Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием
Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазме...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Техническая механика |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України
2013
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88396 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А.Д. Гришкевич // Техническая механика. — 2013. — № 2. — С. 109-115. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |