018)

Визначення оптичних параметрів плівок PVA/TiO2/SiC і PVA/ MgO/SiC нанокомпозитів для оптоелектроніки і УФ-детекторів
за авторством: Ahmed, H., та інші
Опубліковано: (2020)

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si
за авторством: Сукач, А.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Тензоопір аморфних феромагнетиків
за авторством: Семенько, М.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Вплив розміру включень SiC у структурі AlN–SiC на електрофізичні властивості композиту
за авторством: Сербенюк, Т.Б., та інші
Опубліковано: (2016)

Вплив відпалу на диспергування молібденових наноплівок, нанесених на неоксидні неметалеві матеріали
за авторством: Найдіч, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Вплив відпалу на інтенсивність термолюмінесценції KY3F10 : Ho3+
за авторством: Debelo, N. G., та інші
Опубліковано: (2020)

Вплив термічного відпалу на властивості моноселеніду індію та галію, легованого кобальтом і селенідом ванадію
за авторством: Ковалюк, З.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
за авторством: Semenov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
за авторством: Семенов, А.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Вплив електронного опромінення на оптичні властивості плівок нанокристалічного SiC на підкладках із монокристала Al2O3
за авторством: Semenov, O. V., та інші
Опубліковано: (2017)

Вплив низькотемпературної обробки на властивості аморфних сплавів на основі заліза
за авторством: Hertsyk, O. M., та інші
Опубліковано: (2016)

Вплив технологічних параметрів осадження на функції розподілу прозоростей бар’єрів переходів Джозефсона
за авторством: Шатернік, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Вплив іонного бомбардування і шорсткості вихідної поверхні на оптичні параметри аморфних металевих сплавів
за авторством: Карпуша, В.Д., та інші
Опубліковано: (2013)

Роль олова у формуванні мікро- і наноструктури поверхні шаруватих плівок Si–Sn–Si
за авторством: Neimash, V.B., та інші
Опубліковано: (2023)

Перспективи використання аморфних Fe–Ni–Si–B стрічок у якості осердя контакторів
за авторством: Rafiyev, N.M., та інші
Опубліковано: (2023)