Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения. Ме...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90766 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 158-161. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859646926923759616 |
|---|---|
| author | Соболь, О.В. Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Турбин, П.В. Мамон, В.В. Лавриненко, С.Д. Фурсова, Е.В. |
| author_facet | Соболь, О.В. Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Турбин, П.В. Мамон, В.В. Лавриненко, С.Д. Фурсова, Е.В. |
| citation_txt | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 158-161. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов
изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым
осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения.
Методами растрової електронної мікроскопії, рентгенофазового та рентгеноспектрального аналізу
вивчені особливості структуроутворення покриттів системи Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим осадженням. Встановлено залежність складу та властивостей покриттів від технологічних параметрів осадження.
The characteristic of structure formation of Zr-Ti-Si-N coatings system formed by the method of the vacuum-arc
deposition was investigated by the methods of raster electronic microscopy, and X-ray spectrometry analysis. Dependences
of composition and properties of coatings on the technological parameters of deposition were shown.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:29:08Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 539.51(075.8)
ОСОБЕННОСТИ СТРУКТУРНО-ФАЗОВОГО СОСТОЯНИЯ
МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ Zr-Ti-Sі-N,
ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ОСАЖДЕНИЯ
В.М. Береснев1, О.В. Соболь2, А.Д. Погребняк3, П.В. Турбин1, В.В. Мамон2,
С.Д. Лавриненко4, Е.В. Фурсова1
1Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, Харьков, Украина;
2Национальный технический университет ХПИ, Харьков, Украина;
3Сумской институт модификации поверхности, Сумы, Украина
E-mail: apogrebnjak@simp.sumy.ua;
4Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт»,
Харьков, Украина
Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов
изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым
осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаж-
дения.
ВВЕДЕНИЕ
Магнетронное распыление и вакуумно-дуговое
осаждение являются основными методами нанесе-
ния покрытий, которые позволяют в широких пре-
делах целенаправленно модифицировать поверхно-
стные свойства конструкционных материалов.
Особый интерес представляет получение покры-
тий на основе нитридов переходных металлов групп
IVА−VIA, характеризующихся высокой твердостью,
термопрочностью и хорошей коррозионной стойко-
стью. Еще сравнительно недавно наиболее универ-
сальным по условиям получения материала с высо-
кой твердостью и хорошими механическими харак-
теристиками считался нитрид титана. Прогресс в
направлении улучшения эксплуатационных харак-
теристик этого типа материалов в основном касался
разработки новых, более эффективных методов на-
несения TiN-покрытий, обеспечивающих высокую
твердость и работоспособность. Однако появление
работ (например [1]) по аномально высокой твердо-
сти нитридных покрытий при добавлении в распы-
ляемую мишень кремниевой составляющей привело
к повышению интереса к материаловедческим осно-
вам получения нового типа покрытий. Изначально
введение кремния в качестве примесных атомов в
нитрид титана предполагало повышение его термо-
стойкости, что и было установлено в работе [2] для
покрытий состава (Ti0,7, Si0,3)N. При этом добавле-
ние атомов кремния в количестве 4…15 ат.% приве-
ло [3] к значительному росту твердости, достигаю-
щей в случае магнетронного метода напыления
39…45 ГПа, а при более высокой степени иониза-
ции и использовании при осаждении высокоэнерге-
тической ионной бомбардировки - до 70…80 ГПа
[4]. Такое увеличение твердости объясняется дейст-
вием двух факторов при скоростной закалке, харак-
терной для получения материалов из ионно-
плазменных потоков. В данном случае нанометро-
вый диапазон размеров формируемых кристаллитов
и образование в результате расслоения твердого
раствора демпфирующих (со структурой, близкой к
аморфной) прослоек нитрида кремния, толщиной
1…1,5 нм, полностью окружающих твердые кри-
сталлиты нитрида титана [5].
Также более высокой по сравнению с исходными
составляющими оказалась твердость покрытий дру-
гой тройной системы Zr-Ti-N. Кроме того, исследо-
вания, проведенные в работах [6, 7] показали, что
добавление атомов циркония к нитриду титана при-
водит к повышению износостойкости покрытия по
сравнению с TiN, TiC и (Ti, Al)N, которые, как из-
вестно, также обладают высокой износостойкостью.
Данное явление объясняется как стабилизационным
эффектом присутствия циркониевых атомов для
кристаллической решетки нитрида титана, так и об-
разованием очень тонкого слоя оксида циркония на
поверхности покрытия [8]. В результате уменьшает-
ся диффузионный износ – один из главных факторов
износа при резании.
В настоящее время основными тенденциями в
разработке новых сверхтвердых защитных покры-
тий являются попытки объединения наилучших
свойств покрытий трехэлементных систем для фор-
мирования на их основе четырехэлементных [9].
Целью данной работы является исследование
особенностей морфологии роста, структурно-
фазового состояния и элементного состава покры-
тий четырехэлементной системы Zr-Ti-Si-N как раз-
витие рассмотренных ранее трехэлементных систем
типа Ti-Si-N и Zr-Ti-N, обладающих высокими фи-
зико-механическими свойствами.
МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Покрытия наносились методом вакуумно-
дугового осаждения с помощью установки «Булат-
6» на образцы из нержавеющей стали Х18Н9Т без
дополнительного подогрева подложки. В качестве
реакционного газа использовался молекулярный
азот. Испаряемый материал представлял собой
цельнолитые мишени Zr-Ti-Si составов: Zr – 65 ат.
%, Ti – 25 ат. %, Si – 10 ат. % и Zr – 78 ат. %, Ti –
10 ат. %, Si – 12 ат. %.
158
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2009. №6.
Серия: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (18), с. 158-161.
mailto:apogrebnjak@simp.sumy.ua
Потенциал смещения подавался на подложку от
ВЧ-генератора, который генерировал импульсы за-
тухающих колебаний с частотой < 1кГц, длительно-
стью каждого импульса ∼60 мкс и частотой повто-
рений ∼10 кГц. Величина отрицательного автосме-
щения потенциала на подложке благодаря ВЧ диод-
ному эффекту составляла 2 кВ в начале импульса
(после срабатывания разрядника) и снижалась до
100 В на конечном участке импульса (перед сраба-
тыванием разрядника).
Элементный состав образцов полученного по-
крытия исследовался с помощью рентгеноспек-
трального метода на установке СПРУТ (Украина).
Исследование морфологии и элементного состава
поверхности покрытия проводилось сканирующим
электронным микроскопом (REMMA-103M) SEM с
помощью рентгеновского энергодисперсионного
спектрометра ЕDS и рентгеновского волнового
спектрометра WDS-2.
РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
С целью изучения особенности структурно-
фазового состояния многокомпонентных покрытий
на основе системы Zr-Ti-Si-N и определения влия-
ния технологических условий на их формирование
были получены образцы покрытий трех серий.
1. Покрытия, полученные путем осаждения из
мишени Zr-Ti-Si состава: Zr − 65 ат. %, Ti – 25 ат. %,
Si – 10 ат. % при давлении молекулярного азота в
рабочей камере 3⋅10-3 Торр, Uсм
ВЧ = -100 В.
2. Покрытия, полученные путем осаждения из
мишени Zr-Ti-Si состава: Zr − 78 ат. %, Ti – 10 ат. %,
Si – 12 ат. % при давлении молекулярного азота в
рабочей камере 3⋅10-3 Торр, Uсм
ВЧ = -100 В.
3. Покрытия, полученные путем осаждения из
мишени Zr-Ti-Si состава: Zr − 78 ат. %, Ti – 10 ат. %,
Si – 12 ат. % при давлении молекулярного азота в
рабочей камере 6⋅10-3 Торр, Uсм
ВЧ = -200 В.
Исследовалось не менее 5 образцов из каждой
серии. Покрытия первой серии, полученные ваку-
умно-дуговым осаждением мишени Zr-Ti-Si состава:
Zr − 65 ат. %, Ti – 25 ат. %, Si – 10 ат. %, наносились
на полированную стальную подложку диаметром 30
мм, толщиной 5 мм без дополнительного подогрева
подложки и имели толщину 3…5 мкм. В качестве
реакционного газа использовался молекулярный
азот.
На рис. 1 приведен типичный энергодисперсион-
ный рентгеновский спектр поверхности, характери-
зующий состав покрытия.
Рис. 1. Энергодисперсионный рентгеновский спектр
конденсатов покрытия Zr-Ti-Si-N
(образцы первой серии)
Обобщение результатов для разных участков по-
казывает, что концентрация азота изменяется от 3,16
до 4,22 мас. %; кремния − от 0,66 до 0,68 мас. %;
титана − от 12,29 до 13,52 мас. %; а циркония − от
73,90 до 77,91 мас. % (присутствие в спектре Fe оп-
ределяется материалом подложки).
Полученные результаты указывают на то, что
азота в покрытии достаточно много, и это позволяет
ему участвовать в образовании нитридов Zr и Ti или
твердого раствора (Zr, Ti)N. Содержание кремния
относительно невелико, однако, если учитывать ре-
зультаты [9], то концентрации Si в районе (6…7)
ат. % достаточно для образования фаз силицонитри-
дов.
Анализ фазового состава конденсатов системы
Zr-Ti-Si-N показал, что в исходном постконденсаци-
онном состоянии выявляются кристаллиты твердого
раствора (Zr, Ti)N на основе кубической решетки со
структурой типа NaCl. Кристаллиты (Zr, Ti)N твер-
дого раствора находятся под действием сжимающих
упругих макронапряжений системы «конденсат-
подложка». Сжимающие напряжения в плоскости
роста конденсата определяют развитие деформации
сжатия кристаллической решетки, достигающей
величины – 2,9 %. При характерном модуле упруго-
сти конденсата Е ≈ 400 ГПa и коэффициенте Пуассо-
на 0,28 [10] полученная деформация соответствует
действию напряжений сжатия величиной
σсж ≈−8,5 ГПa. Отметим, что такие достаточно высо-
кие значения напряжений свойственны конденсатам
нитридов, полученных в условиях действия высоко-
го радиационного фактора [11]. Используя мишень с
меньшим содержанием титана по составу: Zr – 78 ат.
%, Ti – 10 ат. %, Si – 12 ат. %, исследовали влияние
давления рабочей атмосферы (молекулярный азот) и
величины потенциала смещения в оптимальном ин-
тервале –(100…200) В. В 1-м случае давление моле-
кулярного азота в рабочей камере составляло 3·10-
3Торр, Uсм
ВЧ
= -100 В, а во 2-м - 6·10-3Торр при Uсм
ВЧ
= -200 В.
Таким образом, были получены образцы конден-
сатов второй и третей серий. По данным элементно-
го микроанализа конденсат второй серии состоял из
35...40 ат. % (6,5...7,5 мас. %) атомов азота,
2,5...2,7 ат. % кремния (1,0...1,2 мас. %),
4,5...4,8 ат. % титана и 55...58 ат. % циркония
(рис. 2). Видно, что наибольшее относительное
обеднение по пленкообразующим атомам распы-
ляемой мишени присуще атомам кремния.
Рис. 2. Энергодисперсионный рентгеновский спектр
конденсатов покрытия Zr-Ti-Si-N
(образцы второй серии)
159
В таблице приведен (в пересчете для тяжелых
атомов, составляющих конденсат) элементный со-
став рассматриваемого покрытия, полученный с
использованием методов энергодисперсионной
спектрометрии и рентгенофлуоресцентного эле-
ментного анализа.
