Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием
Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазме...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Техническая механика |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| 1. Verfasser: | Гришкевич, А.Д. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України
2013
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88396 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А.Д. Гришкевич // Техническая механика. — 2013. — № 2. — С. 109-115. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Цилиндрическая магнитоэлектрическая машина возвратно-поступательного движения
von: Гребеников, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Гребеников, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Синтез робастного регулятора системы управления "пастуха с ионным лучом"
von: Хорошилов, С.В.
Veröffentlicht: (2017)
von: Хорошилов, С.В.
Veröffentlicht: (2017)
Анализ робастности системы управления относительным движением «пастуха с ионным лучом»
von: Хорошилов, С.В.
Veröffentlicht: (2018)
von: Хорошилов, С.В.
Veröffentlicht: (2018)
Определение оптимального положения "пастуха с ионным лучом" относительно объекта космического мусора
von: Алпатов, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Алпатов, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
von: Шпак, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Шпак, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
von: Соболь, О.В.
Veröffentlicht: (2008)
von: Соболь, О.В.
Veröffentlicht: (2008)
Модификация поверхности сплава Э110 осаждением многослойных Zr/ZrN покрытий и ионным облучением
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Наноструктурированные покрытия как альтернатива гальваническому хромированию внутренних поверхностей
von: Гришкевич, А.Д.
Veröffentlicht: (2013)
von: Гришкевич, А.Д.
Veröffentlicht: (2013)
Исследование зависимости усталости магнетронного хромового покрытия от его механических свойств
von: Гришкевич, А.Д.
Veröffentlicht: (2014)
von: Гришкевич, А.Д.
Veröffentlicht: (2014)
Разработка комбинированной технологии упрочнения деталей
von: Гришкевич, А.Д.
Veröffentlicht: (2017)
von: Гришкевич, А.Д.
Veröffentlicht: (2017)
Покрытия Me-Cr-Al-Y, полученные атомно-ионным распылением (АИР) в условиях электродуговой и высокочастотной ионизации
von: Картмазов, Г.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Картмазов, Г.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Магнетронное формирование и применение интенсивных потоков газометаллической плазмы
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)
Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)
Разработка плазменных технологических устройств для комбинированной технологии упрочнения деталей
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Применение магнетронных устройств в комплексной плазменно-иммерсионной технологии обработки поверхности
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)
Система передачи данных с шифрованием хаотическими последовательностями
von: Политанский, Р.Л., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Политанский, Р.Л., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Технологические плазменные устройства на основе разряда с замкнутым дрейфом электронов. Разработка и применение
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Система теплоснабжения с солнечным крышным коллектором
von: Очеретяный, Д.Ю.
Veröffentlicht: (2009)
von: Очеретяный, Д.Ю.
Veröffentlicht: (2009)
Система коммутации с распределенным управлением
von: Сигарев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Сигарев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Система протеолиза у пациентов с диспластическими невусами
von: Прохоров, Д.В.
Veröffentlicht: (2012)
von: Прохоров, Д.В.
Veröffentlicht: (2012)
Индукционная индукторная система с двойным витком
von: Батыгин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Батыгин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Информационно-аналитическая система Национального космического агентства Украины
von: Колесник, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Колесник, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)
Система распознавания пешехода с помощью одной видеокамеры
von: Куссуль, М.Э., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Куссуль, М.Э., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Электронная система принятия решений в среде с нечеткой исходной информацией
von: Скубилин, М.Д., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Скубилин, М.Д., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Бистатическая радиолокационная система с использованием радиосигналов геостационарных искусственных спутников Земли
von: Мыценко, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Мыценко, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Высокоточная квазиитерационная двухканальная электромеханическая система с механическим дифференциалом
von: Худяев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Худяев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Система стабилизации маятниковой установки с сигнальной настройкой
von: Шпилевая, О.Я.
Veröffentlicht: (2008)
von: Шпилевая, О.Я.
Veröffentlicht: (2008)
Система дифференциальных уравнений с сильной точкой поворота
von: Бобочко, В.Н.
Veröffentlicht: (1997)
von: Бобочко, В.Н.
Veröffentlicht: (1997)
Система распознавания изображений с растущими клеточными слоями
von: Белан, С.Н.
Veröffentlicht: (2010)
von: Белан, С.Н.
Veröffentlicht: (2010)
Многопроцессорная система реализации бинаурального слуха с массивом микрофонов
von: Поливцев, С.А.
Veröffentlicht: (2009)
von: Поливцев, С.А.
Veröffentlicht: (2009)
Многоканальная аналого-цифровая система для регистрации импульсных низкочастотных сигналов на основе избыточного цифро-аналогового преобразователя
von: Азаров, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Азаров, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)
ВЫСОКОТОЧНАЯ КВАЗИИТЕРАЦИОННАЯ ДВУХКАНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА С МЕХАНИЧЕСКИМ ДИФФЕРЕНЦИАЛОМ
von: Худяев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Худяев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Высоковольтная система изоляции с повышенной теплопроводностью для турбогенераторов
von: Федоренко, Г.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Федоренко, Г.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Система передачи данных с шифрованием хаотическими последовательностями
von: Politans’kyy, R. L., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Politans’kyy, R. L., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Система стабилизации маятниковой установки с сигнальной настройкой
von: Shpilevaya, O. Ya.
Veröffentlicht: (2008)
von: Shpilevaya, O. Ya.
Veröffentlicht: (2008)
Система уголь-метан в условиях высоких газовых давлений
von: Алексеев, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Алексеев, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Система автоматической подстройки частоты гетеродина приемника радиолокационной станции с магнетронным передатчиком
von: Мыценко, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Мыценко, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Система энергетической компрессии
von: Довбня, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Довбня, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Система знань
von: Мардер, А.
Veröffentlicht: (2022)
von: Мардер, А.
Veröffentlicht: (2022)
Система питания машин для контактной сварки с транзисторным инвертором
von: Лебедев, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Лебедев, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2003)
Ähnliche Einträge
-
Цилиндрическая магнитоэлектрическая машина возвратно-поступательного движения
von: Гребеников, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009) -
Синтез робастного регулятора системы управления "пастуха с ионным лучом"
von: Хорошилов, С.В.
Veröffentlicht: (2017) -
Анализ робастности системы управления относительным движением «пастуха с ионным лучом»
von: Хорошилов, С.В.
Veröffentlicht: (2018) -
Определение оптимального положения "пастуха с ионным лучом" относительно объекта космического мусора
von: Алпатов, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2015) -
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
von: Шпак, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)