Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного
 пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак-...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862742237466591232 |
|---|---|
| author | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. |
| author_facet | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. |
| citation_txt | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного
пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак-
тивных газов. Рост тонких пленок Ag и Zn на поверхности подложки из Si(100) при различных условиях
изучался с использованием электронной микроскопии и обратного резерфордовского рассеяния. Проведено
сопоставление размеров зерна синтезированных пленок, измеренных разными методами.
Приведені експериментальні результати досліджень тонких плівок, одержаних методом осадження кластерного пучка на підкладинки з кремнію. Для синтезу плівок було використано джерело кластерного пучка з
лазерним випарюванням. Синтезувались кластери на основі металів в потоках інертних та реактивних газів.
Ріст плівок Ag та Zn на поверхні підкладинки з Si (100) при різних умовах їх синтезу вивчався за допомогою
електронної мікроскопії та резерфордівського зворотного розсіювання. Проведено порівняння розмірів зерна синтезованих плівок, виміряних різними методами.
The experimental results of researches of thin films obtained by a deposition of a cluster beam onto silicon substrates
are submitted in the work. For synthesis of the films the source of a cluster beam with laser vaporization was
used. Metallized clusters in the flows of inert and reactive gases were synthesized. The growth of thin films Ag and
Zn on the surface of Si (100) substrate under different conditions, was studied with usage of a electron-microscope
and Rutherford backscattering. The comparison of crystal grain sizes of synthesized films measured by various methods
was carried out.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:23:58Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90769 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:23:58Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. 2016-01-04T12:57:58Z 2016-01-04T12:57:58Z 2009 Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769 539.198.621.646 Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного
 пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак-
 тивных газов. Рост тонких пленок Ag и Zn на поверхности подложки из Si(100) при различных условиях
 изучался с использованием электронной микроскопии и обратного резерфордовского рассеяния. Проведено
 сопоставление размеров зерна синтезированных пленок, измеренных разными методами. Приведені експериментальні результати досліджень тонких плівок, одержаних методом осадження кластерного пучка на підкладинки з кремнію. Для синтезу плівок було використано джерело кластерного пучка з
 лазерним випарюванням. Синтезувались кластери на основі металів в потоках інертних та реактивних газів.
 Ріст плівок Ag та Zn на поверхні підкладинки з Si (100) при різних умовах їх синтезу вивчався за допомогою
 електронної мікроскопії та резерфордівського зворотного розсіювання. Проведено порівняння розмірів зерна синтезованих плівок, виміряних різними методами. The experimental results of researches of thin films obtained by a deposition of a cluster beam onto silicon substrates
 are submitted in the work. For synthesis of the films the source of a cluster beam with laser vaporization was
 used. Metallized clusters in the flows of inert and reactive gases were synthesized. The growth of thin films Ag and
 Zn on the surface of Si (100) substrate under different conditions, was studied with usage of a electron-microscope
 and Rutherford backscattering. The comparison of crystal grain sizes of synthesized films measured by various methods
 was carried out. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка Осадження тонкоплiвочных покриттів з використанням джерела кластерного пучка Deposition of thin-film coating with use of cluster beam source Article published earlier |
| spellingShingle | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Физика и технология конструкционных материалов |
| title | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_alt | Осадження тонкоплiвочных покриттів з використанням джерела кластерного пучка Deposition of thin-film coating with use of cluster beam source |
| title_full | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_fullStr | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_full_unstemmed | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_short | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_sort | осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| topic | Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet | Физика и технология конструкционных материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva osaždenietonkoplenočnyhpokrytiisispolʹzovaniemistočnikaklasternogopučka AT karpenkoaû osaždenietonkoplenočnyhpokrytiisispolʹzovaniemistočnikaklasternogopučka AT baturinva osadžennâtonkoplivočnyhpokrittívzvikoristannâmdžerelaklasternogopučka AT karpenkoaû osadžennâtonkoplivočnyhpokrittívzvikoristannâmdžerelaklasternogopučka AT baturinva depositionofthinfilmcoatingwithuseofclusterbeamsource AT karpenkoaû depositionofthinfilmcoatingwithuseofclusterbeamsource |