Cover Image

Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием

Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазме...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Техническая механика
Date:2013
Main Author: Гришкевич, А.Д.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут технічної механіки НАН України і НКА України 2013
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88396
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А.Д. Гришкевич // Техническая механика. — 2013. — № 2. — С. 109-115. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items