Технологические плазменные устройства на основе разряда с замкнутым дрейфом электронов. Разработка и применение

• Published in: Техническая механика
• Date: 2013
• Main Authors: Гришкевич, А.Д., Гринюк, С.И., Коваленко, В.В., Кучугурный, Ю.П.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут технічної механіки НАН України і НКА України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88415
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Технологические плазменные устройства на основе разряда с замкнутым дрейфом электронов. Разработка и применение / А.Д. Гришкевич, C.И. Гринюк, В.В. Коваленко, Ю.П. Кучугурный // Техническая механика. — 2013. — № 4. — С. 43-57. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Настоящая работа выполнена в Институте технической механики Национальной академии наук Украины и Государственного космического агентства Украины. Цель работы – разработка технологии и технологических устройств для нанесения наноструктурированных покрытий, взамен использующихся в промышленности в нас...