Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2009
• Автори: Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Теми: Физика и технология конструкционных материалов
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90769
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 175-180. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного пучка с лазерным испарением. Синтезировались металл-содержащие кластеры в потоках инертных и реак- тивных...