Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Voznyi, V.I., Miroshnichenko, V.I., Mordyk, S.N., Storizhko, V.E., Shulha, D.P.
• Format: Artikel
• Sprache: English
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Schlagworte: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88321
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source / V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko, D.P. Shulha // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 142-144. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

A 4.7 cm diameter and 8 cm long 27.12 MHz radio-frequency (RF) inductively coupled multicusp ion source has been designed for ion beam applications. Ion energy distribution functions (IED) of the extracted helium and argon ion beams were measured by use of a retarding field energy analyzer. Influe...