Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием
Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазме...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Техническая механика |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| ISSN: | 1561-9184 |
| Автор: | Гришкевич, А.Д. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України
2013
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88396 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А.Д. Гришкевич // Техническая механика. — 2013. — № 2. — С. 109-115. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Цилиндрическая магнитоэлектрическая машина возвратно-поступательного движения
за авторством: Гребеников, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Гребеников, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Синтез робастного регулятора системы управления "пастуха с ионным лучом"
за авторством: Хорошилов, С.В.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Хорошилов, С.В.
Опубліковано: (2017)
Анализ робастности системы управления относительным движением «пастуха с ионным лучом»
за авторством: Хорошилов, С.В.
Опубліковано: (2018)
за авторством: Хорошилов, С.В.
Опубліковано: (2018)
Определение оптимального положения "пастуха с ионным лучом" относительно объекта космического мусора
за авторством: Алпатов, А.П., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Алпатов, А.П., та інші
Опубліковано: (2015)
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
за авторством: Шпак, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Шпак, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
за авторством: Соболь, О.В.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Соболь, О.В.
Опубліковано: (2008)
Модификация поверхности сплава Э110 осаждением многослойных Zr/ZrN покрытий и ионным облучением
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Наноструктурированные покрытия как альтернатива гальваническому хромированию внутренних поверхностей
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2013)
Исследование зависимости усталости магнетронного хромового покрытия от его механических свойств
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2014)
Разработка комбинированной технологии упрочнения деталей
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2017)
Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
за авторством: Картмазов, Г.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Картмазов, Г.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Магнетронное формирование и применение интенсивных потоков газометаллической плазмы
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)
Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)
Разработка плазменных технологических устройств для комбинированной технологии упрочнения деталей
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
Применение магнетронных устройств в комплексной плазменно-иммерсионной технологии обработки поверхности
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)
Система передачи данных с шифрованием хаотическими последовательностями
за авторством: Политанский, Р.Л., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Политанский, Р.Л., та інші
Опубліковано: (2014)
Технологические плазменные устройства на основе разряда с замкнутым дрейфом электронов. Разработка и применение
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2013)
Система теплоснабжения с солнечным крышным коллектором
за авторством: Очеретяный, Д.Ю.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Очеретяный, Д.Ю.
Опубліковано: (2009)
Система коммутации с распределенным управлением
за авторством: Сигарев, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Сигарев, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Система протеолиза у пациентов с диспластическими невусами
за авторством: Прохоров, Д.В.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Прохоров, Д.В.
Опубліковано: (2012)
Индукционная индукторная система с двойным витком
за авторством: Батыгин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Батыгин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Информационно-аналитическая система Национального космического агентства Украины
за авторством: Колесник, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Колесник, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Система распознавания пешехода с помощью одной видеокамеры
за авторством: Куссуль, М.Э., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Куссуль, М.Э., та інші
Опубліковано: (2006)
Электронная система принятия решений в среде с нечеткой исходной информацией
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2000)
Бистатическая радиолокационная система с использованием радиосигналов геостационарных искусственных спутников Земли
за авторством: Мыценко, И.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Мыценко, И.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Высокоточная квазиитерационная двухканальная электромеханическая система с механическим дифференциалом
за авторством: Худяев, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Худяев, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Система стабилизации маятниковой установки с сигнальной настройкой
за авторством: Шпилевая, О.Я.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Шпилевая, О.Я.
Опубліковано: (2008)
Система дифференциальных уравнений с сильной точкой поворота
за авторством: Бобочко, В.Н.
Опубліковано: (1997)
за авторством: Бобочко, В.Н.
Опубліковано: (1997)
Система распознавания изображений с растущими клеточными слоями
за авторством: Белан, С.Н.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Белан, С.Н.
Опубліковано: (2010)
Многоканальная аналого-цифровая система для регистрации импульсных низкочастотных сигналов на основе избыточного цифро-аналогового преобразователя
за авторством: Азаров, А.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Азаров, А.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
Многопроцессорная система реализации бинаурального слуха с массивом микрофонов
за авторством: Поливцев, С.А.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Поливцев, С.А.
Опубліковано: (2009)
ВЫСОКОТОЧНАЯ КВАЗИИТЕРАЦИОННАЯ ДВУХКАНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА С МЕХАНИЧЕСКИМ ДИФФЕРЕНЦИАЛОМ
за авторством: Худяев, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Худяев, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
ВЫСОКОТОЧНАЯ КВАЗИИТЕРАЦИОННАЯ ДВУХКАНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА С МЕХАНИЧЕСКИМ ДИФФЕРЕНЦИАЛОМ
за авторством: Худяев, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Худяев, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Высоковольтная система изоляции с повышенной теплопроводностью для турбогенераторов
за авторством: Федоренко, Г.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Федоренко, Г.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Система передачи данных с шифрованием хаотическими последовательностями
за авторством: Politans’kyy, R. L., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Politans’kyy, R. L., та інші
Опубліковано: (2014)
Система стабилизации маятниковой установки с сигнальной настройкой
за авторством: Shpilevaya, O. Ya.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Shpilevaya, O. Ya.
Опубліковано: (2008)
Система уголь-метан в условиях высоких газовых давлений
за авторством: Алексеев, А.Д., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Алексеев, А.Д., та інші
Опубліковано: (2011)
Система автоматической подстройки частоты гетеродина приемника радиолокационной станции с магнетронным передатчиком
за авторством: Мыценко, И.М., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Мыценко, И.М., та інші
Опубліковано: (2018)
Система энергетической компрессии
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Система знань
за авторством: Мардер, А.
Опубліковано: (2022)
за авторством: Мардер, А.
Опубліковано: (2022)
Схожі ресурси
-
Цилиндрическая магнитоэлектрическая машина возвратно-поступательного движения
за авторством: Гребеников, В.В., та інші
Опубліковано: (2009) -
Синтез робастного регулятора системы управления "пастуха с ионным лучом"
за авторством: Хорошилов, С.В.
Опубліковано: (2017) -
Анализ робастности системы управления относительным движением «пастуха с ионным лучом»
за авторством: Хорошилов, С.В.
Опубліковано: (2018) -
Определение оптимального положения "пастуха с ионным лучом" относительно объекта космического мусора
за авторством: Алпатов, А.П., та інші
Опубліковано: (2015) -
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
за авторством: Шпак, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)