Ion energy distributions in RF sheaths with dust particles

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2009
• Автори: Kravchenko, O. Yu., Yastrub, Yu. A., Levada, G.I., Lisitchenko, T.Y.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Теми: Динамика плазмы и взаимодействие плазма – стенка
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88235
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Ion energy distributions in RF sheaths with dust particles / O. Yu. Kravchenko, Yu. A. Yastrub, G.I. Levada, T.Y. Lisitchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 95-97. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

We study ion energy distributions functions (IEDFs) within an rf sheath with dust particles in SiH₄ radio-frequency discharges and compare results with ones in Ar rf discharges. The simulations are carried by PIC/MCC method over a wide range of pressure, dust density and dust radius. Our model inclu...