Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак- тивных...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90769 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. 2016-01-04T12:57:58Z 2016-01-04T12:57:58Z 2009 Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769 539.198.621.646 Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак- тивных газов. Рост тонких пленок Ag и Zn на поверхности подложки из Si(100) при различных условиях изучался с использованием электронной микроскопии и обратного резерфордовского рассеяния. Проведено сопоставление размеров зерна синтезированных пленок, измеренных разными методами. Приведені експериментальні результати досліджень тонких плівок, одержаних методом осадження кластерного пучка на підкладинки з кремнію. Для синтезу плівок було використано джерело кластерного пучка з лазерним випарюванням. Синтезувались кластери на основі металів в потоках інертних та реактивних газів. Ріст плівок Ag та Zn на поверхні підкладинки з Si (100) при різних умовах їх синтезу вивчався за допомогою електронної мікроскопії та резерфордівського зворотного розсіювання. Проведено порівняння розмірів зерна синтезованих плівок, виміряних різними методами. The experimental results of researches of thin films obtained by a deposition of a cluster beam onto silicon substrates are submitted in the work. For synthesis of the films the source of a cluster beam with laser vaporization was used. Metallized clusters in the flows of inert and reactive gases were synthesized. The growth of thin films Ag and Zn on the surface of Si (100) substrate under different conditions, was studied with usage of a electron-microscope and Rutherford backscattering. The comparison of crystal grain sizes of synthesized films measured by various methods was carried out. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка Осадження тонкоплiвочных покриттів з використанням джерела кластерного пучка Deposition of thin-film coating with use of cluster beam source Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| spellingShingle |
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Физика и технология конструкционных материалов |
| title_short |
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_full |
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_fullStr |
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_full_unstemmed |
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| title_sort |
осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка |
| author |
Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. |
| author_facet |
Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. |
| topic |
Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
| publishDate |
2009 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Осадження тонкоплiвочных покриттів з використанням джерела кластерного пучка Deposition of thin-film coating with use of cluster beam source |
| description |
Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного
пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак-
тивных газов. Рост тонких пленок Ag и Zn на поверхности подложки из Si(100) при различных условиях
изучался с использованием электронной микроскопии и обратного резерфордовского рассеяния. Проведено
сопоставление размеров зерна синтезированных пленок, измеренных разными методами.
Приведені експериментальні результати досліджень тонких плівок, одержаних методом осадження кластерного пучка на підкладинки з кремнію. Для синтезу плівок було використано джерело кластерного пучка з
лазерним випарюванням. Синтезувались кластери на основі металів в потоках інертних та реактивних газів.
Ріст плівок Ag та Zn на поверхні підкладинки з Si (100) при різних умовах їх синтезу вивчався за допомогою
електронної мікроскопії та резерфордівського зворотного розсіювання. Проведено порівняння розмірів зерна синтезованих плівок, виміряних різними методами.
The experimental results of researches of thin films obtained by a deposition of a cluster beam onto silicon substrates
are submitted in the work. For synthesis of the films the source of a cluster beam with laser vaporization was
used. Metallized clusters in the flows of inert and reactive gases were synthesized. The growth of thin films Ag and
Zn on the surface of Si (100) substrate under different conditions, was studied with usage of a electron-microscope
and Rutherford backscattering. The comparison of crystal grain sizes of synthesized films measured by various methods
was carried out.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769 |
| citation_txt |
Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT baturinva osaždenietonkoplenočnyhpokrytiisispolʹzovaniemistočnikaklasternogopučka AT karpenkoaû osaždenietonkoplenočnyhpokrytiisispolʹzovaniemistočnikaklasternogopučka AT baturinva osadžennâtonkoplivočnyhpokrittívzvikoristannâmdžerelaklasternogopučka AT karpenkoaû osadžennâtonkoplivočnyhpokrittívzvikoristannâmdžerelaklasternogopučka AT baturinva depositionofthinfilmcoatingwithuseofclusterbeamsource AT karpenkoaû depositionofthinfilmcoatingwithuseofclusterbeamsource |
| first_indexed |
2025-12-07T20:23:58Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:23:58Z |
| _version_ |
1850882432803274752 |