Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения

Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения. Ме...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2009
Main Authors: Соболь, О.В., Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Турбин, П.В., Мамон, В.В., Лавриненко, С.Д., Фурсова, Е.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90766
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 158-161. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90766
record_format dspace
spelling Соболь, О.В.
Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д.
Турбин, П.В.
Мамон, В.В.
Лавриненко, С.Д.
Фурсова, Е.В.
2016-01-04T12:24:41Z
2016-01-04T12:24:41Z
2009
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 158-161. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90766
539.51(075.8)
Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения.
Методами растрової електронної мікроскопії, рентгенофазового та рентгеноспектрального аналізу вивчені особливості структуроутворення покриттів системи Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим осадженням. Встановлено залежність складу та властивостей покриттів від технологічних параметрів осадження.
The characteristic of structure formation of Zr-Ti-Si-N coatings system formed by the method of the vacuum-arc deposition was investigated by the methods of raster electronic microscopy, and X-ray spectrometry analysis. Dependences of composition and properties of coatings on the technological parameters of deposition were shown.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика и технология конструкционных материалов
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
Особливості структурно-фазового складу багатокомпонентних покриттів на основі Zr-Ti-Si-N, отриманих методом вакуумно-дугового осадження
Features of the structurally-phase state of multicomponent coatings on basis of Zr-Ti-Sі-N system formed by the method of the vacuum-arc deposition
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
spellingShingle Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
Соболь, О.В.
Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д.
Турбин, П.В.
Мамон, В.В.
Лавриненко, С.Д.
Фурсова, Е.В.
Физика и технология конструкционных материалов
title_short Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
title_full Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
title_fullStr Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
title_full_unstemmed Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
title_sort особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе zr-ti-sі-n, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
author Соболь, О.В.
Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д.
Турбин, П.В.
Мамон, В.В.
Лавриненко, С.Д.
Фурсова, Е.В.
author_facet Соболь, О.В.
Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д.
Турбин, П.В.
Мамон, В.В.
Лавриненко, С.Д.
Фурсова, Е.В.
topic Физика и технология конструкционных материалов
topic_facet Физика и технология конструкционных материалов
publishDate 2009
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Особливості структурно-фазового складу багатокомпонентних покриттів на основі Zr-Ti-Si-N, отриманих методом вакуумно-дугового осадження
Features of the structurally-phase state of multicomponent coatings on basis of Zr-Ti-Sі-N system formed by the method of the vacuum-arc deposition
description Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения. Методами растрової електронної мікроскопії, рентгенофазового та рентгеноспектрального аналізу вивчені особливості структуроутворення покриттів системи Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим осадженням. Встановлено залежність складу та властивостей покриттів від технологічних параметрів осадження. The characteristic of structure formation of Zr-Ti-Si-N coatings system formed by the method of the vacuum-arc deposition was investigated by the methods of raster electronic microscopy, and X-ray spectrometry analysis. Dependences of composition and properties of coatings on the technological parameters of deposition were shown.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90766
citation_txt Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 158-161. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT sobolʹov osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT beresnevvm osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT pogrebnâkad osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT turbinpv osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT mamonvv osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT lavrinenkosd osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT fursovaev osobennostistrukturnofazovogosostoâniâmnogokomponentnyhpokrytiinaosnovezrtisínpolučennyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT sobolʹov osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT beresnevvm osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT pogrebnâkad osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT turbinpv osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT mamonvv osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT lavrinenkosd osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT fursovaev osoblivostístrukturnofazovogoskladubagatokomponentnihpokrittívnaosnovízrtisinotrimanihmetodomvakuumnodugovogoosadžennâ
AT sobolʹov featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition
AT beresnevvm featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition
AT pogrebnâkad featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition
AT turbinpv featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition
AT mamonvv featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition
AT lavrinenkosd featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition
AT fursovaev featuresofthestructurallyphasestateofmulticomponentcoatingsonbasisofzrtisínsystemformedbythemethodofthevacuumarcdeposition
first_indexed 2025-12-07T13:29:08Z
last_indexed 2025-12-07T13:29:08Z
_version_ 1850856333815840768