Cover Image

Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка

Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак-...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Вопросы атомной науки и техники
Date:	2009
Main Authors:	Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Subjects:	Физика и технология конструкционных материалов
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Экспериментальная установка для получения кластерных пучков
by: Батурин, В.А., et al.
Published: (2006)

Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
by: Хороших, В.М., et al.
Published: (2008)

Определение коэффициента поглощения йода углеродными материалами адсорберов систем вентиляции АЭС с использованием стабильных изотопов
by: Левенец, В.В., et al.
Published: (2016)

Исследование особенностей нанокристаллического строения сверхтвердых покрытий мононитрида титана
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2009)

Трибологическое поведение двухкомпонентных металлических покрытий на основе нитрида титана с различным содержанием олова
by: Газизова, М.Ю., et al.
Published: (2018)

Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
by: Грицына, В.И., et al.
Published: (2018)

Элементный состав и толщины покрытий для защиты сплава Zr1Nb от насыщения водородом
by: Толстолуцкая, Г.Д., et al.
Published: (2014)

Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2011)

Выплавка сплава КТЦ-110 в электронно-лучевой гарнисажной установке с использованием пушки высоковольтного тлеющего разряда
by: Лавриненко, С.Д., et al.
Published: (2014)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
by: Лучанинов, А.А., et al.
Published: (2018)

Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
by: Выровец, И.И., et al.
Published: (2008)

Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
by: Коваленко, В.И., et al.
Published: (2008)

Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2018)

Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N
by: Грудницкий, В.В., et al.
Published: (2011)

Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
by: Батурин, В.А., et al.
Published: (2006)

Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
by: Торяник, И.Н., et al.
Published: (2014)

Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2009)

Смещение комптоновского пика при увеличении содержания углерода в стали
by: Михайлов, И.Ф., et al.
Published: (2006)

Сравнение двух рентгеновских методов измерения углерода в стали: по флуоресценции и рассеянию
by: Михайлов, И.Ф., et al.
Published: (2009)

Влияние потенциала смещения и давления азота на структурно-напряженное состояние и свойства нитридных покрытий, полученных испарением высокоэнтропийных сплавов вакуумно-дуговым методом
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2014)

Сорбционное концентрирование металлов для сверхкритической экстракции с рентгенофлуоресцентным аналитическим окончанием
by: Цымбал, В.А., et al.
Published: (2009)

Графит с пироуглеродной пропиткой в тепловой зоне для выращивания профилованного сапфира
by: Андреев, Е.П., et al.
Published: (2008)

Микроструктура и коэрцитиметрия шва сварного соединения коллектора с корпусом парогенератора на энергоблоке ВВЭР-1000
by: Ожигов, Л.С., et al.
Published: (2016)

Исследование взаимодействия водорода с быстрозакалённым сплавом Nd₈₀Fe₂₀
by: Бобров, Ю.П., et al.
Published: (2009)

Особенности механической релаксации азота в сплавах ниобий-вольфрам, закаленных от высоких температур
by: Бахрушин, В.Е., et al.
Published: (2006)

Влияние термических обработок на процессы механической релаксации в твердых растворах внедрения на основе ниобия
by: Бахрушин, В.Е., et al.
Published: (2002)

Некоторые характеристики усовершенствованных пэлов дисперсионного типа с выгорающим поглотителем
by: Одейчук, Н.П., et al.
Published: (2011)

Эпитаксиальный рост плёнок тройной системы Сu–In–Se
by: Григоров, С.Н., et al.
Published: (2011)

Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2016)

О повышении износостойкости изделий из стали с низкой температурой отпуска
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2003)

Высокотемпературное окисление на воздухе оболочек из циркониевых сплавов Э110 и Zr-1Nb с покрытиями
by: Куприн, А.С., et al.
Published: (2014)

О связи эффекта разупрочнения с особенностями электронного спектра в сплавах Mo-Re
by: Великодный, А.Н.
Published: (2009)

Определение демпфирующих свойств субмикродисперсных композитов с учетом структурного состояния их компонент
by: Чиркина, Л.А., et al.
Published: (2009)

Оценки параметров разделяемой плазмы, образованной в разряде с осциллирующими электронами (Пеннинга)
by: Скибенко, Е.И., et al.
Published: (2014)

Структурообразование и свойства дисперсно-твердеющих композиционных материалов, полученных совместным соосаждением отдельных компонент паровой фазы с последующей термообработкой
by: Зубков, А.И., et al.
Published: (2002)

О связи энергий образования и активации миграции вакансий в металлах IV-VI групп с эффективными параметрами
by: Осипов, А.Д.
Published: (2008)

Исследование на ЭВМ плоского колеса, контактируемого с полуплоскостью
by: Раковская, Н.Х.
Published: (2004)

Термодинамические характеристики жидких растворов ³He–⁴Hе с концентрациями 20, 60 и 80 % ³He
by: Сибилева, Р.М., et al.
Published: (2011)

Влияние содержания ниобия на структуру, свойства и параметры акустической эмиссии труб из сплавов циркония с ниобием
by: Вахрушева, В.С., et al.
Published: (2000)

Микроструктура и свойства боридных сплавов никеля с регулярной структурой
by: Семененко, В.Е., et al.
Published: (2004)