The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2009
• Main Authors: Zykova, A., Safonov, V., Walkowich, J., Rogowska, R., Yakovin, S.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Subjects: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88640
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: The influence of deposition technological process
 parameters on surface properties
 of multilayer coatings / A. Zykova, V. Safonov, J. Walkowich, R. Rogowska, S. Yakovin // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 159-161. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

The surface of material plays a basic role in determining of various processes such dyeing penetration, chemical
 absorption, biocompatibility and others. At present study the surface parameters investigation for various multilayer
 coating types TiN, CrN, (Ti,Cr)N, TiN/TiC₁₀N₉₀, T...