Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка

Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка

Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак- тивных...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2009
Автори:	Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Теми:	Физика и технология конструкционных материалов
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Экспериментальная установка для получения кластерных пучков
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Определение коэффициента поглощения йода углеродными материалами адсорберов систем вентиляции АЭС с использованием стабильных изотопов
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Исследование особенностей нанокристаллического строения сверхтвердых покрытий мононитрида титана
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Трибологическое поведение двухкомпонентных металлических покрытий на основе нитрида титана с различным содержанием олова
за авторством: Газизова, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2018)

Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)

Элементный состав и толщины покрытий для защиты сплава Zr1Nb от насыщения водородом
за авторством: Толстолуцкая, Г.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Выплавка сплава КТЦ-110 в электронно-лучевой гарнисажной установке с использованием пушки высоковольтного тлеющего разряда
за авторством: Лавриненко, С.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)

Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N
за авторством: Грудницкий, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Смещение комптоновского пика при увеличении содержания углерода в стали
за авторством: Михайлов, И.Ф., та інші
Опубліковано: (2006)

Сравнение двух рентгеновских методов измерения углерода в стали: по флуоресценции и рассеянию
за авторством: Михайлов, И.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние потенциала смещения и давления азота на структурно-напряженное состояние и свойства нитридных покрытий, полученных испарением высокоэнтропийных сплавов вакуумно-дуговым методом
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Сорбционное концентрирование металлов для сверхкритической экстракции с рентгенофлуоресцентным аналитическим окончанием
за авторством: Цымбал, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Графит с пироуглеродной пропиткой в тепловой зоне для выращивания профилованного сапфира
за авторством: Андреев, Е.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Микроструктура и коэрцитиметрия шва сварного соединения коллектора с корпусом парогенератора на энергоблоке ВВЭР-1000
за авторством: Ожигов, Л.С., та інші
Опубліковано: (2016)

Исследование взаимодействия водорода с быстрозакалённым сплавом Nd₈₀Fe₂₀
за авторством: Бобров, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности механической релаксации азота в сплавах ниобий-вольфрам, закаленных от высоких температур
за авторством: Бахрушин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние термических обработок на процессы механической релаксации в твердых растворах внедрения на основе ниобия
за авторством: Бахрушин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2002)

Некоторые характеристики усовершенствованных пэлов дисперсионного типа с выгорающим поглотителем
за авторством: Одейчук, Н.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Эпитаксиальный рост плёнок тройной системы Сu–In–Se
за авторством: Григоров, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2016)

О повышении износостойкости изделий из стали с низкой температурой отпуска
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Высокотемпературное окисление на воздухе оболочек из циркониевых сплавов Э110 и Zr-1Nb с покрытиями
за авторством: Куприн, А.С., та інші
Опубліковано: (2014)

О связи эффекта разупрочнения с особенностями электронного спектра в сплавах Mo-Re
за авторством: Великодный, А.Н.
Опубліковано: (2009)

Определение демпфирующих свойств субмикродисперсных композитов с учетом структурного состояния их компонент
за авторством: Чиркина, Л.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Оценки параметров разделяемой плазмы, образованной в разряде с осциллирующими электронами (Пеннинга)
за авторством: Скибенко, Е.И., та інші
Опубліковано: (2014)

Структурообразование и свойства дисперсно-твердеющих композиционных материалов, полученных совместным соосаждением отдельных компонент паровой фазы с последующей термообработкой
за авторством: Зубков, А.И., та інші
Опубліковано: (2002)

О связи энергий образования и активации миграции вакансий в металлах IV-VI групп с эффективными параметрами
за авторством: Осипов, А.Д.
Опубліковано: (2008)

Исследование на ЭВМ плоского колеса, контактируемого с полуплоскостью
за авторством: Раковская, Н.Х.
Опубліковано: (2004)

Термодинамические характеристики жидких растворов ³He–⁴Hе с концентрациями 20, 60 и 80 % ³He
за авторством: Сибилева, Р.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние содержания ниобия на структуру, свойства и параметры акустической эмиссии труб из сплавов циркония с ниобием
за авторством: Вахрушева, В.С., та інші
Опубліковано: (2000)

Микроструктура и свойства боридных сплавов никеля с регулярной структурой
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2004)