Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90886 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859724831179669504 |
|---|---|
| author | Zhovtyansky, V.A. Nazarenko, V.G. Khomych, V.O. Ryabtsev, A.V. Anisimova, O.V. Nevzglyad, I.O. Shnyt, O.Ya. |
| author_facet | Zhovtyansky, V.A. Nazarenko, V.G. Khomych, V.O. Ryabtsev, A.V. Anisimova, O.V. Nevzglyad, I.O. Shnyt, O.Ya. |
| citation_txt | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon
mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces
modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this technologies. Influence of mixture
composition on the rate constant of dissociation of molecular nitrogen, accountable for producing of atomic nitrogen is
determined by simulation way, and parameters of plasma – from an experiment, on the basis of measuring by double
probes. A function of distribution of electrons on energies was founded by numerically integrating the Boltzmann
equation. The last one was written in the binomial approaching for mixture of molecular nitrogen and argon. The
differences between proposed and fluid models are briefly discussed.
Розглянуто задачу визначення вмісту атомарного азоту як активної компоненти, відповідальної за
ефективність технологій модифікації поверхні металів у плазмі стаціонарного жевріючого розряду низького
тиску в суміші азот-аргон, що широко застосовується в цих технологіях. Вплив складу суміші на швидкісну
константу дисоціації молекулярного азоту, відповідальну за продукування атомарного азоту, визначено
розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, на основі вимірювань подвійними зондами.
Функція розподілу електронів по енергіях визначена на основі чисельного інтегрування рівняння Больцмана,
записаного в двочленному наближенні для суміші молекулярного азоту і аргону. Коротко аналізуються
відмінності обговорюваного підходу та розв’язку задачі в гідродинамічній моделі.
Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за
эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда
низкого давления в смеси азот-аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на
скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота,
определено расчетным путем, а параметры плазмы – экспериментально, на основе измерений двойными
зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования
уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона.
Кратко обсуждены различия обсуждаемого подхода с решением задачи в гидродинамической модели.
|
| first_indexed | 2025-12-01T11:03:40Z |
| format | Article |
| fulltext |
LOW TEMPERATURE PLASMA AND PLASMA TECHNOLOGIES
92 PROBLEMS OF ATOMIC SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2011. № 1.
Series: Plasma Physics (17), p. 92-94.
EFFICIENCY OF THE NITRIDING PROCESS
IN GLOW DISCHARGE PLASMA
V.А. Zhovtyansky1, V.G. Nazarenko1, V.O. Khomych2, A.V. Ryabtsev2, O.V. Anisimova3,
I.O. Nevzglyad1, O.Ya. Shnyt4
1Institute of Gas, National Academy of Sciences of Ukraine, Kiev, Ukraine;
2Institute of Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kiev, Ukraine;
3National Technical University of Ukraine “Kiev Polytechnic Institute”, Kiev, Ukraine;
4National Aviation University, Kiev, Ukraine
E-mail: zhovt@ukr.net
The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon
mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces
modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this technologies. Influence of mixture
composition on the rate constant of dissociation of molecular nitrogen, accountable for producing of atomic nitrogen is
determined by simulation way, and parameters of plasma – from an experiment, on the basis of measuring by double
probes. A function of distribution of electrons on energies was founded by numerically integrating the Boltzmann
equation. The last one was written in the binomial approaching for mixture of molecular nitrogen and argon. The
differences between proposed and fluid models are briefly discussed.
PACS: 51.50.+v, 52.25.Dg, 52.80.Hc
1. INTRODUCTION
The energy efficiency criterion for the nitriding
process in glow discharge (GD) is proposed in paper [1].
There are presented also the results that allow determining
quantitatively the basic parameters of GD depending on
the pressure in this paper.
In recent years it became known that the atomic
nitrogen is main agent responsible for the efficiency of
nitriding the surface of metal products [2]. N2-Ar mixture
is the better of technological atmospheres in this
connection, where active dissociation of N2 takes place
[3]. That is why the object of this study is optimization of
the nitriding process from the view point of percentage
composition of N2-Ar mixture as technological
atmosphere. GD plasma is sharply nonequilibrium and the
strict analysis of atomic nitrogen producing is a challenge.