Элементный состав исследуемого конденсата
Метод исследования Si,
ат. %
Ti,
ат. %
Zr,
ат. %
Энергодисперсионная
спектрометрия 3,5 6,5 90
Рентгенофлуоресцентный
элементный анализ 2,5 3,0 94,5
Как следует из таблицы, данные об элементном
составе, полученные с помощью энергодисперсион-
ной спектрометрии, достаточно хорошо согласуются
с результатами рентгенофлуоресцентного элемент-
ного анализа покрытий, и демонстрируют очень
близкие значения состава материала второй серии
образцов. По сравнению с распыляемой мишенью
наибольшее относительное обеднение в пересчете
по тяжелым атомам присуще атомам кремния и ти-
тана.
Таким образом, на основе полученных данных
можно сделать вывод о том, что используемые ре-
жимы получения покрытий приводят к существен-
ному обеднению конденсата относительно легкими
элементами мишени: кремнием и титаном. Причем
преимущественно обедняется конденсат наиболее
легкими атомами кремния.
Для образцов третьей серии относительное обед-
нение кремниевыми атомами усиливается. Путем
усреднения значений процентных составляющих
элементного состава для выборки из 5 образцов по-
крытий третьей серии был получен такой элемент-
ный состав: 1,6 ат. % кремния; 8,3 ат. % титана;
90,1 ат. % циркония в пересчете для тяжелых ато-
мов. Также повышается и среднее значение попа-
дающих из распыляющей атмосферы атомов азота,
содержание которых в конденсате становится близ-
ким к стехиометрическому ХN (где X – Zr-Si-Ti)
составу.
Сравнивая элементный состав конденсатов по-
крытий второй и третьей серий можно увидеть, что
у образцов второй серии количество атомов кремния
и титана практически совпадают. Для образцов тре-
тей серии, полученных при более высоком давлении
N2 атмосферы, характерно существенное увеличе-
ние доли атомов титана и некоторое уменьшение
доли атомов кремния. При этом содержание атомов
циркония для образцов обеих серий осталось прак-
тически неизменным.
Увеличение содержания атомов титана в конден-
сатах третей серии объясняется, по-видимому, по-
вышением эффективности взаимодействия атомов
титана с азотом в приповерхностной области.
На рис. 3 приведены РЭМ-снимки сечения кон-
денсатов образцов второй серии и показаны: общий
вид структуры поверхности при увеличении в 10000
раз (см. рис. 3,а); общий вид структуры поверхности
при увеличении в 20000 раз с указанием средней
толщины покрытия (см. рис. 3,б).
Поглощение интенсивности флуоресценции при
рентгенофлуоресцентном анализе от элемента под-
ложки и основного металлического элемента кон-
денсата может служить в качестве метода определе-
ния толщины пленки. Для информативных сигналов
от содержащих цирконий конденсатов на стальной
подложке можно использовать аналитические линии
Fe-Kα и Zr-Kα.
а
б
Рис. 3. РЭМ-снимки сечения конденсатов образцов
второй серии: а - общий вид структуры
поверхности при ×10000; б - общий вид структуры
поверхности ×20000 с указанием средней толщины
покрытия
Зависимость интенсивности флуоресценции от
толщины образца представляется в следующем виде
[12]:
(2 0 1i
dI I e )γ−
= ⋅ − , (1)
где I2i – интенсивность флуоресценции от образца;
γ − приведенная относительная плотность; d – тол-
щина образца; I0 – интенсивность насыщения. Если
использовать интенсивность насыщения в качестве
градуировки, можно вычислить толщину образца:
)1ln(1
0
2
I
Id i−−=
γ
. (2)
При малой толщине образца можно принять, что
при γd << 1, и интенсивность флуо-
ресценции от образца примет вид: I
de d γγ −=− 1
2i = I0⋅γ⋅d.
Следует отметить, что значение толщины, полу-
ченное как по ослаблению Fe-Kα, так и по ослабле-
нию Zr-Kα, для исследуемых пленок обеих серий с
точностью до 0,2 мкм совпадало между собой.
Для второй серии образцов, полученных при бо-
лее низком давлении распыляющего газа, толщина
покрытия варьировалась в пределах 2,9…3,2 мкм.
Образцы третьей серии были тоньше, их толщи-
на составляла 2,6…2,9 мкм.
Визуализирующие РЭМ-снимки показывают
толщину конденсата 3,2…3,9 мкм (см. рис. 3,б).
Общий вид морфологии поверхности конденсата
(рис. 4, а) и увеличенный вид образования капель-
ной фазы на поверхности образца (см. рис. 4, б) по-
казывают, что полученное расхождение можно объ-
яснить неоднородностью толщины конденсата, при-
водящей к формированию капельной фазы и микро-
участков с «выбоинами».
160
2. O. Knotek, T. Leyendeker, F. Jugblut. On the
properties of physically vapour-deposited Ti-Al-V-N
coatings // Thin Solid Films. 1987, v. 153, p. 83-90.
3. J. Patscheider. Nanocomposite Hard Coatings for
Wear Protections // MRS Bul. 2003, v. 28, p. 180-183.
4. В.В. Кунченко, Ю.В. Кунченко, Г.Н. Картма-
зов, И.М. Неклюдов и др. Наноструктурные сверх-
твердые nc-TiN/a-Si3N4-покрытия, полученные мето-
дом вакуумно-дугового осаждения // ВАНТ. Серия
«Физика радиационных повреждений и радиацион-
ное материаловедение». 2006, № 4, c. 185-190.
а
5. А.П. Шпак, И.О. Наконечная, Ю.А. Куницкий,
О.В. Соболь. Механические свойства покрытий на
основе титана. К.: ПЦ ИМФ НАНУ, 2005, 84 с.
6. D. Wang, C. Cang, C. Hsu, H. Lin. Synthesis of
(Ti, Zr)N hard coatings by unbalanced magnetron sput-
tering // Surf. Coat. Technol. 2000, v. 139, p. 64-68.
7. J. Grimberg, V.M. Zhitomirzsky, R.L. Bozman,
S. Goldsmith. Multicomponent Ti-Zr-N and Ti-Nb-N
coatings deposited by vacuum arc. // Surf. Coat.
Technol. 1998, v. 108-109, p. 154-159.
б
Рис. 4. РЭМ-снимки сечения конденсатов образцов
второй серии: а – морфология поверхности конден-
сата; б – капельная фаза на поверхности образца 8. O. Knotek, W. Muntz, T. Leyendeker. Industrial
deposition of binary, ternary and guaternary nitrides of
titanium, zirconium and aluminum // J. Vac. Sci.
Technol. 1987, v. A5, p. 2173-2179.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Исследованы особенности морфологии роста,
структурно-фазового состояния и элементного со-
става многоэлементных покрытий системы Zr-Ti-Sі-
N, полученных методом вакуумно-дугового осажде-
ния.
9. S. Veprek, M. Veprek-Heijmam, P. Karvankova,
J. Prochazka. Different approaches to superhard
coatings and nanocomposites // Thin Solid Films. 2005,
v. 476. p. 1-25.
Установлено, что изменением элементного со-
става исходной распыляемой мишени и условий
осаждения можно целенаправленно управлять со-
ставом рассматриваемых покрытий, размером кри-
сталлитов ZrN и TiN и толщиной получаемых по-
крытий.
10. В.А. Барвинок. Управление напряженным со-
стоянием и свойства плазменных покрытий. М.:
«Машиностроение», 1990, 384 с.
11. O.В. Соболь. Фазовый состав, структура и
напряженное состояние вольфрамовых слоев, фор-
мируемых из ионно-плазменных потоков // Физика
металлов и металловедение. 2001, т. 91, c. 63-71. ЛИТЕРАТУРА
12. М.А. Блохин. Методы рентгено-
спектральных исследований. М.: ГИФМЛ, 1959,
386 с.
