Зображення обкладинки

Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift

Наведено результати технологічних випробувань плазмохімічного реактора (ПХР) з замкнутим дрейфом електронів, розробленого в ІЯД НАНУ. Досліджена залежність швидкості травлення монокремнію від робочого тиску в ПХР. Знайдено, що при незмінному потоці подачі робочого газу в реактор і зміні тиску в...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2009
Автори:	Fedorovich, O.A., Kruglenko, M.P., Polozov, B.P.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88642
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift / O.A. Fedorovich, M.P. Kruglenko, B.P. Polozov // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 148-149. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

The empirical formula of dependence of factor of disintegration of nonideal plasma from electrons concentration
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2011)

About unrealization of tungsten lines up to the ground state in the nonideal plasma of pulse discharges in water
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)

Ozone decay in chemical reactor with the developed inner surface
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)

On features of the radiation from pulsed discharges initiated by thick wires in water
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Researching of acoustic waves in plasma-liquid system with pulsed discharge
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

On a possibility of creation of positive space charge cloud in a system with magnetic insulation of electrons
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2009)

The obtaining and properties investigation of plasma formation at pulse discharge in water aerosol
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

The research of double-pulse discharge in a plasma-liquid system with cylindrical geometry
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)

Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)

Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics
за авторством: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Опубліковано: (2012)

Behavior of molybdenum target in condition of irradiation by the high current relativistic electron beam
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2018)

Anodic electron sheaths in low pressure hollow cathode discharge with large size anode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)

Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of electron cut-off in a cylindrical electrode system in pulsed magnetic field of an inductor
за авторством: Drozd, I., та інші
Опубліковано: (2018)

Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Electron energy probability function and dust charge in the temporal afterglow of a plasma with large dust density
за авторством: Denysenko, I.B., та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of corona discharge on paraffin combustion
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Plasma-liquid system with reverse vortex flow of “tornado” type (TORNADO-LE)
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Plasma-catalytic system with wide-aperture rotating gliding discharge
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Plasma catalysis of chemical reactions
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2014)

Influence of plasma on surface tension of hydrocarbons
за авторством: Fedirchyk, I.I., та інші
Опубліковано: (2015)

On the transport properties of a nonideal plasma of underwater discharges
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2011)

On the equation of state and properties of the plasma in underwater discharges
за авторством: Porytskyy, P.V., та інші
Опубліковано: (2017)

On the peculiarities of the transport properties of multicomponent nonideal plasma of underwater discharges at high pressure
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2015)

Hybrid plasma-catalytic reforming of ethanol aerosol
за авторством: Solomenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Plasma chemistry for concept of sustainable development
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2017)

On the peculiarities of electrical conductivity in ARC plasma containing stainless steel and tungsten
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2018)

On the influence of tungsten impurities on the transport properties of thermal plasma
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2010)

On the influence of beryllium impurities on the transport properties of multicomponent arc plasma
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2014)

Automatic programmable air ozonizer
за авторством: Gubarev, S.P., та інші
Опубліковано: (2015)

Current cathode spots in the glow discharge normal regime as a stationary dissipative structure: macroscopic parameters
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2011)