Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma

The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2011
Hauptverfasser: Zhovtyansky, V.A., Nazarenko, V.G., Khomych, V.O., Ryabtsev, A.V., Anisimova, O.V., Nevzglyad, I.O., Shnyt, O.Ya.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90886
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90886
record_format dspace
spelling Zhovtyansky, V.A.
Nazarenko, V.G.
Khomych, V.O.
Ryabtsev, A.V.
Anisimova, O.V.
Nevzglyad, I.O.
Shnyt, O.Ya.
2016-01-05T18:16:46Z
2016-01-05T18:16:46Z
2011
Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 51.50.+v, 52.25.Dg, 52.80.Hc
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90886
The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this technologies. Influence of mixture composition on the rate constant of dissociation of molecular nitrogen, accountable for producing of atomic nitrogen is determined by simulation way, and parameters of plasma – from an experiment, on the basis of measuring by double probes. A function of distribution of electrons on energies was founded by numerically integrating the Boltzmann equation. The last one was written in the binomial approaching for mixture of molecular nitrogen and argon. The differences between proposed and fluid models are briefly discussed.
Розглянуто задачу визначення вмісту атомарного азоту як активної компоненти, відповідальної за ефективність технологій модифікації поверхні металів у плазмі стаціонарного жевріючого розряду низького тиску в суміші азот-аргон, що широко застосовується в цих технологіях. Вплив складу суміші на швидкісну константу дисоціації молекулярного азоту, відповідальну за продукування атомарного азоту, визначено розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, на основі вимірювань подвійними зондами. Функція розподілу електронів по енергіях визначена на основі чисельного інтегрування рівняння Больцмана, записаного в двочленному наближенні для суміші молекулярного азоту і аргону. Коротко аналізуються відмінності обговорюваного підходу та розв’язку задачі в гідродинамічній моделі.
Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда низкого давления в смеси азот-аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота, определено расчетным путем, а параметры плазмы – экспериментально, на основе измерений двойными зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона. Кратко обсуждены различия обсуждаемого подхода с решением задачи в гидродинамической модели.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
Ефективність процесу азотування в плазмі жевріючого розряду
Эффективность процесса азотирования в плазме тлеющего разряда
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
spellingShingle Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
Zhovtyansky, V.A.
Nazarenko, V.G.
Khomych, V.O.
Ryabtsev, A.V.
Anisimova, O.V.
Nevzglyad, I.O.
Shnyt, O.Ya.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_full Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_fullStr Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_full_unstemmed Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
title_sort efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
author Zhovtyansky, V.A.
Nazarenko, V.G.
Khomych, V.O.
Ryabtsev, A.V.
Anisimova, O.V.
Nevzglyad, I.O.
Shnyt, O.Ya.
author_facet Zhovtyansky, V.A.
Nazarenko, V.G.
Khomych, V.O.
Ryabtsev, A.V.
Anisimova, O.V.
Nevzglyad, I.O.
Shnyt, O.Ya.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2011
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Ефективність процесу азотування в плазмі жевріючого розряду
Эффективность процесса азотирования в плазме тлеющего разряда
description The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this technologies. Influence of mixture composition on the rate constant of dissociation of molecular nitrogen, accountable for producing of atomic nitrogen is determined by simulation way, and parameters of plasma – from an experiment, on the basis of measuring by double probes. A function of distribution of electrons on energies was founded by numerically integrating the Boltzmann equation. The last one was written in the binomial approaching for mixture of molecular nitrogen and argon. The differences between proposed and fluid models are briefly discussed. Розглянуто задачу визначення вмісту атомарного азоту як активної компоненти, відповідальної за ефективність технологій модифікації поверхні металів у плазмі стаціонарного жевріючого розряду низького тиску в суміші азот-аргон, що широко застосовується в цих технологіях. Вплив складу суміші на швидкісну константу дисоціації молекулярного азоту, відповідальну за продукування атомарного азоту, визначено розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, на основі вимірювань подвійними зондами. Функція розподілу електронів по енергіях визначена на основі чисельного інтегрування рівняння Больцмана, записаного в двочленному наближенні для суміші молекулярного азоту і аргону. Коротко аналізуються відмінності обговорюваного підходу та розв’язку задачі в гідродинамічній моделі. Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда низкого давления в смеси азот-аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота, определено расчетным путем, а параметры плазмы – экспериментально, на основе измерений двойными зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона. Кратко обсуждены различия обсуждаемого подхода с решением задачи в гидродинамической модели.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90886
citation_txt Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT zhovtyanskyva efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT nazarenkovg efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT khomychvo efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT ryabtsevav efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT anisimovaov efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT nevzglyadio efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT shnytoya efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma
AT zhovtyanskyva efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu
AT nazarenkovg efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu
AT khomychvo efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu
AT ryabtsevav efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu
AT anisimovaov efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu
AT nevzglyadio efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu
AT shnytoya efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu
AT zhovtyanskyva éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda
AT nazarenkovg éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda
AT khomychvo éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda
AT ryabtsevav éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda
AT anisimovaov éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda
AT nevzglyadio éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda
AT shnytoya éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda
first_indexed 2025-12-01T11:03:40Z
last_indexed 2025-12-01T11:03:40Z
_version_ 1850860026102546432