1. S. Veprek, S. Reiprich. A concept for design nov-
el superhard coatings // Thin Solid Films. 1995, v. 268.
p. 64-71.
Статья поступила в редакцию 15.09.2009 г.
ОСОБЛИВОСТІ СТРУКТУРНО-ФАЗОВОГО СКЛАДУ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ
ПОКРИТТІВ НА ОСНОВІ Zr-Ti-Si-N, ОТРИМАНИХ МЕТОДОМ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО
ОСАДЖЕННЯ
В.М. Береснєв, О.В. Соболь, О.Д. Погребняк, П.В. Турбін, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, О.В. Фурсова
Методами растрової електронної мікроскопії, рентгенофазового та рентгеноспектрального аналізу
вивчені особливості структуроутворення покриттів системи Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим осад-
женням. Встановлено залежність складу та властивостей покриттів від технологічних параметрів осадження.
FEATURES OF THE STRUCTURALLY-PHASE STATE OF MULTICOMPONENT COATINGS ON
BASIS OF Zr-Ti-Sі-N SYSTEM FORMED BY THE METHOD OF THE VACUUM-ARC DEPOSITION
V.M. Beresnev, O.V. Sobol', A.D. Pogrebnjak, P.V. Turbin, V.V. Mamon, S.D. Lavrinenko, E.V. Fursova
The characteristic of structure formation of Zr-Ti-Si-N coatings system formed by the method of the vacuum-arc
deposition was investigated by the methods of raster electronic microscopy, and X-ray spectrometry analysis. De-
pendences of composition and properties of coatings on the technological parameters of deposition were shown.
159
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90766 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:29:08Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Соболь, О.В. Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Турбин, П.В. Мамон, В.В. Лавриненко, С.Д. Фурсова, Е.В. 2016-01-04T12:24:41Z 2016-01-04T12:24:41Z 2009 Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 158-161. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90766 539.51(075.8) Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения. Методами растрової електронної мікроскопії, рентгенофазового та рентгеноспектрального аналізу вивчені особливості структуроутворення покриттів системи Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим осадженням. Встановлено залежність складу та властивостей покриттів від технологічних параметрів осадження. The characteristic of structure formation of Zr-Ti-Si-N coatings system formed by the method of the vacuum-arc deposition was investigated by the methods of raster electronic microscopy, and X-ray spectrometry analysis. Dependences of composition and properties of coatings on the technological parameters of deposition were shown. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения Особливості структурно-фазового складу багатокомпонентних покриттів на основі Zr-Ti-Si-N, отриманих методом вакуумно-дугового осадження Features of the structurally-phase state of multicomponent coatings on basis of Zr-Ti-Sі-N system formed by the method of the vacuum-arc deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения Соболь, О.В. Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Турбин, П.В. Мамон, В.В. Лавриненко, С.Д. Фурсова, Е.В. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_alt | Особливості структурно-фазового складу багатокомпонентних покриттів на основі Zr-Ti-Si-N, отриманих методом вакуумно-дугового осадження Features of the structurally-phase state of multicomponent coatings on basis of Zr-Ti-Sі-N system formed by the method of the vacuum-arc deposition |
| title_full | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_fullStr | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_full_unstemmed | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_short | Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения |
| title_sort | особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе zr-ti-sі-n, полученных методом вакуумно-дугового осаждения |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90766 |
| work_keys_str_mv | AT sobolʹov osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT beresnevvm osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT pogrebnâkad osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT turbinpv osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT mamonvv osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT lavrinenkosd osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT fursovaev osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT sobolʹov osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT beresnevvm osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT pogrebnâkad osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT turbinpv osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT mamonvv osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT lavrinenkosd osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT fursovaev osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ AT sobolʹov featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition AT beresnevvm featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition AT pogrebnâkad featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition AT turbinpv featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition AT mamonvv featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition AT lavrinenkosd featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition AT fursovaev featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition |