Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Соболь, О.В., Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Турбин, П.В., Мамон, В.В., Лавриненко, С.Д., Фурсова, Е.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Schlagworte: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90766
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 158-161. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения. Методами растрової електронної мікроскопії, рентгенофазового та рентгеноспектрального аналізу вивчені особливості структуроутворення покриттів системи Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим осадженням. Встановлено залежність складу та властивостей покриттів від технологічних параметрів осадження. The characteristic of structure formation of Zr-Ti-Si-N coatings system formed by the method of the vacuum-arc deposition was investigated by the methods of raster electronic microscopy, and X-ray spectrometry analysis. Dependences of composition and properties of coatings on the technological parameters of deposition were shown.