Moreover, essential meaning have nonlocal effects in near
cathode GD area which are a subject of active research
during last years [4]. In turn, methods of direct
experimental definition of nitrogen atoms density Na in
plasma are difficult enough, as application of vacuum
spectroscopy methods [2] demands. Besides, they do not
allow predicting character of dependence Na from GD
parameters.
Influence of mixture composition on the rate constant
of dissociation of molecular nitrogen, accountable for
producing of atomic nitrogen is determined by simulation
way, and parameters of plasma – from an experiment, on
the basis of measuring with double probes. A function of
electrons distribution on energies is founded by numeral
integration of Boltzmann equation. The last one was
written in the binomial approaching for mixture of
molecular nitrogen and argon.
2. EXPERIMENT
The discharge plasma is generated in N2-Ar mixture at
the central part of the vacuum camera (anode) of volume
0.1 m3 [1]. The constructional details to be modified were
placed on the metal plate (cathode) 5 cm in diameter. GD
was powered by rectified voltage U up to 1500 V. The
temperature of cathode was controlled by a thermocouple
and maintained at the level ~ 810-820º K by heating from
GD of level UI ~ 60 Wt (I – discharge current).
Actually nitriding was carried out in a N2-Ar mixture
at a pressure of 150 Pa and the pumping rate of the
mixture ν = 1,5 Pa m3s-1 for 30 min.
The density of charged particles Ne and the electric
field E were measured by double probes, which could
move along the radius of the chamber.
3. GENERATION OF ATOMIC NITROGEN
The role of atomic nitrogen was analyzed by
determining its density Na on the basis of calculating the
electron distribution function (EDF) in view of its
dependence on the component composition of the
technological atmosphere and plasma parameters. The
latter include the rate of flow ν and temperature T of the
working gas, as given parameters, and two determined
experimentally: the density Ne and the field E. In
principle, we were simulated Ne(r) and E(r) also using
fluid model [1]. The example of this simulation is
presented in the Fig. 1.
Nevertheless, this model cannot explain the fact, that
experimentally observed extension of ionization region (~
3 cm), exceeds substantially the thickness of the calculated
near-cathode layer ~ 0,5 cm as is shown in Fig. 1. That is
why we proceed analogously to the paper [4], where the
averaged parameters of the plasma in this region are
introduced. Namely, we used the average values of Ne and
E measured by double probes. It is also assumed that the
temperature of the gas near the cathode is 800 K.
The positive column of the investigated spherical GD
is not limited to the transverse direction as the long GD in
tubes. That is why the illumination in this region is absent
93
(it is believed that this region corresponds to the dark part
of corona discharge [4]). Actually viewable zone is
concentrated near the cathode in the volume Vd ~
0,25 dm3.
а
b
Fig. 1. The distribution of potential (a) and the density of
electrons (1) and ions (2) along a radius of the spherical
GD (b) at a pressure of 100 Pa: p = 150 Pa, rK = 2 cm,
rA = 33 cm, jK = 2 mA/ cм2, T K = 800 K
Density of the nitrogen atoms Na was determined from
the balance between their generation in the process of N2
dissociation by electron impact and maintenance with
pumping the working gas through a vacuum chamber.
The rate constant of dissociation is
0
0
2 ( ) ( )d d
e
er f d
m
ε σ ε ε ε
∞
= ∫ , (1)
where e and me – the charge and mass of the electron, ε –
energy, σd(ε) – cross section of dissociation by electron
impact, f0(ε) – EDF. The latter was found by numerical
integration of the Boltzmann equation, written in the two-
term approximation [5] for a mixture of molecular
nitrogen and argon:
1/2 2
1/2 0 0
2 0
0
( )1 1
2 3
2 ( )
e e
ie
iT
i
e i
iT eN ee
i i
m n f fE
Nn N e t N
N
m N ff T S S A
M N
εε
ε εσ
σ ε ε
ε ε
⎛ ⎞
⎜ ⎟∂ ∂∂⎛ ⎞ ⎛ ⎞ ⎜ ⎟− −⎜ ⎟⎜ ⎟ ∂ ∂ ∂⎝ ⎠⎝ ⎠ ⎜ ⎟
⎜ ⎟
⎝ ⎠
⎡ ⎤∂∂ ⎛ ⎞− + = + +⎢ ⎥⎜ ⎟∂ ∂⎝ ⎠⎣ ⎦
∑
∑ .
(2)
Here E – field strength; N – the total density of neutral
components; Mi, Ni and σiT – mass, density of neutral
components and relevant transport cross sections, T – gas
temperature (eV); SeN and See – integrals of inelastic
collisions between electrons and neutral particles and
electrons; A(ε) – ionization term. The integral of inelastic
collisions between electrons and atoms and molecules has
the form
0 0( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ,j
eN j j j j j j
j
N
S f f
N
ε ε σ ε ε ε ε εσ ε ε⎡ ⎤= − + + −⎣ ⎦∑ (3)
where σj – cross section of excitation of N2 electronic and
vibrational levels and Ar electronic levels, as well as the
dissociation of N2; εj – quantum of the appropriate
reaction. Term See has a standard form [9]. A(ε) describes
the ionization of N2 and Ar:
0
2
2
0
2
0
0
( ) { ( ) ( , )
( ) ( , )
( ) ( , ) },
i
i
i
i
j
j i
i i
i
N
A f d
N
f d
f d
ε ε
ε ε
ε ε
ε ε
ε ε ε σ ε ε ε
ε ε σ ε ε ε ε ε
ε ε σ ε ε ε
∞
+
+
+
−
′ ′ ′ ′= +
′ ′ ′ ′+ − − −
′ ′−
∫
∫
∫
(4)
where σi is differential ionization cross section for the
component i and εi – ionization threshold. The next
processes where taken into account to calculate the EDF:
N2 + e → N2 + e N2 + e → N2
+ + e + e
N2 + e → N2(A3Σu
+) + e N2 + e → N + N + e
N2 + e → N2(a1Πg) + e Ar + e → Ar + e
Ar + e → Ar(4s) + e N2 + e → N2(v) + e,
v=1,…,10 Ar + e → Ar+ + e + e
Links to their cross sections are presented in [5].
Fig. 2 shows a view of the EDF, calculated according
to (2) for various compositions of the mixture. As it may
be concluded, even a small addition of nitrogen leads to
significant changes in the EDF, namely its incidence in
the energy range 3...4 eV and above. This leads to an
increase in the proportion of electrons with energies up to
2 eV, decreases, respectively, share of more energetic
electrons.
Since the dissociation reaction has a threshold
εd ≈ 9,76 eV, and the EDF decreases rapidly with
increasing energy, crucial for rate constant rd (1) is the
value of the function at the energy εd, marked by the
vertical dashed line in Fig. 2. Thus, the increase of N2 in
the mixture leads to a decrease in the proportion of
electrons with energies greater than εd and, in turn, – to
reduction of the constant rd. It decreases almost 90 times
when changing the proportion of N2 in the mixture from 0
to 100% [5].
As is shown in the result of calculation, the
dependence of Na from the density N2 in the discharge
plasma of the mixture leads to the presence of the
maximum values of Na. Concerning our experiment [6], it
is reached at the N2 content ~ 25%. In this case Na in the
discharge is more than 20 times higher than in the case of
a discharge in pure nitrogen. The results of determining
the microhardness of the nitrided layer on the composition
of the working mixture of argon/nitrogen are clearly
94
correlated with the nature of the dependence Na from N2
content. Thus, the results obtained, on the one hand,
confirm the determining role of atomic nitrogen in the
process of nitriding of metal surfaces and on the other -
can be used to simulate these processes and their
optimization.
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
f
︵ε
︶, э
В-3
/2
ε, эВ
0 %
5 %
25 %
50 %
100 %
Fig. 2. View of the EDF for different nitrogen content in
the plasma of nitrogen-argon glow discharge
4. LUMINOUS OF THE SPHERICAL GD
We were studied by spectroscopy method the
mentioned above ionization region. The spectra of
luminous from GD plasma were recorded with
spectrometer S100-2048. In this case molybdenum and
cooper were used as material of cathode, and nitrogen and
argon – as plasma forming technological atmospheres.
The specific result is that in the spectra of gases and
metals mentioned only spectral lines from high exited
states of atoms were observed. This feature may be used
in further quantitative study GD plasma by spectral
method.
REFERENCES
1. V.А. Zhovtyansky, O.V. Anisimova, V.O. Khomych, et
al. Energy characteristics of spherical glow discharge//
This volume, p. 95-97.
2. T. Nakano, T. Kitajima, S. Samukawa, T. Makabe.
Diagnostics of N2 and O2 dissociation in RF plasmas
by vacuum ultraviolet emission and absorption //
Abstracts of the XXVIII Int. Conf. on Phenomena in
Ionized Gases. Prague 15–20 July, 2007 / Institute of
Plasma Physics AS CR, Prague, 2007, p. 42.
3. Principles of Laser Plasmas/ ed. G. Bekefi. New York:
“Wiley Interscience”, 1976.
4. A.A. Kudryavtsev, A.V. Morin, L.D. Tsendin. The role
of nonlocal ionization in short glow discharges // Tech.
Phys. 2008, v. 53, p. 1029-1040.
5. V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, E.G. Didyk, et al.
Numerical simulation of atomic nitrogen formation in
plasma of glow discharge in nitrogen-argon mixture //
Tech. Phys. Let. 2010, v. 36, p. 918-922.
6. O.G. Didyk, V.A. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, and
V.A. Khomich. Plasma modification of the surface of
constructional materials // Ukr. J. Phys. 2008, v. 53,
N5, p. 482-489.
Article received 27.10.10
ЭФФЕКТИВНОСТЬ ПРОЦЕССА АЗОТИРОВАНИЯ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
В.А. Жовтянский, В.Г. Назаренко, В.А. Хомич, A.В. Рябцев, О.В. Анисимова, И.O. Невзгляд, А.Я. Шныт
Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за
эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда
низкого давления в смеси азот-аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на
скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота,
определено расчетным путем, а параметры плазмы – экспериментально, на основе измерений двойными
зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования
уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона.
Кратко обсуждены различия обсуждаемого подхода с решением задачи в гидродинамической модели.
ЕФЕКТИВНІСТЬ ПРОЦЕСУ АЗОТУВАННЯ В ПЛАЗМІ ЖЕВРІЮЧОГО РОЗРЯДУ
В.А. Жовтянський, В.Г. Назаренко, В.А. Хомич, A.В. Рябцев, О.В. Анісімова, I.O. Невзгляд, O.Я. Шнит
Розглянуто задачу визначення вмісту атомарного азоту як активної компоненти, відповідальної за
ефективність технологій модифікації поверхні металів у плазмі стаціонарного жевріючого розряду низького
тиску в суміші азот-аргон, що широко застосовується в цих технологіях. Вплив складу суміші на швидкісну
константу дисоціації молекулярного азоту, відповідальну за продукування атомарного азоту, визначено
розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, на основі вимірювань подвійними зондами.
Функція розподілу електронів по енергіях визначена на основі чисельного інтегрування рівняння Больцмана,
записаного в двочленному наближенні для суміші молекулярного азоту і аргону. Коротко аналізуються
відмінності обговорюваного підходу та розв’язку задачі в гідродинамічній моделі.
Z, eV
f(
ε)
,
eV
-3
/2
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90886 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-01T11:03:40Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Zhovtyansky, V.A. Nazarenko, V.G. Khomych, V.O. Ryabtsev, A.V. Anisimova, O.V. Nevzglyad, I.O. Shnyt, O.Ya. 2016-01-05T18:16:46Z 2016-01-05T18:16:46Z 2011 Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma / V.А. Zhovtyansky, V.G. Nazarenko, V.O. Khomych, A.V. Ryabtsev, O.V. Anisimova, I.O. Nevzglyad, O.Ya. Shnyt // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 92-94. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Dg, 52.80.Hc https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90886 The problem of determination of the content of atomic nitrogen in glow discharge plasma in a nitrogen-argon mixture is considered. The discharge in this mixture is widely applied in the technologies of metal`s surfaces modification and the atomic nitrogen is responsible for the efficiency of this technologies. Influence of mixture composition on the rate constant of dissociation of molecular nitrogen, accountable for producing of atomic nitrogen is determined by simulation way, and parameters of plasma – from an experiment, on the basis of measuring by double probes. A function of distribution of electrons on energies was founded by numerically integrating the Boltzmann equation. The last one was written in the binomial approaching for mixture of molecular nitrogen and argon. The differences between proposed and fluid models are briefly discussed. Розглянуто задачу визначення вмісту атомарного азоту як активної компоненти, відповідальної за ефективність технологій модифікації поверхні металів у плазмі стаціонарного жевріючого розряду низького тиску в суміші азот-аргон, що широко застосовується в цих технологіях. Вплив складу суміші на швидкісну константу дисоціації молекулярного азоту, відповідальну за продукування атомарного азоту, визначено розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, на основі вимірювань подвійними зондами. Функція розподілу електронів по енергіях визначена на основі чисельного інтегрування рівняння Больцмана, записаного в двочленному наближенні для суміші молекулярного азоту і аргону. Коротко аналізуються відмінності обговорюваного підходу та розв’язку задачі в гідродинамічній моделі. Рассмотрена задача определения содержания атомарного азота как активной компоненты, ответственной за эффективность технологий модификации поверхности металлов в плазме стационарного тлеющего разряда низкого давления в смеси азот-аргон, широко применяемой в этих технологиях. Влияние состава смеси на скоростную константу диссоциации молекулярного азота, ответственной за продуцирование атомарного азота, определено расчетным путем, а параметры плазмы – экспериментально, на основе измерений двойными зондами. Функция распределения электронов по энергиям находилась путем численного интегрирования уравнения Больцмана, записанного в двучленном приближении для смеси молекулярного азота и аргона. Кратко обсуждены различия обсуждаемого подхода с решением задачи в гидродинамической модели. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma Ефективність процесу азотування в плазмі жевріючого розряду Эффективность процесса азотирования в плазме тлеющего разряда Article published earlier |
| spellingShingle | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma Zhovtyansky, V.A. Nazarenko, V.G. Khomych, V.O. Ryabtsev, A.V. Anisimova, O.V. Nevzglyad, I.O. Shnyt, O.Ya. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma |
| title_alt | Ефективність процесу азотування в плазмі жевріючого розряду Эффективность процесса азотирования в плазме тлеющего разряда |
| title_full | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma |
| title_fullStr | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma |
| title_full_unstemmed | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma |
| title_short | Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma |
| title_sort | efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90886 |
| work_keys_str_mv | AT zhovtyanskyva efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma AT nazarenkovg efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma AT khomychvo efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma AT ryabtsevav efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma AT anisimovaov efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma AT nevzglyadio efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma AT shnytoya efficiencyofthenitridingprocessinglowdischargeplasma AT zhovtyanskyva efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu AT nazarenkovg efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu AT khomychvo efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu AT ryabtsevav efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu AT anisimovaov efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu AT nevzglyadio efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu AT shnytoya efektivnístʹprocesuazotuvannâvplazmíževríûčogorozrâdu AT zhovtyanskyva éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda AT nazarenkovg éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda AT khomychvo éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda AT ryabtsevav éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda AT anisimovaov éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda AT nevzglyadio éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda AT shnytoya éffektivnostʹprocessaazotirovaniâvplazmetleûŝegorazrâda |