Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота
Исследован фазовый состав нанокристаллических нитридных покрытий, полученных вакуумно-дуговым осаждением молибдена в присутствии азота. Обнаружено, что вакуумно-дуговое осаждение высокочистого молибдена в присутствии азота при давлении в диапазоне 0,14…0,18 Па приводит к образованию покрытий н...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90788 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота / В.М. Шулаев , О.В. Соболь , А.А. Андреев , И.М. Неклюдов , В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 262-267. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |